10 增长

1993—1996

完美的团队

威廉·马里斯是个好人,杰拉德·韦尔登肖特则是唱白脸的坏家伙。

两人并不亲密,但他们想法一致。

飞利浦2,100万美元的“输血”使ASML挺过了1992年夏季和秋季,但到了年底,它又开始缺钱。在11月与亨克·博特、威廉·马里斯和杰拉德·韦尔登肖特的月度会面中,他们传达了一个令人心痛的信息:ASML当年的损失可能超过3,000万美元。

博特在飞利浦的董事会一直无条件支持ASML,但亏损3,000万美元让他坐不住了。他很坚决地告诉马里斯和韦尔登肖特,两人必须把ASML的损失控制在1,700万美元以下,否则他也救不了ASML。这是无法避免的:两人被迫开始起草一份大幅削减成本的计划书。

首当其冲的是相当于一个月工资的传统圣诞奖金,而且在1993年,也不会有人得到加薪。马里斯和韦尔登肖特还决定裁员75人。

一如既往,韦尔登肖特是那个向员工报告坏消息的人。在维尔德霍芬的德科宁肖夫会议中心开会时,这位首席财务官站在员工面前,他设法给自己传达的消息赋予了积极的意义。在他的演讲中,他巧妙地再次提醒他们,公司正在与日本人竞争。尽管韦尔登肖特削减了员工年薪的近10%,但他讲完话时,大家还是一起鼓掌。


此时,韦尔登肖特已经在ASML工作了超过8年。他了解公司情况,也了解首席财务官的职责所在,他总是努力去理解公司股东们的想法。在早年,他经常拜访母公司ASM的阿瑟·德尔·普拉多。在飞利浦,他也到处都有熟人,他号召他们一起打好这场仗。在维尔德霍芬,他经常穿梭在工厂的车间,有时会停下来与大家聊天。

这并没有让他所有的同事都喜欢他。因为不像ASML的大多数人,他更喜欢政治游戏,他有让别人屈从于他意志的天赋。有的人能反抗成功,有的则不能。在ASML,韦尔登肖特有朋友也有敌人。对敌人来说,这是很艰难的,因为韦尔登肖特会猛烈地攻击对手,最好的做法是,当你站在他的对立面时,你得设法寻求掩护。

韦尔登肖特总是能够成功地筹集到钱,他似乎能搞定任何事。他是一个人际关系广的人,而不只是发文件和报告的首席财务官。他是ASML中的一员,他们基于诚信开展业务。需要韦尔登肖特签字的同事,如果能说出正当的理由,就能得到他的批准。韦尔登肖特愿意相信他们的话,阅读合同和文件并不是他喜欢的事,他很少对签过的协议进行记录。

他这样的方法很有效果。每个人都知道他们与韦尔登肖特分别所处的立场,而且必须小心他的财务手段。如果敬酒不起作用,他不介意上罚酒。所有人都知道最好避免与韦尔登肖特发生冲突。


韦尔登肖特不是那种注重成本的传统首席财务官。他的座右铭是:成本不重要,利润最关键。维姆·特罗斯特掌管ASML的那两年并不是韦尔登肖特最愉快的两年,特罗斯特每一分钱都精打细算。当时,韦尔登肖特觉得他自己唯一能做的事情就是证明开支是合理的,他非常讨厌这种事。

其实,贾特·斯密特与韦尔登肖特非常相似,斯密特也是把机会放在首位。这位首席财务官虽然总是抱怨他的第一个老板产生了许多不必要的开支,但如果等他必须做出选择,他会采取斯密特的策略,而不是特罗斯特削减一切成本的做法。从某种意义上说,韦尔登肖特也是一个花钱大王。

韦尔登肖特是唯一一个无视20世纪90年代初公司禁止乘坐商务舱的规定的人,他还喜欢与同事和客户共进商务晚宴。韦尔登肖特对这些东西的热情是坚定不移的,被他邀请来体验这些高级宴会的同事通常把这当作一种义务。

对于首席财务官来说,韦尔登肖特有着惊人的进取精神。当每个人都被1,000万美元的花费难倒时,他只是耸耸肩:“伙计们,这不是重点。问题是,我们是否至少能赚回来四五倍。”当ASML在1986年之后开始销售机器,资金开始从客户流入ASML时,韦尔登肖特很乐意将其投入物流、研发和其他十几种业务中。

10 增长 - 图1 威廉·马里斯

10 增长 - 图2 杰拉德·韦尔登肖特这些照片是《日报》拍摄的,以配合1999年年底对即将离任的威廉·马里斯和杰拉德·韦尔登肖特的采访。“杰拉德更像是个商人。”马里斯在采访中说。韦尔登肖特将他的前老板描述为:“威廉很善于与人合作,他认为功劳是大家的,而不会把功劳都揽到自己身上。”

在早期ASML花了大量的钱。仅在头三年,ASM和飞利浦就向维尔德霍芬这个无底洞投入了近5,000万美元。ASM退出后,飞利浦继续向其光刻机子公司注入资金,这在一定程度上有赖于韦尔登肖特的出色工作。在这项工作中,他选择了正确的时机来寻求母公司飞利浦的帮助。

韦尔登肖特这个人也有点古怪,他从不在工作日庆祝他的生日,他想要略过这一天。每次到了这个日子,马里斯都吩咐菲亚·洛森订购蛋糕。每个人都被邀请了,咖啡也已经端上桌,韦尔登肖特坐在那里,看上去很痛苦。他不喜欢收礼物,只有花是他勉强可以接受的。在这样的时刻,他感到不舒服,这不是他想站在聚光灯下的方式。

相比之下,在与同事和客户共进午餐和晚餐时,韦尔登肖特是引人瞩目的中心人物。在享受美味时,他津津有味地讲着各种金融技巧,他会选择夸大故事的一半,略过故事的另一半。当他为非财务员工举办金融研讨会时,他会在课程中加入他的英雄事迹。


威廉·马里斯在1990年刚来到ASML时,韦尔登肖特是占上风的。这位首席财务官在公司有6年的根基,像马里斯这样温和的人没有机会对付他。在上任后最初的几年里,这位新首席执行官受到手握财务大权的韦尔登肖特的强烈影响。

马里斯刚到公司任职时,希望韦尔登肖特提供发展方向方面的建议。首席执行官做出的决策通常由其首席财务官通知下去。韦尔登肖特咨询每一个人的意见,他认真聆听每一个小道消息,然后将它们告诉他的老板。“这就是我们需要做的事情,这是我们发展的方向”,韦尔登肖特说向左走,马里斯就会向左走。

马里斯没有什么好胜心,当他刚来到ASML时,他告诉他的妻子:“我们不需要成为最大的,只想做最好的。”但是他确实在进步,随着时间的推移,他和韦尔登肖特开始优势互补,并且合作得越来越好。马里斯认可他的首席财务官的良好品质,并给了他施展的空间,这使得他们成为完美搭档。

对马里斯来说,身边有个唱白脸的搭档是有利的,他很乐意让韦尔登肖特做吃力不讨好的事情。当需要传达令人不快的决定时,首席执行官更愿意退到一边,马里斯无法忍受做一些令人不快的事情,比如裁员。

管理团队赞赏马里斯将人们聚集在一起的能力,但他却没有给人留下特别深刻的印象。当ASML的一位高级管理人员出现酗酒问题时,这位首席执行官没有与他正面交流,但在员工们早上上班时,看到同事办公桌下的威士忌酒瓶后,投诉又增加了。马里斯与韦尔登肖特还有尼科·赫尔曼斯一起在人力资源部门想了一个计划:在ASML的高尔夫日,他们会把那个人拉到一边,一起告诉他这个坏消息。韦尔登肖特亲自起草了辞退的协议,但他们的对象最后没有出现,马里斯自己收拾不了残局,他要求赫尔曼斯确保问题得到解决。


虽然韦尔登肖特扮演坏人,但马里斯确实是好人。首席执行官逐渐成长为一位深受员工爱戴的领导者。他第一年宣布,他将经常光顾工厂车间,事实上这不仅仅是一句漂亮话。当他知道他的员工们必须周末加班时,他经常来看大家并鼓励大家。

有段时间,ASML制定了更严格的安全规定,员工必须随时佩戴工牌。有一天,当马里斯正在巡视时,一位新来的仓库员工问他:“我能看看你的工牌吗?”首席执行官说他没有工牌并补充说:“顺便说一下,我是威廉·马里斯。”这位年轻的员工不接受他的说辞,并把这位首席执行官赶出了门。马里斯觉得很有趣,并在事后不断赞扬这名员工。


就像特罗斯特一样,马里斯也是从飞利浦调至ASML的。但是,特罗斯特在ASML的两年里,他从未真正融入ASML团队并成为其中一员。而几年后,马里斯感觉在ASML就像在家里一样。对他来说,这就是一份梦寐以求的工作,他告诉妻子,他仿佛踏上了童话般的冒险之旅。他的员工也很快就爱上了他。

马里斯逐渐开始扮演最适合他的角色——首位平等。他甚至在他的团队中也这样说。ASML拥有一群像年轻雄狮一样的员工,他们想放手一搏。领导者明白他需要怎么做公司才能成功。像道格·马什这样于1978年在GCA销售出世界第一台步进光刻机的人,或者像马丁·范登布林克那样的研发专家,都是能给公司带来巨大价值的员工。

马里斯无法控制这样的人。ASML的团队一直都是由直言不讳的人组成的,他们比他更了解这一切。他不是一个有魄力的领导人,他自己也很清楚。他在队伍中拥有力量正是因为他能意识到自己的弱点。

首席执行官马里斯给他的“孩子们”的感觉是,他们可以做任何喜欢的事。如果他们真正碰到了麻烦,他们总是可以倚在这位“父亲”的肩膀上哭泣。因为似乎没有人对马里斯既扮演父亲,又扮演老板的角色有异议。

马里斯甚至觉得ASML与飞利浦的关系也像父子一样,ASML就像叛逆的青春期少年。在上任后的头两年里,他对这位保守的“父亲”过多的干涉感到吃惊。他必须投入大量的时间和精力,才能让埃因霍温的母公司与ASML保持距离。

飞利浦那些高管大部分都是马里斯的同代人,他们像爬梯子一样坐上这家卖灯泡的母公司的领导职位。飞利浦不断试图干扰维尔德霍芬的叛逆“儿子”,他们批评ASML借钱的方式,ASML处理荷兰盾兑换美元的汇率的方式,ASML分配的方式。这位“父亲”各种事情都看不惯。由于马里斯的存在,在保守的“父亲”找到理由介入之前,这个“少年”总能安然逃脱。


马里斯建立关系的能力也帮助他消除了维尔德霍温和美国凤凰城之间的文化差异。这些差异的根源在于公司成立的早期。在最初的几年里,大洋另一边的组织在销售中处于领先地位。美国是最重要的目标市场,ASML巧妙地选择聘用美国人来吸引美国人。销售人员制定自己的销售策略,他们往往是芯片行业的老手,知道该如何经营自己的业务。

但是,当大洋两岸必须更紧密地合作,不仅为美国主要客户提供服务,还要为强硬的韩国客户等提供服务时,分歧开始出现。荷兰人不仅掌握技术,道格·马什和他的团队还成了销售先锋。混乱和误解越来越多,美国人因为荷兰同事的傲慢而不满:“如果你不是荷兰人,你什么都不是。”

马里斯认识到缺乏相互理解是一个严重的障碍,并努力解决这一问题。他认为消除内部障碍和文化差异是一项神圣的使命。“我们要打破这些隔阂。我们将一起做事,我们将从管理团队开始改变。”他告诉销售总监马什。

但马里斯自己很难做决定。来ASML的头几年里,韦尔登肖特一直给予他必要的提示,但真正的重大决策稍后将由管理团队一起做出,马里斯更多地扮演催化剂的角色而不是主导者的角色。他和他的团队经常离开维尔德霍芬,去参加为期几天的拓展活动以制定下一步战略并加强团队精神建设。

马里斯对他的团队非常了解,并尽力将他们凝聚在一起。范登布林克的优势是技术,马什知道ASML的机器有什么价值,而赫尔曼斯和韦尔登肖特在政治上很精明。马里斯确保所有的人都要学会相互理解,并告诉他们,他们作为整体迸发出的力量大于他们各自力量的总和。他总是把决定权留给团队。一路上,他始终通过给予鼓励来解决冲突。

马里斯经常在员工处走动。当下午自己烟盒空了时,他经常去西奥·巴特莱伊的办公室要雪茄,然后和他一起抽烟。巴特莱伊并不是公司最高管理层的一员,但如果他的雪茄抽完了,他也总是可以敲开这位首席执行官的门。

