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1990—1992
圆桌会议新老板
ASML的人听到威廉·马里斯将来管理公司后，脸色铁青。他们在飞利浦时就认识他，他给人们留下的印象是软弱。
1990年年初，飞利浦宣布威廉·马里斯将领导仍未摆脱困境的ASML。这个工作恐怕不是好做的。母公司本身正在悬崖的边缘摇摇欲坠，它向其光刻机分公司投入了超过3,500万美元，而这家公司还有天价的债务要偿还。
在维尔德霍芬没有人为这一任命喝彩，ASML的许多人都认识他们的新任首席执行官。一年前，他代表Elcoma签署了一份合同，保证飞利浦将购买75台步进光刻机。
“好了，我们现在完蛋了。”ASML的管理团队都说出了这样的话。他们中的一些人开玩笑地说，自己应该和特罗斯特一起离开。特罗斯特尽职的工作态度和永远坚持推出完成度高的产品的原则，使他从未真正融入ASML的非正式文化。
ASML一直反抗飞利浦母公司的控制，这种态度是该公司文化遗产的一部分，这也会影响员工看待马里斯的方式。马里斯以没有主见而闻名，他是那种避免冲突的人，ASML的员工认为他不适合领导一支雄心勃勃的队伍来与日本竞争对手进行残酷的竞争。ASML的整个管理团队坚信马里斯是被流放到了维尔德霍芬。“去搞光刻机吧，它会让你远离母公司。”他们猜是类似的意思。
马里斯自己在飞利浦的职业生涯并不辉煌。他50岁了，从未担任过Elcoma的高层管理者职位。在芯片业务部门管理装配和测试，他取得了一个良好的开端，但他在下一个岗位出了问题：他与基斯·克里格曼一起管理的Megachip项目以失败告终。虽然他们在技术方面取得了一些进步，但新的晶圆厂从未大量使用这项技术。这让零部件部门遭受了巨大的损失，并最终促使公司采取了强硬的措施。ASML的职位空缺是飞利浦摆脱马里斯的绝佳机会。
威廉·马里斯生长在一个备受呵护的环境中。他的父亲格斯·马里斯（Guus Mans）是国家公路和水务局局长，并负责过三角洲工程，这是为荷兰西南海岸修建大坝、水闸、船闸、堤坝和风暴潮屏障等的工作。威廉是5个儿子中最小的，他的母亲常说，他是威利，家里的宝贝。他的4个哥哥都是聪明、爱运动的男孩，他们并没有给弟弟太多空间。威廉不是会主动争取的人。
但最年轻的马里斯最终证明了自己，因为他也擅长运动。他成了一位著名的网球运动员，1958年赢得荷兰网球冠军。他参加过戴维斯杯网球公开赛，甚至一路打入温布尔登公开赛。获得机械工程学位后，他于1964年移居埃因霍温，并在飞利浦公司工作。在飞利浦，他一级一级地往上晋升。大学毕业生不必在飞利浦脱颖而出就能获得晋升，这只是靠年龄混资历的事。
当他的第一个孩子5个月大时，Elcoma请马里斯和他的家人搬到墨西哥过了4年。墨西哥磨磨蹭蹭的公司文化对他来说很难忍受。相比之下，他后来在韩国度过的3年是非常快乐的。他在那里为飞利浦开设了一个办事处，并看到他的韩国员工工作是多么辛苦，他还学会了如何始终信赖他们。在首尔，在好奇心的驱使下他和妻子参加了冥想课程，他非常喜欢冥想带给他的平和，因此在余生里都保持着这个习惯。
20世纪70年代末，马里斯回到荷兰，因为马里斯和妻子希望他们的两个孩子在荷兰的学校就读。马里斯是飞利浦高管迪克·努尔德霍的亲信，但在20世纪80年代初，像努尔德霍这样工程师出身的高管在这家跨国公司权力平衡的转移中失势。生意人逐渐接管掌舵权，最终威斯·德克在1982年被任命为首席执行官。马里斯拒绝升职去领导一个对他没有吸引力的部门后，这也成了他履历中的一个污点——在飞利浦这样的公司你是不能拒绝这种提议的。
马里斯不是一个强硬的人。他不喜欢等级制度和公司的政治，这些特质使他无法真正进入飞利浦高层，即权力和政治游戏的舞台。在这家电子巨头公司，人们认为他是一个平庸的经理，不堪大任。Elcoma的芯片部门已经忘记了他在组装和测试方面的成功经历，他们大多只记得Megachip项目失败了。这项技术就在那里，但马里斯无法使这项昂贵的技术广泛应用于晶圆厂。
马里斯对权力没有渴望。此外，还经受了一次失败：Glasmini是马里斯20世纪70年代在Elcoma负责的第一个项目。Glasmini是一台小型录像机，半根手指长的小玻璃管里充满了电子元件。这是试图制作飞利浦著名的Plumbicon图像传感器的便携式版本。他们需要大幅缩小其尺寸，因此Elcoma严重依赖Natlab，无数的研究小组和几十位科学家都参与了这个项目。
Glasmini项目被分成大约20个子项目。为了避免政治游戏和等级制度，马里斯发明了一个新词。他把每个人，包括他自己，都贴上了“圆桌先生”的标签。他试图传达一个意思，即每个人都在同一级别上合作，没有人是老板，没有人可以摆架子。这是马里斯对抗产品部门与研究实验室之间臭名昭著的竞争和摩擦的方式。
