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1 2026-05-19 《光刻巨人：ASML崛起之路》

推荐序推荐序集成电路（芯片）是技术发展的产物，也是现代信息社会的基础。当前技术发展的几个热点，如人工智能、无线通信、虚拟现实、物联网以及智能制造，无不是依靠高性能的芯片来实现的，因此，芯片的设计与制造能力是衡量一个国家技术实力的重要指标。光刻机是芯片制造中的核心关键设备，它负责把集成电路版图精确地投影在硅片上。在集成电路制造的诸多工艺单元中，只有...