马里斯也用同样的方式对待公司的所有员工。前来向马里斯倾诉烦恼的人首先会被问到他们是否知道解决方案,他说,如果他们不这样做,才真的有问题。然后,他邀请他们坐下,耐心地听他们的故事。马里斯不需要安慰员工,他的首要工作是给各位自我的ASML员工一些空间。

为了与整个公司保持联系,马里斯每月随机邀请10名员工参加非正式的午餐,员工们总是渴望能够参加。虽然在飞利浦任职期间,马里斯作为“控球后卫”的价值从未被人们所认识,但这个角色在ASML扁平化的组织中却像一副定制手套一样适合他。马里斯从20世纪70年代开始提出“圆桌平等”的想法,在20世纪90年代将他推向了ASML的巅峰。

马里斯最大的成就是使ASML与蔡司之间的关系在1993年—1998年有了很大的改善。要开发和生产复杂的步进光刻机,需要良好的合作伙伴关系和相互信任。但蔡司顽固的管理层宁愿保守地按自己的时间表行动,也不想把自己捆绑在一个排他性的联盟中。即使ASML已经在20世纪90年代中期证明了自己的战略成功,但这家德国镜头制造商仍然拒绝建立这样的关系。马里斯知道关键在于蔡司的高层管理人员,并且利用他作为关系经理的独特性才能打开沟通渠道。他邀请关键人员参加ASML的季度管理层会议,后来甚至邀请他们加入监事会。

这些决定得到了蔡司监事会成员亨克·博特的支持,这极大地改善了两家公司之间的关系。在做报告方面,马里斯是韦尔登肖特的好搭档。首席执行官是ASML的脸面,在与客户、供应商以及飞利浦的联系人打交道时,他扮演着类似于大使的角色。当他被邀请到Natlab做最新科技的报告时,研究人员总是为他的演讲起立鼓掌。


对马里斯来说,股东价值排在第二位,他更愿意关注客户。他能叫出客户的名字,并且消除了许多谈判摩擦。他没有那种过度的自负,这使得他很容易从客户的角度来看问题。当他访问三星时,他知道客户会告诉他机器不够好。在首尔,他们总是让他与20名刚满25岁的员工共处一室,让他们向这位荷兰首席执行官诉说ASML的机器给他们带来了多少麻烦。马里斯知道,这时他需要竭尽全力解决这些问题以获得新订单。

马里斯设想自己在ASML中扮演着一个不醒目但重要的角色:不断表达“主人翁”的价值观。这是一个简单的策略公式,每个人都能够理解并向客户解释:重点并不在于前期成本,而是他们交付的光刻机所产生的持久的价值。有一次,来自鹿特丹伊拉斯姆斯大学的5名学生采访了ASML的员工,当学生们听到与他们交谈的每个人都秉持着相同的理念时,感到非常惊奇。对马里斯来说,这是莫大的褒奖。

主人翁的价值

现金第一次真正开始流入ASML,威廉·马里斯和杰拉德·韦尔登肖特终于兑现了他们的承诺。

1993年的前几个月,资金开始以更快的速度流入维尔德霍芬。订单量和交货量都在上升,客户为最新的步进光刻机支付了比之前高得多的价格,服务和升级的收入也在增加。1992年,公司的年收入从8,100万美元跃升至1.19亿美元,ASML现在终于可以靠自己生存了。虽然从外部看来并不乐观:那一年公司蒙受了2,000万美元的巨大损失,赤字在很大程度上要归咎于PAS 5500诞生前的“阵痛”。但在1993年年初,一切都基本得到控制:ASML现在拥有一台相当可靠的机器。

PAS 5500的受欢迎程度不断提高,这台机器使公司的现金流不断增长。对于ASML来说,PAS 5500给他们的感觉就像一种陌生的奢侈品。在公司的历史上,资金首次正向流入,而不是流出去。

这些美元的流入,使马里斯和韦尔登肖特有可能一举偿还他们从扬·蒂默那里借来的2,100万美元。戏剧性的时刻发生在9个月后的一次会议上,两人笑得像傻瓜一样,在桌子上摆了一张支票。韦尔登肖特喊道:“承诺就是承诺!”博特和其他在场的人都使劲鼓掌。

一天后,韦尔登肖特接到了飞利浦财务部门负责人打来的电话,请他再也不要用支票支付这么大一笔钱了,因为这样公司损失了两天的利息。


尽管乐观情绪日益高涨,但ASML在1993年年初仍然面临一些困境。最重要的客户兼PAS 5500的早期采购者IBM取消订单。这家大型计算机公司正在经受一场风暴,新任首席执行官卢·格斯特纳已经发起了彻底的重组。他改变了IBM的大型机战略,这影响了东菲什基尔的芯片厂,而该工厂在IBM与荷兰光刻机公司之间的关系中起着决定性作用。因此,ASML面临着失去这个战略客户的风险。

虽然与Micron和台积电的关系日益密切,但IBM业务的丢失意味着ASML实际上仍然没有真正的大客户。当时,英特尔、摩托罗拉、三星和德州仪器等芯片制造商仍从尼康购买机器。只有规模相对较小的半导体制造商AMD、赛普拉斯、IDT、Micron和台积电从ASML订购。这些客户确实对公司产生了积极的影响:他们迫使荷兰工程师将主要精力放在成本和性能上。

这也使得ASML在竞争中技术飞速进步。更高的精度、分辨率和吞吐量都给客户带来了好处,客户利益包括在管理团队的“拥有价值”战略中。这是马里斯强调的一句流行语,听起来比更频繁使用的“拥有成本”更加积极。ASML的步进光刻机可能比竞争对手贵25%,但其精度和生产率意味着它们能把购置成本更快地赚回来。如果使用ASML的机器,则每个晶圆的成本更低。简而言之,在维尔德霍芬购买机器的客户可享有更高的利润。这一概念尤其受到像Micron和台积电这些非常注重降低成本的客户的关注。在20世纪90年代初,这些芯片制造商尚未处于领先地位,但ASML的机器将使他们能够成长为细分市场的领导者。随着机器可靠性的提高,ASML签署的“不赚钱不付款”的支付合同的优势开始显现。例如,在这些交易中,客户可能只支付官方销售价格的80%,并根据最终取得的业绩支付其余费用。这为公司赢得了很高的声誉。

无论如何,ASML的技术优势和日益提高的声誉,吸引了越来越多的芯片行业巨头的关注。规模较小的公司,如Micron和台积电都使用ASML的机器取得了更大的成功。三星和大型美国公司不会不关注这一点,其中一些公司将很快就会愿意过来参观维尔德霍芬的超净室。

扫描光刻机

亨克·博特正在冲击马丁·范登布林克的梦想项目,这使得这位系统工程师接受了美国的慷慨提议。威廉·马里斯在最后一刻拯救了公司。

马丁·范登布林克在不久之后就脱颖而出,成为ASML的明星系统工程师之一。应该说,他付出了200%的努力,同时他也是一个只要想做什么就一定能做成的强者。他的同事很快开始叫他布林克,他对此并不在乎,只是吐吐舌头。

当PAS 2500在1986年制造完成时,范登布林克决定去福克寻找项目经理的职位。第一台步进光刻机的研发是艰苦的,他看到ASML在安排机器的装配、服务和物流时已经不堪重负。

在福克面试时,一位项目经理告诉范登布林克,他们是如何为这家飞机制造商做事的。每个项目都是一个严格的、长达几年的练习,其管理者必须做大量的记录。在史基浦机场的办公室,他们详细记录下了一切。范登布林克认为,如果我们开始在ASML也这样做,我们还是关门算了。当他听到这些文档工作时,脸上露出了讽刺的微笑,而这也被对方察觉到了。一周后,他们说他不合适这个岗位。

范登布林克却给斯特夫·维特科克留下了深刻的印象。ASML的这位执行科学家有点嫉妒他这位年轻同事随心所欲的行为和他完全做自己的能力。维特科克更像是一位大使,一个无可挑剔的外交官。他总是做正确的事,总是体贴的,从不寻求对抗。他是一位绅士科学家,尽管在他心中范登布林克根本不会介意成为“野人布林克”。

从他们在ASML的第一年起,这位年轻的“海盗”和“老政治家”就越来越喜欢对方。维特科克的门总是敞开的,范登布林克经常跑来发泄。范登布林克骂骂咧咧,口头上抨击各种事,并喜欢找人听他的咆哮。

维特科克知道如何让范登布林克平静下来。“坐下吧。”他对咆哮中的年轻同事说。简单的几个字就缓和了范登布林克的情绪。两人很快将一起参加在硅谷举行的年度国际光学工程学会(SPIE)会议。他们先去塔霍湖滑了几天雪。两人喜欢彼此的陪伴,他们在一起玩得很开心。

维特科克是没有脾气但有大局观的人,范登布林克被他吸引了。他的直接经理没有时间理他,但维特科克很开放,喜欢邀请人聊天,他很高兴自己能扮演教练和导师这个角色。无论范登布林克何时走进他的办公室,维特科克总是花时间陪他。这常常会产生一些富有成果的对话,包括存在什么问题,以及应该如何从工程上解决它。

工作内容也极大地增加了维特科克的魅力。在ASML成立初期,这位执行科学家担任公司的技术大使。经过Natlab培训的这位资深研究人员认识贝尔实验室、IBM和主要芯片制造商的研发部门的著名科学家。诺贝尔奖获得者的世界和迷人的物理学突破对范登布林克来说非常有吸引力。


在20世纪80年代末,当深紫外线(DUV)激光器替代了步进光刻机里的汞蒸气灯时,维特科克是ASML与掌握欧洲共同体资金以及技术的合作伙伴的联系人。在20世纪90年代初,ASML开始与蔡司、Lambda Physik和拜耳合作在欧洲共同体的欧洲联合亚微米硅(JESSI)计划中使用DUV技术开发PAS 5500,以刺激欧洲芯片行业成为该项目的财务引擎。

对于ASML来说,这种外部融资是非常有必要的。在20世纪80年代后半期和90年代初期,该公司资金严重短缺。维特科克和弗里茨·范霍特经常前往海牙和布鲁塞尔,以获取信贷和政府拨款。政府一般都会批准,因为信息技术的崛起和新的经济强国的出现,使技术战略增添了一种政治紧迫感。ASML不会被政府所提供的资助冲昏头脑。只要公司制定了技术战略,维特科克和范霍特就有机会找到资金。

引人注目的是,IBM的欧洲分公司也在JESSI的DUV光刻机项目的资助名单中。这家计算机制造商的芯片部门正在与其美国合作伙伴SVG光刻机公司在美国开发DUV系统。但是IBM希望项目有双重保险,所以也投入欧洲的未来光刻技术的研发中。IBM位于德国辛德尔芬根的芯片厂提出要作为该项目的试验基地:它将测试实验性的DUV机器。

在20世纪80年代末,大家开始讨论关于光刻的新技术——扫描光刻机(Scanner),而不是步进光刻机。多年来美国业界一直在谈论它,因为扫描能够使呈指数级增长的镜头成本控制在一定范围内。范登布林克很快就注意到了这些。

在步进光刻机中,晶圆台在曝光过程中静止不动,机器一次曝光一片光场,其中包含一个或多个芯片,然后晶圆台“移动”并再次曝光。在扫描光刻机中,机器使用一条光缝曝光光刻胶。这种曝光是一种扫描运动,其中晶圆台以恒定的速度穿过光缝。在镜头上方,光罩(掩模)也同步移动,以晶圆台恒定速度的4倍向相反方向移动。

扫描曝光的优点是,与步进光刻机相比,使用相同的镜头尺寸可以多曝光40%的电路。此外,较小的光场(光缝)更容易对焦,并且镜头误差在扫描过程中部分被平均显示出来。因此,扫描光刻机的系统可以使用较小的镜头来曝光与步进光刻机相同大小的光场。这使得它成为一种应对光刻机镜头日益复杂和成本不断提高的方法。这也是每一家享有盛誉的光刻机公司都在20世纪90年代初研究它的原因。

范登布林克和维特科克也在谈论扫描光刻机,并得出结论,扫描光刻机将是未来必然的发展趋势。扫描光刻机非常吸引范登布林克,它逐渐成为他的一个爱好。1989年和1990年,他为开发PAS 5500忙到几乎没有假期,但他把难得的空闲时间花在了爱好上:设计一台步进扫描光刻机。对他来说,这是缓解狂热情绪的一种方式。沉浸在步进扫描光刻机的谜题中让他感到平静。他和维特科克一起讨论,以验证他对光学机械结构的想法。

