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  • 推荐序

    推荐序 推荐序 集成电路(芯片)是技术发展的产物,也是现代信息社会的基础。当前技术发展的几个热点,如人工智能、无线通信、虚拟现实、物联网以及智能制造,无不是依靠高性能的芯片来实现的,因此,芯片的设计与制造能力是衡量一个国家技术实力的重要指标。光刻机是芯片制造中的核心关键设备,它负责把集成电路版图精确地投影在硅片上。在集成电路制造的诸多工艺单元中,只有...
  • 术语表

    术语表 术语表 晶圆 :非常纯净的圆形晶体硅薄片称为晶圆,芯片在其上制造。较大的晶圆降低了芯片生产过程中的成本,但每一代新晶圆都需要极高的投资,主要投资新设备。目前,8英寸和12英寸晶圆最为普遍。 晶圆台 :即晶圆所在的平台,晶圆台在步进光刻机曝光的过程中,可以非常精确地移动和定位晶圆。 掩模 :具有决定芯片图案透明度的不透明板。 接触...
  • 致谢

    致谢 致谢 首先,我要感谢Techwatch团队给了我完成这本书的时间和空间,也感谢我采访过的所有人,感谢他们非常诚实的话语。他们中的许多人让我有机会与其他人接触,并给我提供了详细的文件和图片(本书封面背景图为扬·范德·韦尔夫于20世纪70年代绘制的技术图纸)。受到这些话语的启发,我意识到我可以用学到的东西使自己的公司变得更强大。 在漫长的写作过程...
  • 作者后记

    作者后记 作者后记 这本书的资料丰富且资料来源令人惊讶。首先,有80多人与我公开、坦率地交谈,从工厂工人到高级管理层人员,从ASML到其他公司。即使是我最年长的交谈对象,也有着惊人的活力和清晰的记忆。 从一开始,我就明确表示这是一部独立的新闻作品,然而ASML从未为我寻求信息而设置任何障碍。维姆·亨德里克森给了我1984年到1990年之间他所有的日...