在美国,由芯片制造商组成的联盟Sematech一直在支持扫描光刻机的开发。SVG和Perkin-Elmer都在研发实验系统,后者已经制造出了一台原型机。ASML、佳能和尼康尚未有研发成果,但Sematech的人已经通知ASML,如果他们开始开发扫描光刻机,将会获得资助资金。在维特科克致欧洲共同体的信中也包含了该战略的信息,因此,欧洲JESSI和ESPRIT计划为ASML开发步进扫描光刻机提供了难得的财务方面的喘息空间。


1992年,ASML和IBM开始讨论步进扫描光刻机的方案,他们都参与欧洲DUV项目,因此互相了解。当时,IBM与SVG已就步进扫描系统合作多年,但IBM对此并不完全满意,其美国合作伙伴只是取得了微不足道的进展。当时,竞争对手Perkin-Elmer引领着这一技术。IBM希望能从头开始,并决定向ASML和尼康寻求建议。

亚努斯·威尔钦斯基(Janus Wilczy-nski)在IBM管理这个项目,他联系了ASML的美国销售团队中的肯·皮恩。PAS 5500的声誉正在增长,威尔钦斯基希望与ASML合作开发新型扫描光刻机。

就像Natlab的赫尔曼·范希克一样,在20世纪70年代,威尔钦斯基在位于纽约州约克城高地的IBM瓦森研究中心制造过一台步进光刻机,供IBM内部使用。在随后的几年里,他在公司的研究梯队中上升到了一个很高的职位,并赢得了“研究员”这一殊荣,这使他从所有运营任务中解脱出来。威尔钦斯基是一位自由研究者,他能以自己的聪明才智来规划自己的道路。

当威尔钦斯基的邀请到达时,范登布林克倍感荣幸。IBM的这位专家是行业巨擘,此外,IBM也是PAS 5500的主要客户。他知道,与芯片制造领域中最重要的公司合作可以为ASML带来奇迹。但范登布林克的热情还有第三个原因:当威尔钦斯基联系他时,范登布林克已经对如何制造扫描光刻机有了很好的想法。事实上,他已经准备好了演讲并一直在等待机会。

1992年秋天,范登布林克和维特科克飞往约克城高地讨论他们的想法。他们来到了一个美丽的城镇,季节变化使树木染上了神奇的色调。IBM瓦森研究中心由芬兰裔美国建筑师埃罗·萨里宁(Eero Saurinen)在20世纪50年代设计,也给他们留下了深刻的印象。当他们到达瓦森的大厅时,他们在IBM研究员名人堂里看到了威尔钦斯基的肖像。范登布林克和维特科克仔细看了照片,发现他们的对话伙伴属于一个了不起的研究人员队伍,其中许多人获得了诺贝尔奖。年轻的物理学家范登布林克开始怀疑,他是否做出了一个完全错误的选择——为微小的、微不足道的ASML工作。“我在这里或贝尔实验室也许能更出色。”他打趣地跟维特科克说。

范登布林克的演讲引起了人们的兴趣。他说:“我们没有必要像Perkin-Elmer公司一样制造那样复杂的系统。我们将在现有步进光刻机的基础上不断改进。”威尔钦斯基喜欢这位年轻的荷兰人的勇气,但他并不完全信服。在他看来,在步进光刻机的基础上制造一台扫描光刻机会产生问题。

但最终,IBM的研究人员同意并要求ASML继续推进其设计工作,房间里很快就充满着一种罕见的热情。威尔钦斯基身边有一群聪明的人,他们很有想法。他们第一次与荷兰工程师见面时,就讲起同样的技术语言。他们在激动地交流思想。威尔钦斯基建议两个团队为带有0.7数值孔径镜头的步进扫描系统起草光学机械设计。

威尔钦斯基还带他们参观了他的实验室,实验室中有供他使用的完备且精良的设施。维特科克知道Natlab的步进光刻机研究小组和光学小组的配合一直不佳,因为CD光盘的研究始终具有更高的优先级。但在瓦森实验室,他看到设备极其齐全的超净室都用于光学光刻研究。IBM团队的情绪持续高涨,威尔钦斯基的上司还热情邀请这些荷兰访客到他家喝一杯。之后,他们带上葡萄酒在餐厅继续聚会。

在回程的路上,范登布林克和维特科克一致认为,他们不能把光学元件留给IBM,他们必须让蔡司参与进来。这意味着两个团队将共同开发一个步进扫描系统,包括附带的光学元件。最终,ASML的设计略胜一筹,多亏了蔡司的镜头设计师格哈德·弗尔特(Gerhard Fürter)。他设计了一个物像距为1米的光学系统,比IBM光学专家认为的需要5米长的镜头柱要紧凑得多。威尔钦斯基祝贺范登布林克和维特科克,并建议他们立即开始制造机器。

但范登布林克没有机会制造他的步进扫描系统。当监事会成员亨克·博特从威廉·马里斯那里得知ASML与IBM的合作时,他的回答是保守的。他知道,开发PAS 5500几乎令ASML倒闭。回顾这个不谨慎的过程,博特对马里斯说:“布林克做的那些,我们再也不能重蹈覆辙。我们不希望再发生那样的灾难,那个项目的规模太大,差点令公司倒闭。启动一个如步进扫描光刻机这样的大型研发项目,对我们来说为时尚早。”马里斯站在博特这边,要求立即停止步进扫描光刻机项目,这个决定让范登布林克火冒三丈。


1993年6月,范登布林克接到了IBM的鲍里斯·利普金的电话,他之前和上司约翰·凯利一起选择了PAS 5500。此后,利普金跳槽到Varian,该公司主要生产芯片的离子植入装置等。而Varian的新首席执行官迪克·奥雷里奥也是个老熟人。

奥雷里奥在飞利浦拒绝给他ASML的最高职位后返回美国。但利普金有一个问题:他无法让他的新机器正常工作,而范登布林克通过PAS 5500证明了他可以做得比任何人都好。ASML的系统架构师有兴趣成为Varian的研发主管吗?对利普金来说没有比现在更好的时机了。马里斯刚刚通知范登布林克,ASML将不会允许他设计新的光刻机。“所以我们不会制造一个步进扫描系统吗?”范登布林克再次请求首席执行官,为了进行最后的确认。当马里斯证实这一点时,范登布林克的反应是粗暴的:“那么我想咱们没得谈了。”

范登布林克告诉研发负责人埃弗特·波拉克他要休假几天,然后登上了飞往旧金山的飞机。在飞行过程中,他忍不住打开笔记本电脑完善步进扫描光刻机的演示稿。下周他将访问Sematech并向其他专家展示他的想法。他完全没有考虑他即将接受的面试,他只是在研究他的机器。

在硅谷,一个热烈的欢迎仪式在等待范登布林克。奥雷里奥亲自邀请他到家里,并和妻子热情地欢迎范登布林克,然后一行人到一个爵士乐俱乐部享受旧金山的美食。这样的事情,一件接着一件,十分美妙。范登布林克有两个工作职位可以选择,而且他可以带着妻子一起搬到旧金山。这样的环境和动力对他有很大的吸引力。“我真的认为我们应该跳槽,这是我们的机会。”他打电话回家时告诉妻子。他们还没有孩子,那会是什么阻止了他们?在回家的飞机上,他继续在Sematech演讲文稿上工作。

范登布林克第二天走进ASML时,马里斯正在等他。这位首席执行官接到了来自美国的电话。利普金向一位马里斯也认识的人吹嘘说,他雇用到了ASML最好的工程师,这个人立即打电话给马里斯,提醒他:“如果你继续这样做,你就会失去这位员工。”

“布林克,你不会做任何疯狂的事,对吗?”马里斯看到范登布林克走进来时开口问道,ASML的首席执行官非常愤怒,因为他的工程师给了他令人失望的回答。在家里,马里斯聊工作中发生的令人愉快的事情,从不去想那些麻烦。但是这一次,这位领导真的很担心,那天晚上他对妻子说:“如果马丁离开,我们就完蛋了。”

一周后,当马里斯和范登布林克去参加在美国举行的Sematech会议时,这位首席执行官向他抛出了橄榄枝。“布林克,我们继续一起干好吗?我们不告诉亨克,你可以继续研究你的步进扫描光刻机。”

不仅如此,马里斯问范登布林克是否愿意做研发工作的一把手,他已经和波拉克讨论过这事了。“既然他们请你在Vairan做这份工作,那么在我们这里你也能做。”马里斯说。为表示成意,他让范登布林克进入了管理团队。

范登布林克同意了,马里斯终于放下心来。首席执行官确实也提出了一个条件,这位顶尖工程师必须设计一台与现有的步进光刻机保持同步并兼容的机器。更重要的是,马里斯希望他的系统工程师能够拓宽自己的视野,不要只关注技术。“在开始步进扫描光刻机的研发之前,我们请你在费城的沃顿商学院参加为期6周的高级管理人员课程。”


当范登布林克在37岁领导ASML的所有研发机构时,他意识到自己长期以来有一个很大问题。这些年来,他并没有完全欣赏过别人。为了达到他们远大的研发目标,他给周围的人施加了很大的压力,甚至包括处于同一层级的技术经理。这些人都想教训他,但现在他即将成为他们的上司。

范登布林克决定向他的前研发伙伴弗里茨·范霍特征求意见,后者此后一直在瑞士的一家公司工作。“弗里茨,我该怎么办?我很有可能会失败。在过去的几年里,我得罪了好多人。你知道我对别人多么苛刻。他们会和我对着干的,因为他们从来没有觉得我让他们参与了我的工作,而我总是在他们的帮助下盲目地航行。我该怎么领导他们呢?”

人力资源经理尼科·赫尔曼斯建议他拜访咨询公司Hay的乔斯·博默斯,他在20世纪80年代中期帮助ASML建立了薪酬和审查体系。Hay的顾问将花费一整年的时间将ASML的研发部门分拆,再将其更好地组合起来。


维特科克再次敲开欧洲共同体的大门并设法让ASML获得财政支持,以便启动并运转步进扫描光刻机项目。就像当初研发PAS 5500一样,范登布林克闭关了几个月。与1988年相同的系统架构师以及几年前加入公司的埃里克·路普斯特拉(Erik Loopstra)起工作,他将落实ASML和IBM提出的想法。所有这一切孵化了一个大型的JESSI获奖项目,ASML将与Natlab合作开发扫描光刻机。

由于当时市场对步进扫描光刻机的接受度很低,ASML和蔡司设计了一款光学元件,既可用于步进系统,也可用于步进扫描系统。在奥伯科亨,蔡司设计了一个镜头,其在步进模式下,光场单侧有22毫米;在扫描模式下,光缝为26毫米×5毫米。

这推动了1996年一台步进光刻机原型诞生;一年后,扫描光刻机原型也看到了希望。结合光学研发,这款镜头成为蔡司最成功的应用产品之一。这个镜头柱将芯片的图案缩小为原来的1/4,所以掩模台的移动速度比晶圆台快3倍。在原型机中,掩模台每秒移动1米,晶圆台则每秒移动250毫米。


每个人都意识到H型晶圆台不可能在如此高的速度下达到所需的精度。Natlab的研究人员弗兰克·斯珀林(Frank Sperling)从杰拉德·范恩格伦那里拿出尘封已久的长冲程、短冲程发电机,并选择与设计师爱德·鲍尔配合研发。他们选了洛伦兹电机并堆叠它们,斯珀林和鲍尔为掩模台的驱动系统配备了平衡块,从而使整个系统非常稳定。


虽然机台拥有极高的加速度,但平衡块确保机台不会将周期性的力传递到机器的其余部分,这使他们能够保持定位误差小于15纳米,足以投影连续的芯片图案并达到所需的精度。这个系统非常稳定,在扫描过程中,放在步进光刻机框架侧面的硬币都可以保持稳定。在此期间,美国Sematech联盟的一个代表团访问了CFT和Natlab,在那里他们首次接触到了ASML至今仍在其扫描光刻机中使用的这一优越设计。

1996年4月,Natlab的内部刊物自豪地报道了扫描光刻机原型。为了明确在实验系统中机台的运动是如何精确同步的,该文将其与两辆同时移动的车进行类比。如果两车以每小时3万千米的速度行驶,它们之间的差值必须小于0.5毫米,这样才能达到与扫描光刻机原型一样的精度。

10 增长 - 图3 Natlab有4个部门参与开发扫描光刻机原型,即布迪·萨斯特拉(Budi Sastra)的力学小组和塞斯·范乌伊延(Cees van Vijen)的光学小组,以及简·范埃凯伦(Jan van Eekelen)的机械工程车间和维姆·乔森(Wim Joosen)的电子和仪器仪表车间。

参与开发的很多研究人员都在这张照片里。从左到右站着:爱德·鲍尔、弗兰克·斯珀林、马吕斯·范库克(Marius van kuick)、何塞·范德文(Jos van de Ven)、杰拉德·范萨默伦(Gerard van Someren)、皮埃尔·范德克尔霍夫(Pierre van de Kerkhof)、彼得·德克森(Peter Dirksen)、亨克·桑德斯(Henk Sonders)、扬·范德·韦尔夫、扬·内特(Jan Nent)、亨克·巴特林斯。从左到右蹲着:埃里克·詹森(Eric Janssen)、彼得·范卡斯特伦(Peter van Kasteren)、乔治·德·福克特(George de Fockert)、雅克·莱伊森(Jacques Lei Jsen)。

韩国巨头

顽固的三星终于对ASML的机器感兴趣了。杰拉德·韦尔登肖特没有让韩国买家占到便宜,他为马里斯的“扣篮”提供了黄金助攻。

1993年秋天,销售总监道格·马什拿起电话,听到一个韩国人的声音,这令他感到惊喜。来电话的是三星的采购经理,他用断断续续的英语问马什是否有兴趣来首尔谈论未来的合作机会。马什一生中从未经历过这样的事情,在他从事光刻机业务的15年中,从来没有客户主动打电话邀请他讨论一笔价值数百万美元的交易。

三星热情地接待了ASML的人,三星的采购经理甚至派出租车去酒店接马什。他们谈了几个小时,然后在首尔当地的餐馆吃饭。当韩国的烧酒和小菜上桌时,三星的两个高级总监加入了他们:一个负责芯片制造,另一个负责采购。

与美国客户一起,马什总是谈论价格、交货日期、规格和正常运行时间的保证。但是,当韩国人用不锈钢筷子夹泡菜时——马什本人不太喜欢亚洲美食——他们心中只有一件事:ASML如何帮助韩国,或者说荷兰光刻机制造商如何协助三星实现业界第一的雄心。

在20世纪90年代初,三星充满了自信。微软的Windows操作系统正在提高用户对PC内存的需求,韩国内存芯片供应商正在这一波销售浪潮中试图击败日本竞争对手。三星是绝对的行业巨擘。1984年,这家企业集团的市场份额为零,但到1993年,它已是第一大DRAM制造商,拥有全球10%以上的内存芯片市场。那一年,三星的DRAM收入增长了72%,超过20亿美元。该公司将甩开日本的日立、NEC和东芝并开始热切地展望未来。

这个不寻常的提议让马什大吃一惊,但他不知道是什么导致韩国突然对ASML产生兴趣。奇怪的是,他们并没有在首尔提到过ASML。如果三星使用尼康的光刻机做得这么好,那他们为什么打电话给他呢?他知道韩国和日本在历史上关系紧张,但这应该不是最主要的原因。

几周后,当马什访问Micron时,他才知道原因。Micron已允许韩国人观察其生产过程,这就是他们了解到荷兰光刻机供应商所有信息的地方。在博伊西,PAS 5500正在以惊人的高吞吐量和低停机时间曝光芯片。


三星的主动与ASML以前的经历形成鲜明对比。1988年年底,马什加入ASML后,多次尝试与该公司联系,威廉·马里斯甚至让马什亲自到韩国,但他们仍然很难得到机会,毕竟当时三星对尼康很满意。

马什并不是20世纪90年代初唯一一个去敲三星的大门的人。ASML的工程师们还曾与韩国人进行了很多次徒劳的对话。马丁·范登布林克、理查德·乔治和埃弗特·波拉克曾多次飞往首尔,但从未得到任何机会。

最让范登布林克感到意外的是,他无法打破僵局。他几乎总是能够说服潜在客户里的光刻专家,因为他们总是遵循相同的模式。起初,芯片制造商认为范登布林克是异常傲慢的、自以为通晓一切的人,但随着时间的推移,他们都开始欣赏他的坦率和丰富的专业知识。

和韩国人谈话时,范登布林克发现他们和自己很像。他们异常顽固,三星总是给出一份详细的要求清单和一些定制要求。如果ASML不能满足他们,他们就拒绝进一步交流,因此三星的大门一直没被敲开。

范登布林克有一个很大的问题,他自己缺乏灵活性。ASML相对较小,无法为每家购买机器的公司提供定制服务。它没有时间为单个客户进行大规模的研发。如果它屈从于每个客户的要求,那么他们很快就得在维尔德霍芬设置10条不同的机器生产线,这将使开发、装配和物流过于复杂。

因此,ASML的整个销售和营销工作都围绕着提供标准机器进行。当然,虽然目标是交付一台标准的步进光刻机,但安装在晶圆厂中的机器其实会大大超过其原定规格。这种一刀切的策略行之有效,非常适合范登布林克。他总是忙着说服别人他是对的,他一向如此。他会一直坚持沟通,直到芯片制造商明白他的观点并调整他们的要求清单。

但三星并没有那么听话。更重要的是,在韩国,范登布林克发现自己所面对的文化,与自己坦率的风格特别一致。当韩国人不能打破僵局时,他们有时甚至会动粗,比如扔房间里的东西。如果荷兰工程师总是拒绝他们的要求,韩国人会拿走他们的护照,并禁止他们离开大楼。首尔的采购人员很固执,他们一直坚持一长串的要求和规格。范登布林克看到要提前几个月的额外研发需求,他对韩国人的所有要求都拒绝让步。在20世纪90年代初,两家公司的谈判始终以僵局告终。范登布林克很少认输投降,但在对手是三星的情况下他放弃了。他告诉乔治和波拉克:“我们永远搞不定这家客户。”


当马什告诉他的同事们三星有转机时,维尔德霍芬的情况已经发生了明显的变化。肖特的光学玻璃和碳沉积问题已经得到了解决,3年后,PAS 5500开始平稳运行,客户对其有很大的兴趣。他们已经向IDT和台积电出售了3台机器。UMC正在评估,IBM、西门子和东芝将前来维尔德霍芬观看演示。这一切也给了ASML更多的财务方面的喘息空间。1993年下半年,很明显,该公司4年来首次扭亏为盈。范登布林克与乔治和波拉克讨论了现状。如果他们抓住三星,他们在未来几年至少可以交付100台光刻机,其价值将超过5亿美元。作为回报,韩国人希望看到他们的每一条需求都被满足。“我们可以一直固执下去。”波拉克和马里斯说,“但我们在这里谈论的是那么多的机器。”工程师们看到了启动特殊研发项目的机会,他们放弃了“一刀切”的原则,开始满足三星的特殊要求。


随后几个月的谈判最终导致了文化上的冲突。ASML的美国销售经理负责接触三星,但他们与韩国客户的谈判却失控了。局势恶化后,马里斯决定介入并亲自处理此事。这个决定确实令人惊奇。这位首席执行官每月飞往首尔,在必要时增加了与三星高层的交谈频率。

马里斯的经验起到了作用。从他在韩国的飞利浦分公司工作的时候起,他就比任何人都清楚:你不必和韩国人敲定每一个细节;与他们做生意,最关键的是信任,握手有时比一堆合同都更有用。

几个月后,马什和杰拉德·韦尔登肖特前往首尔进行最后的价格谈判。这一次他们再次遭遇了一种极端对抗的风格。“我们来确定您的机器的价格。”他们刚一落座采购主管就这样说。

马什礼貌地问他的顾客这是什么意思。“采购经理说价格必须下降30%,这点没得谈。”韦尔登肖特感觉他的血压在上升,他深吸了一口气,然后平静地回答:“先生们,我相信我们在这里产生了一个重大的误解。我们认为您邀请我们帮助您开发更高效的生产工艺和更好的产品,但很显然我们误解了您。您现在请求我们提供开发援助,对不起,恐怕您不得不找别的供应商了。我们无法以您提供的价格交付我们的机器,因此请原谅我们。”

韦尔登肖特站起来了。“来吧,我们要走了。”他低声对被眼前的一幕惊呆了的马什说。马什抗拒道:“我们不能那样做。”韦尔登肖特把手放在马什的肩膀上,“道格,我们要走了。这里没什么可做的了,这是毫无意义的。让我们回到我们的酒店,喝杯啤酒。”三星的一个初级销售人员试图阻止他们,但韦尔登肖特的态度坚决:“电梯在哪里?我们要回家了。”

“杰拉德,你搞砸了这一切。我们要失去三星了。”他们到了酒店的酒吧后,马什呻吟着说,“你怎么能这样做?你不能这样对采购经理说话。”韦尔登肖特则很镇定:“如果你是正确的,我会承认,但我认为你错了。如果我们同意降价30%,我们就无法在这笔交易中赚到钱。”马什并不赞同:“但是,我们是不是应该从长远考虑呢?”韦尔登肖特说:“我们不能让他们侮辱我们。”


他们喝着啤酒从冒险的感觉中逐渐恢复过来后,酒吧里出现了3个美国人。他们坐在酒吧里,明显有点垂头丧气。他们原来是设备制造商Applied and Novellus的销售人员,而三星的采购人员刚刚让他们惨败。他们抱怨谈判太艰难了,并说他们已经同意给予25%甚至30%的折扣。韩国的订单规模如此之大,他们不想失去这个市场。

韦尔登肖特在类似这样的谈判中的筹码是马里斯引入的“拥有价值”这个战略概念。如果使用财务模型,ASML则可以令人信服地向客户展示机器赚回成本的速度。芯片制造商提供他们的数据,ASML将数据输入模型,然后清楚地说明荷兰机器比佳能和尼康的机器更有利。ASML的系统更昂贵,但更有购买吸引力,因为客户可以通过它们获得更多收入。

韦尔登肖特也非常清楚,三星不能再耗时间等待建立一个新的工厂。如果DRAM制造商能够比竞争对手更快地将芯片推向市场,每月将带来数千万甚至数亿美元的收入差距。这意味着你不会因为500万美元的机器价格而失眠。

果然一个月后,三星要求ASML重新开始谈判。马里斯飞往首尔,握手签署了协议。韩国人同意支付一个双方都可以接受的价格,但他们有条件:要求迅速交货。马什将这家内存制造商放到待支付列表的前列,因此第一台PAS 5500于1995年2月到达三星。三星将用它来开发一项0.26微米的工艺以生产16Mb DRAM。在随后的几年里,韩国人将完全信任荷兰步进光刻机。


由于在韩国的业务规模很大,ASML考虑在那里开设办事处。但三星的人有不同的建议:“我们认为,我们可以帮助您找到合作伙伴在韩国设立业务。”ASML的销售人员承认,拥有本地支持组织对ASML来说也是最好的。现在,他终于知道文化差异有多严重。随后这家荷兰公司与Hantech合作,遵循在中国台湾采用的战略:与一家了解当地工作情况并能处理服务方面事务的公司合作。在随后的几年里,这将是一项成功的举措。

不久之后,韩国的Hynix也开始使用PAS 5500。这家公司从位于比利时鲁汶的IMEC研究所的员工那里了解到ASML机器,当时IMEC正使用ASML的系统开发新芯片工艺。Hynix于1996年10月安装了第一台PAS 5500,该系统后来被该芯片制造商称为Robocop机器,因为它像盖章一样精准地生产晶圆。1998年,Hynix一跃成为ASML的最大客户。

四十大盗

亨克·博特寻找投资者帮助ASML扩大规模,但蔡司破坏了他的计划。

20世纪90年代初,PAS 5500使ASML激情澎湃。1991年,该机器的推出具有革命性的意义,当这个系统开始可靠运行一年后,资金开始再次回流到维尔德霍芬。不断增长的芯片市场也是一股推动力:客户正在疯狂地购买机器,以建立新的晶圆厂并进行大批量生产。1993年,ASML的年收入增长了50%。自1989年以来,该公司首次盈利1,100万美元。经过长达10年的生存挣扎,ASML突然发现自己正面对着一个从未面对过的问题:如何满足芯片制造商不断增长的需求。公司需要资本来扩大生产规模、投资基础设施和研发,以生产PAS 5500的下一代机器。显然,DUV步进扫描光刻机需要大量投资。蔡司还必须大幅提升产量,在未来几年内,这家镜头制造商单为三星就需要生产100多个步进光刻机镜头。


监事会成员亨克·博特想出了一个办法:让投资者掏钱。他将ASML的市值设定为5,000万美元,并要求投资者购买飞利浦子公司的股份。NMB银行、MIP基金和少数其他行业的投资者都表现出了兴趣。MIP甚至想购买50%的股份。博特知道,只有蔡司全力支持ASML冒险,ASML最终才会成功。因此,他将他的股权计划设置为只有德国人也加入时才会通过。威廉·马里斯希望与蔡司建立更紧密的联系,这家荷兰公司急需德国的光学专家,尽管其镜头明显低于标准,但它是唯一一家有潜力交付镜头的公司。入股ASML是让蔡司遵守承诺的关键。

10 增长 - 图4 1994年4月,为庆祝ASML成立10周年,威廉·马里斯款待公司创始人和前首席执行官斯密特,他们在米其林星级餐厅De Karpendonkse Hoeve共进晚餐。作为留念,他送给客人们每人一张晚宴的照片。马里斯在给乔治·德·克鲁伊夫的留言中写道:“一个好的经理需要时不时地做出一个好的决定。这就是个好决定。谢谢,你的威廉。”

马里斯开始采取行动。他试探了迪特尔·库尔兹(Dieter Kurz),库尔兹当时刚刚接管了蔡司的商业步进光刻机镜头业务。蔡司有可能投资吗?库尔兹向主管托马斯·拜尔(Thomas Bayer)转达了这一信息,他负责蔡司的隐形眼镜和摄影器材项目。拜尔的反应是积极的:“是的,我们绝对应该投资ASML!”

但这里存在一个障碍,蔡司和肖特在卡尔·蔡司基金会中密不可分地联系在一起。重大投资的决定必须由两家公司一起做出。1994年,蔡司身无分文,完全依赖姊妹公司肖特及其宽裕的银行账户进行投资。

马里斯和杰拉德·韦尔登肖特得到机会在奥伯科亨展示他们的计划和许诺:蔡司和肖特将各有4名执行董事会成员到场。库尔兹也为说服公司做好了充分的准备,“如果我们不这样做,那么我们就太傻了,”他说,“这项业务将像杂草一样增长,而我们就是关键。如果我们能够交付镜头,这家公司将展翅高飞。”

库尔兹随后告诉马里斯,他提出用德语报价是至关重要的:“肖特有些人的英语说得不好。如果你开始谈论技术,他们就不想谈了。他们压根不知道步进光刻机或半导体是什么。”

库尔兹知道马里斯的德语说得相当好,但当这位ASML的首席执行官开始在蔡司著名的恩斯特·阿贝会议室讲话时,他说出的单词竟然是英文的,没人知道为什么。马里斯说,他仍然有欠款未付给蔡司。他先前以质量差和交货迟为由拒绝支付的货款加起来有500万美元。ASML的首席执行官提议卡尔·蔡司基金会将未付货款的一半换成ASML5%的股份,他回国后会结清剩下的250万美元。

从肖特的高管的态度可以看出,这次沟通可能会失败。“这不是我们的市场。”马里斯从他们的脸上读出来这条信息。当时,蔡司每天都在亏损,肖特没有人有兴趣投资一家不知名的荷兰公司。近年来,这家光学玻璃供应商甚至总是质疑,为什么必须要制造这么困难的i线玻璃材料。

房间里的一个顾问拿出了杀手锏。他指出,西门子在半导体市场正处于困难时期。德国正开始启动一项基于X射线的大型光刻机研发项目。谈到这一被大肆炒作的举措,这位顾问说,光学芯片的制造方法就差一块关键的拼图了。但是,会议还是在30分钟内结束了。肖特给出的信息很明确:我们已经存在很多的问题了,所以请全额支付未付的500万美元。结果不到4年,ASML当时提供的5%的股份的价值增长了100倍,变成了2.5亿美元。

当博特听到马里斯传来蔡司拒绝入股的坏消息时,他立即拿出备选计划——紧急上市。1994年春天,飞利浦和ASML的高管们紧锣密鼓地为在纳斯达克的路演做好了一切准备。经济和行业仍处于上升期,而博特希望在新的危机再次出现之前完成上市。


为了在纳斯达克筹集资金,ASML必须引起美国投资者的关注。帮助ASML和飞利浦进行首次公开募股的投资银行瑞士信贷第一波士顿和摩根士丹利表示,美国的惯例是把关键人物与公司捆绑在一起,否则,美国投资者不会投资。博特为此保留了公司5%的股份,并交由飞利浦代管。

紧接着马里斯和韦尔登肖特开始选择对ASML至关重要的人,并可能与他分享5%的激励股份。他们最初选择了自己,然后在他们周围圈出一些人。但是经过一番讨论,他们决定如果没有更多的人,包括关键的工程师参与,这份名单也就没什么效力。他们随后将数十人列入了名单,并将他们分为6类。在接下来的几周里,名单上的人越来越多。业内人士注意到,到最后,这份名单上主要增加了与韦尔登肖特相处得很好的人。这位首席财务官甚至添加了最近加入ASML的自己的姐夫,公关负责人和行政秘书也被标记为具有战略重要性的人物,最后总共有40个股东来分享这5%的股份。

马里斯和韦尔登肖特大概知道这5%的股份价值几百万美元,甚至几千万美元。但被选中的人几乎没有人知道,如果他们留在ASML,他们将于1998年年初获得多大的惊喜——ASML首次公开募股之后他们才意识到这一点。

所有人,包括马里斯和韦尔登肖特在内,都不知道他们到底在分配什么,当然也不知道其股票的增长潜力。当每个人最后意识到赏金是多么大时,这个团体已经被称为“阿里巴巴和四十大盗”了。


虽然ASML成立已有10年,但韦尔登肖特仍定期拜访飞利浦的财务和法律部门以寻求帮助。一旦明确了哪些员工将获得ASML的股份,他就去这家跨国公司咨询税务专家。他们建议他马上与荷兰税务部门达成协议,那么4年后他就不用交税了。

当ASML的首席财务官在埃因霍温税务局解释该计划时,他们很快讨论到了公司的现有价值。韦尔登肖特坚持说现有价值应该是零,他擅长这种表演。韦尔登肖特做好了准备,他有一些令人信服的论点:ASML的净资产为零,公司在飞利浦和几家银行还有高额的未偿债务。“我们什么都没有,只有债务,”韦尔登肖特坦率地说,“所以公司一文不值。”

但是税务稽查员不会这么轻易放过他。于是韦尔登肖特让步说,建议将目前总价值定为500万美元,这样5%的股份价值25万美元。税务稽查员觉得这似乎是合理的。不久之后,ASML支付了25万美元的税款。当这些员工的股票在1998年年初到期时,其价值将增加两个数量级。

拯救公司的医生

卡尔·蔡司基金会任命彼得·格拉斯曼(Peter Grassmann)为蔡司的首席执行官,负责拯救公司。

1993年6月1日,卡尔·蔡司基金会在其股东委员会中增加了一名成员。这名成员就是赫尔曼·弗朗茨(Hermann Franz),曾任西门子监事会成员,他的任务是拯救蔡司。蔡司仍然忙于整合业务,但它也在为生存而战。弗朗茨被任命后不久便很清楚,他无可避免地要做出一些重要但不受欢迎的改变。1994年3月,他在召集的股东委员会会议上发言。

他告诉他们,奥伯科亨和耶拿的业绩加在一起也难免不断亏损,基金会将在一年内耗尽其储备资金。弗朗茨建议他们聘请波士顿咨询公司,该公司几年前曾协助耶拿整理财务状况。“我们需要立即采取行动,没有时间讨论。”他这样告诉委员会。

7个月后,蔡司基金会宣布了一个坏消息:必须裁员2,500人,否则损失将达到数亿。《明镜》周刊在一份分析报告中称:“在公司合并3年后,强大的传统光学和电子公司蔡司再次面临生存危机。”周刊提到,蔡司必须削减1.55亿美元的成本并完全放弃几项业务。《明镜》周刊还写道:“行业分析师称不排除首席执行官乔布斯特·赫尔曼将被迫离职。”

1994年,奥伯科亨的员工在外部顾问的建议下每一步都走得战战兢兢。一切工作都围绕着削减成本和缩小规模。就在那时,威廉·马里斯和杰拉德·韦尔登肖特徒劳地提出了让蔡司入股ASML并给出了报价。


在举步维艰的一年里,ASML收到了来自三星的一笔大订单。韩国人希望在未来几年购买110套系统,因此镜头组也需要这么多。克劳斯·利希滕贝格刚刚负责蔡司的光学生产工作,首席执行官赫尔曼却命令他大幅裁员。命令写道,必须裁掉2/3的人。在车间的450名员工中,只有150人可以留下来。

当利希滕贝格听到关于巨额订单的消息时,他立刻开始考虑这些数字。新一代光学元件必须包含更多满足更严格要求的镜头。要抛光的镜头直径和表面积不断增加,公差不断缩小。为了在未来几年为i线和248纳米的DUV提供镜头系统,他需要将目前的每年20~25个光学系统扩展到130~150个。这意味着总共不是600个,而是4,000个镜头。要抛光的镜头表面的数量从1,200个跃升到8,000个。每台步进光刻机都需要几十个额外的镜头用于曝光系统。

即使凭借目前的人力和技术,利希滕贝格也不可能满足这种需求。他有12个高级“金手指”工匠为他工作,但当他分析出订单所需的手工工作量后,他意识到1995年和1996年需要近300个“金手指”工匠。在没有时间训练这么多人的情况下,唯一可行的解决方案是全自动大规模生产。

但他不能说服赫尔曼听从他的建议。这位首席执行官希望尽快实现盈亏平衡;他的主要思路不是投资回报,而是完全专注于降低成本和裁员,因为相机镜头、医疗仪器和高端显微镜的产量正在下降。他对异国的半导体光学产品所提供的机会视而不见。在奥柏科亨,这条业务线只是像宇航那种特殊“项目”中的一个,这些“项目”只能在其他“主要工作”之间的夹缝中生存。

赫尔曼在让年轻的利希滕贝格负责中央光学车间的生产工作的同时,他还让迪特尔·库尔兹负责蔡司的半导体事业部。当时,生产部和事业部两个部门完全独立运作。

在半导体光学领域,库尔兹立即面临巨大的压力。马里斯必须找到一种方法来应对指数级增长的需求,所以他邀请库尔兹参加ASML所有季度的管理会议。在那里,他们无情地催促他:库尔兹必须把1993年2,500万美元的产出在1994年翻一番。

不仅如此,在未来几年中,半导体制造商将过渡到使用深紫外光生产芯片。因此,收入呈指数级增长的现象在未来几年中将保持不变。在维尔德霍芬,库尔兹一次又一次地被告知,需求在增长,镜头也变得越来越复杂和昂贵。

库尔兹的问题是,蔡司的执行董事会对芯片行业知之甚少,而且公司正不断亏损,高级管理层正设法避免一切风险,投资必须立即看到成效。在蔡司,库尔兹进一步向利希滕贝格施压:半导体镜头的收入必须达到7,000万美元。这导致了激烈的对抗,库尔兹对生产主管没有管理权力,但生产又依赖于他。利希滕贝格需要削减成本;库尔兹想扩大规模,但是没有资金投入。这样的情况拖了几个月,毫无进展。


1994年秋天,委员会成员弗朗茨盯上了一个能够胜任蔡司主要重组工作的人:彼得·格拉斯曼,西门子医疗设备部门的负责人。弗朗茨打电话给格拉斯曼,并在几天后的3个小时的会议上向他解释了蔡司存在的问题。弗朗茨告诉格拉斯曼关于蔡司的文化、工作委员会的事情以及他重组公司高级管理层的决心。“我认为你是合适的人,”他告诉格拉斯曼,“你适合经营高科技业务。”

但对格拉斯曼来说,这像是降职,蔡司明显小于他目前负责的西门子医疗设备部门。更重要的是,他一直对蔡司没有打破公司等级文化的经理们直言不讳地提出批评。

弗朗茨坚定地强调,没有内部候选人可以胜任这项工作。他在找一个客观的、外部的人。

格拉斯曼,一个天生的怀疑论者,对这份工作没什么兴趣。此外,他也不熟悉光学业务。1994年10月,当蔡司出现在各种新闻中时,他越来越犹豫。那里真是一片混乱,他与奥伯科亨的沟通加深了他的这一印象。一天,他们给他发了一份传真,宣布董事会的全体成员要离开;第二天,他又收到了一条消息,说这并不是他们的本意。

在弗朗茨的建议下,他读了1989年出版的一本关于蔡司历史的书,他的反感消失了。阿明·赫尔曼(Armin Hermann)的这本书描述了恩斯特·阿贝原本可以成为一个亿万富翁,但他选择将他在Optische Werke Carl Zeiss和Glaswerk Schott & Genossen公司的股份捐赠给一个以他的前合伙人蔡司命名的基金会。

蔡司和肖特公司在其150年的历史中已经建立了卓越的声誉。在19世纪,蔡司以其高质量的产品和社会进步政策而闻名。在20世纪,它的相机镜头惊艳世界。随着格拉斯曼深入阅读这本书,他的兴趣也越来越大。“我对这家公司开始产生迷恋。”他在日记中写道。


蔡司的员工称他们的公司为“一所拥有自己车间的光学大学”。格拉斯曼在斯瓦比亚山谷中一下子就领略到了那种气氛,那里的每个人都专注于生产高品质的产品。但创新、成长和合理的利润追求呢?这些并不在其文化中。如果一项业务正在亏损,就像当时的显微镜业务一样,没有人会注意到。每个人都相信,这会迫使蔡司从每一次危机中浴火重生。就像20世纪70年代一样,它在日本人的低价相机战争中失败后仍能崛起。在奥伯科亨,问题总是能迎刃而解。

格拉斯曼记录到,阿贝的精神仍然像风一样拂过奥伯科亨的每栋建筑物。这家光学公司的员工有强烈的归属感。格拉斯曼看到了一家高科技公司,但这家公司却没有领导力或专注力。

波士顿咨询公司的分析让格拉斯曼很好地了解了公司的现状。情况很严重,但也不是没有希望。柏林墙倒塌引发的生存危机迫使每个人都看到了在健全的经济基础上经营公司的必要性,格拉斯曼在与工作委员会打交道时也指出了这一点,这是他在明确同意接任首席执行官职位之前需要清除的最后一个障碍。

格拉斯曼认为,只有员工给他空间找到出路,才能清除公司的弊端。虽然这么做明显会带来一些伤害,但工作委员会还是表示肯定会合作。他们也提出了一个要求:格拉斯曼必须在公司的各个层面(管理层、研究人员和生产人员)均匀地分配裁员比例。

虽然格拉斯曼意识到这会使拯救公司的“手术”变得昂贵,但他答应了。他的医学背景给予了当地报纸描述该公司未来道路的灵感。“一个医生要去拯救蔡司了。”报纸用大而粗的字体写道。


格拉斯曼不仅在领导一家大公司方面拥有丰富的经验,而且他也知道投资复杂技术意味着什么。在20世纪70年代末,他领导了西门子亏损的计算机断层扫描(CT)部门的重组工作。他投资了9,000万美元,在短短几年内就将该部门变成了一个盈利的分支机构。在20世纪80年代,医疗器械部门甚至成长为西门子最强大的部门。

1983年,西门子要求格拉斯曼在他的部门添加磁成像技术(MRI)。他投资2亿美元,其中包括收购牛津仪器公司的费用,这家英国公司刚刚研发出第一个能成像整个人体的超导磁铁。1994年,当格拉斯曼接到蔡司的弗朗茨的电话时,西门子的MRI部门的收入已经增长到25亿美元。

开坦克的参会者

蔡司正忙着将ASML打回原点,扬·蒂默不能允许这种事发生。

在ASML,他们知道在1994年年底他们已经获得了PAS 5500的胜利。多年来,他们一直在对蔡司施加巨大的压力,但德国人一直无法交付镜头。蔡司忙于其他战场:在医疗和摄影市场打仗,公司的合并也消耗了他们的现金。

ASML的采购主管汤·范兹瓦姆(Ton van Zwam)不断向蔡司的经理们强调,他们必须做得更好。性能、交货日期、可靠性,现在所有这些都低于标准。范兹瓦姆没有留情:“你们的摄影业务注定失败,你们必须为半导体光学元件腾出空间,那才是蔡司的未来所在。”

范兹瓦姆确实就是这个意思,并明确地向蔡司表达了他的真实想法,但这种行为伤害了蔡司高层管理人员的自尊。

当时,德国人已经遭受了许多屈辱,其中包括他们正忙于将著名的Contax相机的生产转移到日本和白俄罗斯。他们认为范兹瓦姆说话太直接了,在蔡司,他以极其强硬的风格而闻名。但是,ASML的这位采购主管确实还是有影响力的。渐渐地,像克劳斯·利希滕贝格和赫尔曼·格林格这样的人都开始相信有一个市场在等着他们。

范兹瓦姆与威廉·马里斯讨论了情况。他解释说,利希滕贝格一心忙于追求企业盈亏平衡。自1993年年底以来,他一直负责中央光学车间,他们正在试验新技术,这种技术可以帮助他们提高产量,但利希滕贝格没有可用资金,高层管理人员刚刚命令他削减开支。迪特尔·库尔兹正在向利希滕贝格施压要求他增加产量,但令ASML感到沮丧的是,这位生产主管并没有资金投资新技术。

范兹瓦姆认为,奥伯科亨陷入了僵局。他告诉马里斯,利希滕贝格应该能够增加生产几千万美元的产品。ASML的首席执行官也没有任何资金,但他的公司正在崛起,前景乐观。因此,他利用1994年年底蔡司持续的危机来警告飞利浦的领袖亨克·博特和扬·蒂默。ASML的首次公开募股(IPO)定于1995年3月进行,该公司的德国光学供应商正在演变为主要风险因素。

这时,ASML已经在飞利浦的最高层取得了一定的信誉。1992年的低迷已经过去,IPO的准备工作进展顺利。1994年,ASML将能够偿还欠飞利浦的5,000万美元债务的一半。

马里斯向博特和蒂默表示,公司1994年的收入将超过2.75亿美元,比上一年增长70%,预计年底利润为2,200万美元。此外,他们正与三星进行谈判,三星有意在未来几年内购买至少110台步进光刻机,这意味着1995年维尔德霍芬出厂的机器数量将达到200台。


1994年年底,飞利浦邀请蔡司即将上任的首席执行官彼得·格拉斯曼访问埃因霍温。彼得·格拉斯曼来自西门子,他带着利希滕贝格一起向飞利浦董事会介绍奥伯科亨的情况。格拉斯曼也有一个提议:蔡司基本上是破产了,但它需要进行关键的投资来扩大其生产规模以满足ASML的需求。

在埃因霍温,飞利浦的首席执行官让两人等了一个小时,格拉斯曼不习惯这种风格。他和蒂默简短问候了几句,然后绰号“坦克”的飞利浦领袖蒂默直截了当地说:“蔡司给ASML的发展拖了后腿。”作为ASML唯一的所有者,飞利浦不能允许这种情况发生。

当利希滕贝格即将开始介绍时,马里斯和范兹瓦姆也加入了会谈。德国生产经理解释说,他希望取代蔡司的所有手工生产劳动。作为扩大光学生产和组装规模的候选方案,蔡司有两个系统在开发中:刚性定制机器和闭环抛光机器人。利希滕贝格还不能保证哪种方法是最好的,以及需要多少钱。

格拉斯曼接着补充说,他自己承担不了这么大的资金投入。蒂默只问了两个问题:蔡司的首席执行官是否对这项业务有信心,以及能否扩大规模。当格拉斯曼都回答“是”时,飞利浦的首席执行官说:“我会给予支持,因为我们希望上市。”然后,他借给格拉斯曼1,900万美元。


拥有1,900万美元的利希滕贝格终于可以穿上他的“跑鞋”了,他安装了新的探头和激光干涉仪,并更换了用于粗加工和精密研磨的机器。为此,他从Hermle公司购买了为光学生产定制的精密车床。

利希滕贝格通过两种方式设置抛光流程。为了制造实验定制机器,他聘请了施耐德为其工具配备数控机床控制系统,这是他们首次在蔡司拥有完全可编程、可再生的抛光系统。这些都是经典的抛光系统,但全都实现了自动化并配备了环形工具和稳重的花岗岩底板。

在和竞争对手不相上下的竞争中,利希滕贝格构建了控制闭环系统。为了使干涉仪自动化,他与测量部门密切合作。最终,他使干涉仪和抛光机器人所达到的精度与定制机器相当。作为最后一步,他和克劳斯·贝克斯特特在O-Lab中安装离子束设备,并再次用干涉仪完成了一个闭合反馈回路。

机器人方案最终胜出了,这些系统不再完全依赖有“金手指”的工匠了。此时,公司最需要的是软件专家来编程。镜头表面经自动化处理后的精度令人满意,蔡司已做好进一步扩产的准备。

格拉斯曼的严峻挑战

蔡司第二次请求ASML给予援助。杰拉德·韦尔登肖特同意了并最终给予蔡司所要求金额的两倍。

1995年年初,蔡司仍是一团糟。雇主与雇员之间的关系受到损害,奥伯科亨和耶拿之间的不信任根深蒂固。这是彼得·格拉斯曼上任后的头几个月,他很恼火。在公司业绩低迷、政治游戏盛行、员工习惯用各种借口逃避问题的时候,蔡司的首席执行官很清楚:这家公司缺少领导力,没有业绩压力,没有企业责任,没有利润追求,没有认真解决问题的人。

放弃亏损业务?蔡司从不这样干。就像成本控制一样,证明财务决策的合理性,并制定有充分依据的投资战略预算,但格拉斯曼在奥伯科亨找不到这样的东西。

人们舒适地躺在雇主温暖的腿上。蔡司是他们的公司,在他们眼中公司的社会职能才是重中之重。离开的人都是带着丰厚的养老金走的。

格拉斯曼遇到了自己的权力极限,他努力在个人层面上与它斗争。他认为他与工作委员会达成的协议存在问题:协议是各岗位平均裁员,这意味着许多优秀的物理学家也必须离开,这让他感到心痛。他不得不把那些对公司仍然有价值的员工送走,把那些全心全意投入工作中的员工送走。如果在56岁时就让他们退休,他们完全不知道在家里能做什么。

1995年1月1日,前首席执行官乔布斯特·赫尔曼离开,格拉斯曼很清楚,董事会其他成员也将很快离开公司,否则,他不可能改变公司的文化。他表示他不需要其他3名董事会成员参与决策。根据波士顿咨询公司的建议,格拉斯曼在第一年关闭了蔡司的26个项目中的10项。他把剩余的项目分成5个业务部门。在耶拿,除了计划的裁员人数外,他又裁掉了1,000人。

格拉斯曼常在公司里大发脾气,他的坏脾气也很快出了名。当业务经理提出他们的战略计划时,他不留情面地说:“我不想听到任何废话,你被解雇了。我会让别人来取代你的位置。”格拉斯曼的目光也落在了迪特尔·库尔兹身上。很明显,半导体部门需要一个长期的投资计划。芯片生产的下一步是DUV光刻机,这将带来新的机遇但也会带来新的威胁。i线镜头使ASML和蔡司真正进入竞技场,但如果他们成功地迈出了一步,他们就能和日本人真正同场竞技。

库尔兹要求赫尔曼·格林格和温弗里德·凯撒收集相关数据信息,以便向董事会提交这些报告。在这两人给他数字之前,他们要求他坐下来听,因为担心这些数字会把他吓到。他们计算过,他们需要在两年期间获得8,500万美元。“不可能,”库尔兹叫道,“你不会认为我会去向几乎资不抵债的公司董事会要求8,500万的投资吧?他们会把我扔到街上去的!重新计算,拿出一个可以接受的、不会被董事会否决的数字。”

但是,在他们再次计算之后,得到的结论还是一样的。他们需要8,500万美元来确保未来几年的收入翻番,并赶上DUV光刻机的浪潮。


当库尔兹听到其他员工与格拉斯曼磨合的故事后,他惊出了一身冷汗。有些人因在与首席执行官的谈话中出现失误甚至失去了工作。当库尔兹穿着鞋子颤抖着终于完成陈述时,他的上司如预期的那样扮演了恶人的角色。格拉斯曼看到一位传统的蔡司员工在拐弯抹角,恼怒中,这位首席执行官开始抱怨库尔兹提供的图表里的数字和颜色。他俩之间没有碰撞出火花,这是显而易见的。20分钟后,库尔兹想:让我说出8,500万美元,也许格拉斯曼会停止咆哮。

库尔兹镇定后说:“看,这项业务的收入去年翻了一番,从2,500万美元到5,000万美元。今年收入将再次翻番。这种追求才是最有意义的,但为了让我们达到目标,我需要8,500万美元。”

然后格拉斯曼的反应令人意外,这不同于以往任何库尔兹与他前老板的谈话经历,他不知道他对面的那个人是否在和他玩游戏。格拉斯曼听到需要巨额投资后,他问:“如果是你自己的公司,你会投资这么多吗?”库尔兹鼓起他所有的勇气,回答说:“会的。”格拉斯曼告诉他:“那么你能得到这笔钱。”在场的财务人员大吃一惊:“但我们没有那些钱。”格拉斯曼说:“安静。库尔兹,你会得到它。”

格拉斯曼对机会有一种本能的嗅觉,这样数目的金额不会让他感到担心。在西门子工作的时候,他学到了两件事:第一,你必须为一项潜力巨大的新业务制定目标和投资策略;其次,西方公司不必害怕日本人。在西门子,他利用恰当的时机进行巨额投资,将CT业务和几年后的MRI系统业务都变成了价值数十亿美元的业务。他知道ASML拥有高知名度的客户,而且他们离不开蔡司。最后,ASML将其采购预算的1/4给了奥伯科亨。

10 增长 - 图5 迪特尔·库尔兹。照片来源:蔡司

10 增长 - 图6 彼得·格拉斯曼。照片来源:蔡司

格拉斯曼很清楚,半导体光学是一项在未来几年内可能会大幅增长的业务,尽管他被许多危言耸听者包围着。他的首席财务官一再告诉他:芯片市场的变化是周期性的,风险太大。但格拉斯曼也知道,制造芯片是一项资本密集型业务。摩尔定律必定促使芯片制造商不断提高他们的需求,为了在这场激烈的竞争中脱颖而出,芯片制造商不断需要更新的、更先进的机器。因此,半导体光学将大有可为,格拉斯曼已经决定投资。他考虑到了步进光刻机的价格,以及光学元件在总物料清单中所占的份额。

此外,蔡司的地位也很舒服:它处于价值链的顶端。由于进入行业的门槛非常高,这是一个几乎无法逾越的障碍,使得竞争对手几乎不可能进入市场。蔡司感觉自己的地位非常稳固。

但格拉斯曼的怀疑论也有其道理。他在高科技行业的经验是,无论哪里有小问题,最终都会出大问题。在西门子,他为世界各地的医院提供医疗器械,他知道为购买复杂机器的远距离客户提供服务是多么困难。ASML的业务主要在美国、韩国等地,这意味着员工要在飞机上花很长时间。保持与台积电和三星等制造商的关系需要不断的管理与关注。此外,对于敏感技术则需要加强现场服务。


格拉斯曼打电话给库尔兹。他不顾首席财务官的劝说,询问库尔兹是否可以向肖特的董事会介绍他的计划,那些是他们需要说服的人,因为蔡司自己现在没有一分钱。之后还有另一个障碍,库尔兹还必须设法说服股东委员会成员赫尔曼·弗朗茨。格拉斯曼虽然与弗朗茨关系良好,但他知道这位蔡司基金会的代表因西门子在芯片市场的持续斗争而对该市场有偏见。

格拉斯曼的预感完全正确。当弗朗茨听说与肖特的会面是与半导体行业相关时,他并没有立即感到振奋。如果连西门子都掌控不了芯片市场,那么像蔡司这样几乎资不抵债的公司怎么能够生存下来呢?但他相信格拉斯曼,在库尔兹演讲结束后,弗朗茨说:“听起来很有趣,但你得要求ASML承销8,500万美元的一部分。”

库尔兹犹豫了一下,他已经忍受了许多来自荷兰伙伴的抨击。他对弗朗茨说:“我们不是他们最好的供应商。我不认为我们能说服他们提供一分钱。我相信他们会让我们先交付产品。”

库尔兹带着蔡司的一位财务经理来到维尔德霍芬,他们计划索要所需的8,500万美元中的1,000万美元,这足以让格拉斯曼高兴,他们能在别的地方筹到剩下的钱。

在维尔德霍芬,德国人与杰拉德·韦尔登肖特和汤·范兹瓦姆会面。韦尔登肖特知道,这两个家伙是来要钱的。他不耐烦了,问他们这次要多少钱。“1,000万。”库尔兹说。韦尔登肖特笑了起来:“你需要更多,是吗?”库尔兹回答:“是的,我需要更多的钱。”“2,000万如何?”韦尔登肖特说。“2,000万当然比1,000万好。”库尔兹回答道。“那我给你2,000万。”韦尔登肖特当场决定。

ASML正在为成功上市做准备。它有很多订单,韦尔登肖特非常清楚蔡司是其发展的主要瓶颈。奥伯科亨的每一组好镜头都意味着维尔德霍芬的又一台价值数百万美元的光刻机可以走出工厂大门。


当时,格拉斯曼是无法满足的。当库尔兹带着2,000万美元从荷兰回来时,他并没有获得掌声。他只是做了该做的事,而且只是做到了及格而已。蔡司半导体光学技术是一颗具有巨大增长潜力的明珠,无论是在现金流方面还是盈利能力方面。格拉斯曼知道半导体光学技术将帮助他再续公司辉煌。

执行董事会成员托马斯·拜尔几乎每周都会提醒格拉斯曼该去拜访ASML了。这位首席执行官在上任后的前3个月内开始了重组工作,现在他终于可以去埃因霍温了。他要求库尔兹为这次访问做好准备。“在你走之前见我一面是件好事,”库尔兹提前警告他说,“该客户的作风与您习惯的略有不同。”但格拉斯曼不想听:“我们在开会前一天晚上在埃因霍温的酒店见面,我给你10分钟。”

库尔兹和拜尔驱车前往埃因霍温,在格拉斯曼也将下榻的Cocagne酒店住宿。库尔兹在大厅里等到午夜,他的老板终于到达,但似乎备感压力。格拉斯曼没有心思听报告。“我们需要讨论明天的安排。”库尔兹说,但格拉斯曼不想听,他累得只想睡觉。

早上,库尔兹在酒店结账时遇到了脾气暴躁的格拉斯曼,两个人都睡得不好。“开车跟着我,”库尔兹劝他的上司说,“这里很多地方在修路,而且我们的时间很短。”但格拉斯曼认为没有必要,毕竟他有车和司机。

库尔兹和拜尔在ASML的停车场等了半个小时他们的上司才出现。在等待蔡司的访客的时候,威廉·马里斯和他的管理团队都在焦虑地玩手指。

格拉斯曼终于到达后,3个人走进了大楼。库尔兹敏锐地意识到迟到所隐含的侮辱意味,他的首席执行官却不屑一顾。马里斯很纳闷:这究竟是什么人?

马丁·范登布林克刚刚加入ASML的管理团队,并立即利用这个机会让格拉斯曼深刻地意识到蔡司是多么糟糕。同时,他给其新首席执行官来了一轮轰炸:“你们绝对是一文不值!库尔兹、格林格和凯撒根本没在做他们的工作。你们太差劲了,不能给我们提供高质量的产品。你们破坏了我们的业务。”范登布林克愤怒的抱怨不停地从嘴里喷出来,而马里斯并没有制止他。

库尔兹却正窃喜。一直以来,他粗鲁无礼的上司一直拒绝听他的话,现在他正被房间里最年轻的男人教训。对库尔兹来说,这让人振奋。范登布林克这样骂他的上司倒是帮了他一个大忙。库尔兹后来一直把这件事当作蔡司与ASML之间关系的转折点。

格拉斯曼呢?在会议期间,对方的言语暴力似乎完全无法影响他。作为西门子医疗器械业务的负责人,他与俄罗斯卫生与安全部长也有过类似的摩擦。格拉斯曼也不为他的员工辩护,他立即表示认同:“先生们,你们告诉我的这一点很好。我会采取措施。”

然而,和客户的冲突还是激怒了格拉斯曼。在停车场,憋了一肚子火的格拉斯曼对库尔兹大发雷霆。库尔兹差点想开口辞职,但他克制住了自己。随后格拉斯曼让拜尔和他一起坐车到法兰克福机场,库尔兹则坐另一辆车跟着。当他们到达机场时,库尔兹看到拜尔从车里摇摇晃晃地走出来,脸苍白得像一张白纸:格拉斯曼在整个3个小时的车程中一直对他大喊大叫。

第二天,格拉斯曼邀请光学生产和装配车间的经理们到位于蔡司行政大楼顶层的办公室。这位首席执行官很快就转换到完全的格拉斯曼模式。首先,他对装配经理说:“你有两个选择,如果你能确保我们可以给ASML他们需要的东西,你可以走出那扇门。”格拉斯曼边吼着边大步走向窗户,然后他打开窗户说:“如果你不能保证,那么你就可以从这里跳下去了。”

紧接着格拉斯曼准备对利希滕贝格训话。利希滕贝格为了不让格拉斯曼完成他的长篇大论,他提前说:“我不会回答你,但我肯定会走出门而不是跳窗户,我能做到。”


1995年年初,利希滕贝格领导光学元件生产部门已经满一年。现在,他必须同时做两件事:加快传统生产,同时安装和扩展自动化生产流程。在过去的一年里,他无法说服高层管理人员投资技术,但现在格拉斯曼正在为此腾出资金。为了对新机器进行编程和操作,利希滕贝格迫切需要训练有素的人员。机器人编程员和工程师在数控机床系统上的工作方式和那些动动手指就可以磨好镜头的“金手指”完全不同。更重要的是,手工抛光是留到最后的补救措施。由于DUV镜头的要求太高,所以即使是“金手指”也无法满足它的要求。

格拉斯曼专注于需要裁员的艰难的重组工作,而利希滕贝格需要更多的员工来从事半导体业务,两人为了达到他们的目标而进行拉锯战。利希滕贝格说,他不能完成格拉斯曼的成本削减目标。如果他裁员,那么怎么可能增加产量呢?这位生产负责人表示,他们至少要留住那些让半导体光学元件生产系统正常运转的人,而现在大约有40个人在用他们的“金手指”工作。此外,他正在寻找受过良好教育的人,以帮助他完成自动化工作。经过多次讨论,格拉斯曼终于让步了。但是,首席执行官和生产主管是生活在两个不同世界的人。格拉斯曼将他的声望寄托在让蔡司再创辉煌上,并宣布大幅削减成本。利希滕贝格的任务是确保芯片光学业务能够呈指数级增长。

1995年,当格拉斯曼关闭了位于博芬根的蔡司办公室时,这些不同的目标之间发生了碰撞。大约有80人在博芬根办公室工作,他们全部从事以机器为基础的机械化生产工作。这些人正是利希滕贝格所需要的:高素质的工程师可以对自动化设备编程,并了解先进的六轴和七轴加工设备。

利希滕贝格认识其中几个人。这些人在他领导原部门时就和他有良好关系。其中一些人是他在工作委员会工作时认识的,他曾在那里担任了一段时间的管理代表。当他决定说服博芬根的员工为他工作时,这一切都有一定的推动作用。

蔡司的人力资源部门为博芬根的员工成立了一家专门的公司,负责工人再就业培训。这个组织的任务是教员工新的技能,然后帮助他们找到另一份工作。这正是人们欣赏蔡司的地方:有社会责任感。利希滕贝格走进人力资源部门,询问他们是否可以同意让他雇用这些员工中的几个。这当然没有问题。然后,利希滕贝格在博芬根召开了一次会议,他站在聚集的人群面前,说他正在找人进行自动化光学生产,他将在老地方和奥伯科亨之间设置一条公交线路,单程40分钟。他还询问机器操作员和机器人程序员是否愿意分三班工作。在他自己的中央生产车间,超过一个半班都是不可能的,但是在博芬根,他们习惯于昼夜不停地工作,所以当利希滕贝格提出这一建议时,没有人觉得这不合理。

利希滕贝格的计划成功了。博芬根的大多数工程师都开始为他工作,没有人出现在再就业培训办公室。几天后,利希滕贝格又增加了50名训练有素的专业人员,他们可以帮助他扩展业务,并且都忠于公司。更重要的是,他们是那种喜欢学习新事物的工程师。

但是利希滕贝格的夜班工作安排并没有让他获得赞赏。人力资源经理非常愤怒,并威胁要解雇他。格拉斯曼也很不悦,他试图通过关闭一个分支来展示权力,而利希滕贝格却通过从博芬根挖走人,让该分支的几乎所有人都留在蔡司的工资单上,这使他看起来很愚蠢。但格拉斯曼接受了,他知道此举最终符合公司的利益。


格拉斯曼在接手蔡司半年后,来到了奥伯科亨的一家理发店。他通常在自己家所在的镇上理发,但这次他的秘书下班后为他预约了一位理发师。当格拉斯曼坐在镜子前时,他提起蔡司,注意到没有人认出他来,这位首席执行官就开始询问人们对公司的看法。“当那家公司的员工来理发时,我们不再需要拉上窗帘遮遮掩掩了。”理发师说。“你是什么意思?”格拉斯曼问道。然后理发师告诉他,蔡司的员工以前总是在工作时间进来,所以他不得不拉上窗帘。但是,这已经没有必要了,因为现在每个人都在午休时间进来。格拉斯曼因此得出结论,他的决定没有错。

独立自主

IPO一下子化解了ASML的财务危机,公司可以为即将到来的与日本公司的竞争做好准备。

亨克·博特多年来一直在飞利浦董事会为ASML辩护,并无数次尝试以高效的方式将它从母公司中剥离出来。但蔡司的拒绝入股成了“压死骆驼的最后一根稻草”。1994年年初,他放弃将ASML从母公司中剥离出来,并向威廉·马里斯和杰拉德·韦尔登肖特宣布了一个令人惊讶的决定:“让ASML上市吧。”

马里斯惊讶极了,他们的财务状况并不理想,他说:“我们过去这些年除了亏损没干别的。”他一直以来的理解是,上市之前,公司首先必须实现6个季度的盈利,他对博特说:“我们只有几个季度扭亏为盈。”

但博特认为,上市是可行的。1993年,ASML盈利1,100万美元。通过出售PAS 5500,公司的现金流稳步上升,其订单量很容易保证另外4个季度的盈利。而且随着芯片市场现在的增长趋势,光刻机需求将保持旺盛。此外,他们需要一些时间来准备上市工作。

博特认为,有了飞利浦的支持,AMSL肯定可以成功上市,但他们现在需要马上采取行动。芯片行业正在崛起,但根据经验,情况可能在短短几个月内就发生变化。如果他们不抓住当前时机,那么可能需要再过几年时间才会再次等到合适的上市时间。

随后,博特与飞利浦首席财务官达德利·尤斯塔斯(Dudley Eustace)合作,探讨上市是否可行。飞利浦的财务合作伙伴NIB银行准备以5,000万美元收购AMSL1/4的股份。博特不接受这个提议,他认为ASML1/4的股份在当时至少值7,500万美元,因为公司现在已经迈上正轨了。

结果当博特、马里斯和韦尔登肖特去找愿意承销上市股份的公司时,他们自己的银行却不同意。它不相信ASML可以独立运营,该银行认为在光刻机公司所处的周期性市场中,强大的母公司至关重要。因此,3人最后选择了荷兰银行和德国商业银行荷兰分行,两家银行都准备在未来几年投资独立的ASML。

当马里斯和韦尔登肖特在荷兰开始他们的路演时,他们已经可以展示3个季度的盈利。这是多么不同啊,他们以前总是依靠飞利浦,现在他们可以展示自己是一家运营良好的公司。根据这些数据,他们告诉潜在投资者,该公司的价值至少为2.5亿美元。但他们在荷兰老家得到的反馈是冷淡的,甚至养老基金都不相信他们。一家要征服世界的荷兰科技公司?听起来难以置信。ASML的高管们无法说服这样的保守组织。

荷兰银行和德国商业银行荷兰分行随后建议,他们应把目光投向阿姆斯特丹之外的纽约纳斯达克交易所。这就是美国投资银行瑞士信贷第一波士顿和摩根士丹利后来入股的原因。

在飞利浦,韦尔登肖特面对的是一个在剥离高科技子公司方面完全没有经验的组织,他与并购部门就股票发行价的讨论几乎让他哭出来。他对与尤斯塔斯的会谈也感到非常棘手。马里斯和韦尔登肖特希望执行并非极少数员工而是包括40名关键人员参加的股票计划,目标是在未来几年内将这些人与ASML联系在一起。然而,飞利浦首席财务官却连5%的股份都不想保留,甚至连韦尔登肖特也不能改变尤斯塔斯的想法。

但ASML的一家美国投资银行想了一个办法,如果韦尔登肖特唱红脸,那么银行就唱白脸。当两人走进飞利浦而尤斯塔斯再次拒绝让步时,这位银行家说:“尤斯塔斯先生,这是一个非常简单的问题。如果您不为ASML的核心员工提供5%的股份,那么我现在就把招股说明书撕成两半,然后把整件事都叫停。现在即将上市,您告诉我,您要破坏整个事情。您疯了吗?一切都准备好了,所有的工作都完成了。您知道这会给您造成多大的损失吗?我可以保证,我们的律师将与您联系。”

尤斯塔斯没有回答。第二天韦尔登肖特接到了飞利浦总部的电话,通知他起草一份ASML核心人员名单。现在看起来事情可以继续下去了。

他们一准备好招股说明书,马里斯和韦尔登肖特就开始了他们的美国路演。在两个星期里,他们不停地与全国各地的潜在投资者会面。1周7天,全天不停歇地工作:详细说明一切、旅行、再次详细说明一切。他们总是要面对激进的年轻听众,而这些人习惯刨根问底。

金融界对马里斯声称ASML将征服世界的说法持怀疑态度。在他们看来,ASML严重依赖单一产品,它的命运完全取决于蔡司,而这家荷兰制造商的市场份额只有18%,还不得不与两家一共占据着3/4的光刻机市场的日本超级大公司竞争。

但马里斯总是做得很出色,他是这个环节的焦点。韦尔登肖特在旁边用钦佩的眼光注视着他。经过两周的不间断路演,这位首席执行官已经精疲力竭,他要求他的财务合伙人在纽约做最后的主要路演,而马里斯只需要到场并回答几个问题。

马里斯和韦尔登肖特认为,改善ASML的财务状况是一个好主意。他们请求尤斯塔斯允许ASML单独发行300万股股票,除了将于1995年3月15日发行的800万股股票和母公司目前拥有的3,000万股股票外。但飞利浦的首席财务官对此不太感兴趣,他担心这会稀释飞利浦的权益。但最终,他总算相信飞利浦也将因子公司增强的财务实力而获利。


这一切积极的成果推动上市前的预期上升。上市前几个月,ASML在1994年已经可以自豪地炫耀其净利润超过2,000万美元;其收入增长也令人印象深刻,ASML1994年的收入比1993年增长了60%,达到2.65亿美元。根据这些数字,分析师估计,这家设备制造商在1995年年初的估值将达到5亿~6亿美元。很显然,通过让ASML发行其总计3,000万股股票中的800万股,飞利浦可以得到可观的回报。

飞利浦最终将通过ASML上市获得1.25亿美元。ASML在纳斯达克的首次公开发行价格为18美元(股票收盘价为22.50美元),ASML发行的800万股股票本身创造了近6,300万美元,可用于缓解财务压力,这家光刻设备公司可以立即偿还其所有贷款和信贷额度。上市几个月后,ASML宣布将大幅扩大产能:它将建造一个新的仓库和一个新的装配厂。ASML很快就成了股市的宠儿。当前情况很好,芯片行业正在崛起,市场总规模从1,000亿美元增加到1995年的1,550亿美元。即使是像Gartner和Dataquest这样的知名分析公司也预测,半导体行业在2000年之前不会再次出现危机,这使ASML的股价升至90荷兰盾(约合56美元),是其发行价的3倍以上。

1996年年初,当ASML的股票价格跌至62荷兰盾(约合37美元)时,荷兰新闻周刊Elsevier 将ASML排在值得购买的股票列表的第一名。该杂志称ASML是1996年以及1997年的绝对热门。该杂志写道:“这家芯片行业供应商的订单已经爆满,预计未来两年利润至少增长25%。”所以估值低于60荷兰盾是不合理的。

仅一个多月后,Elsevier 又进一步预测:“ASML的投资者确信未来两年将实现强劲增长。目前78荷兰盾的价格低得离谱。”


马里斯向投资者承诺股价能够继续上涨,但美国投资者的保守深深印在了他的脑海中。他知道,当他们说危急关头与蔡司的关系没有保证,ASML找不到别的光学供应商时,他们说得没错。马里斯意识到,公司对德国合作伙伴的依赖程度只会随着新一代光刻机的出现而增加,他必须与奥伯科亨建立尽可能紧密的联系。

从他见到彼得·格拉斯曼的那一刻起,马里斯就告诉蔡司的首席执行官,加强两家公司之间的联系是多么重要。1995年的上市一完成,他就一直在推动与蔡司的光学部门的合资事宜,在他看来这是最好的选择。

但格拉斯曼不同意,因为在他看来,合资企业将很难控制,现在他了解了蔡司的“家族企业”风格。格拉斯曼向马里斯解释道,他的员工习惯于“以蔡司的精神工作”,很难激励他们在一个新的合资组织里努力奋斗。

格拉斯曼同时也向马里斯保证,蔡司不会出售其光学部门,不仅不会而且不能出售,因为基金会肖特牢牢地与蔡司绑在了一起。但就像马里斯一样,格拉斯曼也可以看到这些局限性。这种依赖确实有风险,如果生意有利可图,每个人都会高兴。但是,如果情况变得艰难,将很快导致局势紧张。格拉斯曼向马里斯承诺,他不会给ASML带来任何惊吓。


随着上市的推进,PAS 5500也日益普及,蔡司奇迹般地解决了镜头生产对人手的依赖。尽管银行账户没什么钱,但格拉斯曼还是大胆地投资了半导体光学技术,并把它变成了一项有利可图的技术。这也是他帮助整个蔡司在20世纪90年代后期恢复良好运营状态的方式之一。

这位首席执行官以类似ASML的严肃风格经营管理蔡司。不久之后,维尔德霍芬的管理团队就看到了事情的进展。在格拉斯曼的重视下,两家公司的关系越来越密切,并发展成为相互尊重、甚至友好的关系。

多亏了格拉斯曼,克劳斯·利希滕贝格在20世纪90年代中期获得了他所需要的空间来安装简单的机器人,这些机器人可以在玻璃表面移动手指大小的抛光笔。与此同时,赫尔曼·格林格正在将另一项关键技术应用到生产中:使镜头表面成像达到纳米精度的测量技术。测量和抛光之间的联系使镜头生产摆脱了对人的依赖。现在,扩大规模只是一个投资问题,但ASML的同步上市及其带来的现金让投资不再是问题。

1996年6月,蔡司在奥伯科亨开设了新的光学生产线。当时,投资成本已达8,700万美元。20个抛光机器人和3台离子束机将透镜元件的精度精确到原子级别。

1993年和1994年,蔡司有几百人从事光学和机械生产和组装,每年可生产100套半导体光学元件。到1996年,蔡司只需要80人就能生产超过200个镜头,而且是技术更复杂的镜头。


尽管格拉斯曼对马里斯有承诺,但蔡司还给ASML带来了一个令人不快的消息。1996年年初,在参加ASML凤凰城办公室的一次管理会议之前,库尔兹在康涅狄格州的威尔顿停留。在那里,蔡司给SVG光刻公司提供了服务。这个消息犹如晴天霹雳,使ASML与蔡司之间的关系受到了巨大的打击。

原来,库尔兹被彼得·格拉斯曼送到SVG。ASML的这个合作伙伴居然已经接触了一家它的美国竞争对手,而且是用ASML自己资助的技术和专业知识。ASML感觉被出卖了,是他们率先采取的技术战略,中途千辛万苦地拖着蔡司前行,几年后战略取得成功,德国公司居然为其他人提供服务。对于ASML来说,这一事件再次证明蔡司的管理层从根本上拒绝改善与他们之间的关系。

这一事件引起了热烈的讨论。ASML非常清楚地表明,蔡司向SVG供应光学元件是不可接受的。这是威廉·马里斯展示他管理关系的独特能力的实战之一,在亨克·博特的支持下,他要求格拉斯曼加入ASML的监事会,目标是建立独家合作伙伴的关系,蔡司只可以向ASML供货。因此,格拉斯曼在1996年4月的年度股东大会上被任命为ASML的监事会成员。

之后,在1997年两家公司签署了一份契约,该契约将成为双方合作至2017年的基石。ASML在蔡司半导体光学部门(SMT)拥有24.9%的股权后,两家公司的关系变得更加紧密。这家荷兰公司还为新一代用于极紫外线(EUV)光刻设备的高数值孔径光学系统的研发提供资金。


1996年年初,ASML终于在财务上独立了,并且还拥有大量存款。荷兰银行和德国商业银行荷兰分行将该公司的信贷额度提高到了1.2亿美元。此外,这两家银行都将承保ASML扩大规模所需的房地产资金。

在技术方面,公司也处于良好的状态。其PAS 5500 i线步进光刻机已成为芯片厂的主要设备。1996年年初ASML推出了其DUV版本,可成像0.25微米的细节。这些机器标价为600万美元,可生产256Mb DRAM,并为公司的下一次增长做好了准备。大约在这个时候,ASML以240万美元收购了Cymer激光技术公司,以加强其与激光源供应商的关系。同年,其研发合作伙伴CFT和Natlab正在对步进扫描光刻机进行最后的调整。几年后,该技术将成为大规模芯片生产的基础技术。

1996年年初,ASML宣布,在未来几年内,它将在厂房和增长潜力方面投入大量资金。同年,在现有的800人的基础上,ASML计划再招聘200人。公司承诺实施股票期权计划,所有员工都可以分享利润。

所有这些成功都让公司想要得到更多,它特别渴望给日本人一个永久的教训。不久,ASML的一些员工穿着T恤四处走动,T恤上面写着:我们将打败日本人。