尽管他的方法很抽象，没有人知道“圆桌先生”的确切含义，但马里斯在激发组员激情方面相当成功，他的非正式风格在Natlab尤其受欢迎。马里斯是一个搞工程的人，但他并不自大。更值得一提的是，他一直是一个言行一致的人。他在实验室里设了办公室，定期与每个人交谈，从助理到组长都是如此。
Natlab的部门主管之一皮特·克莱默认为马里斯是一个有魅力的人，他可以把整个项目团队团结在一起。他总是可以在实验室里安排合适的人，他是一个天生的沟通者。每隔两三个月，马里斯就去敲克莱默的门，他经常意外出现，但两人总是很开心。在谈话中，马里斯会随意地提供些新信息，主要是关于Glasmini项目的进展以及他们遇到的问题。他的话总是很有魅力，克莱默喜欢他的热情。克莱默愉快地观察了为马里斯工作的研究人员：马里斯让每个人都对他俯首听命。
但Glasmini项目对马里斯的职业生涯没有帮助。到20世纪80年代初，这个概念已经完全过时了。玻璃管与日本人在摄录一体机中使用的更袖珍的CCD芯片无法竞争。在马里斯的领导下，让飞利浦成为电视摄像机明星的Plumbicon显像管，证明了“过去的表现并不能保证未来的结果”的格言。
当菲亚·洛森听说马里斯将掌管ASML时，她开始思考。这位行政助理很谨慎：又是一位来自飞利浦的人。但是，1990年2月1日，当她的新老板踏进公司大门时，她发现他与特罗斯特的性格完全不同。马里斯很正式，她也没有设想飞利浦高管会有所不同，但洛森也见识到了马里斯迷人的个性。马里斯长相英俊，彬彬有礼。
新任首席执行官发现自己正处于一个非正式文化活跃的组织中，有许多年轻员工，这个团队是拘谨的特罗斯特从未试图理解的。特罗斯特是ASML第一个让洛森称呼其为“领导”的人，她决定再也不这么称呼上司。在马里斯上任的第一天，洛森用阿姆斯特丹特有的腔调告诉他：“在ASML，我们习惯于用名字称呼对方。”
洛森当时没有得到太多的回应，但在马里斯上任的第一天，她继续按自己的风格向他讲解公司礼仪。例如，她注意到这位新任首席执行官习惯让别人给他倒咖啡，她很快让他戒掉了这个习惯。马里斯收到一个热水瓶和一叠杯子，这样他就可以自己给客人倒咖啡了。马里斯第一次碰到ASML的这种惯例时就接受了，他觉得秘书玩的这种小把戏其实很有趣。
洛森看着马里斯迅速适应ASML。在最初的几个月里，这位新任首席执行官花了很多时间去了解公司，并迅速适应了公司的非正式文化。那年夏天，他的任期正式开始后，他为员工刊物《PAS时代》注入了新的活力。“毕竟，有效的沟通是我们公司的基石，”这位新的领导者在刊物中写道，“你会经常看到我走到你的部门，请不要拘束并随时找我聊一聊。”在一年的时间内，洛森看着他从一个相当正式的人变成一个轻松愉快的人。
马里斯加入公司时，半导体市场持续衰退。但在1989年，ASML的表现好于预期：公司总共收入9,400万美元。由于台积电的火灾，ASML创纪录售出74台光刻机，获利700万美元。从订单来看，1990年这个数字将小得多。尽管如此，马里斯在该刊物中带着热情报道：1990年ASML的目标是销售60台机器。但他知道，这可能不会成功。
在《PAS时代》中，马里斯还报告说，他受到了员工竞争精神的感染。“我们会比尼康和佳能做得更好，”他写道，“我们要打败他们两个。”
从理论上看，ASML的进展看起来非常不错。这家设备制造商现在将AMD、Micron、国家半导体、意法半导体和台积电纳入其客户之列。尽管Micron和台积电正准备在行业的特定领域进军，但当时它们还是相对较小的参与者。现在，ASML正在试图吸引IBM、摩托罗拉、三星和西门子。马里斯宣布，钓到这些大鱼是公司的重中之重。
但芯片行业的危机仍在持续，全球不确定性仍然很高，没有任何订单到达维尔德霍芬。越接近年终，马里斯就越意识到形势的严峻。最终，1990年只有54台光刻机走出工厂大门。因为订单交付期至少为9个月，很明显，1991年的情况会更糟。与此同时，飞利浦新任首席执行官扬•蒂默（Jan Timmer）也在公司实施了一次重大重组。ASML也将出现在蒂默想清理掉的名单上，这只是时间问题。现在形势越来越危急。
马里斯需要削减成本，但从哪里下手呢？随着新型步进光刻机的蓬勃发展，ASML仍在疯狂地烧钱。首席财务官杰拉德·韦尔登肖特告诉马里斯，他肯定不能削减开支，否则他将毁了公司的未来。他能做的最好的事情就是在这里省一点，在那里省一点。管理团队决定飞行时不再坐商务舱，这对销售和服务人员的工作热情是一个考验，在几个月的时间里，他们将不得不坐经济舱环绕地球多次。
马里斯也多次乘飞机出差，客户总是坚持与首席执行官会面。事实上，他也坐经济舱这一点给人留下了深刻的印象，尤其引起了来自飞利浦的工程师的共鸣。他们以前就知道，飞利浦会给工作第一天的大学毕业生订商务舱。马里斯的行为赢得了员工的心，他融入了公司，向所有人展示了他是团队中的一员。
1990年12月，马里斯邀请管理团队的成员以及他们的妻子来家中吃圣诞大餐。虽然这只是一个象征性的邀请，但它加强了他们之间的纽带和团队精神。周围的人开始欣赏他自由主义的领导方式。
1991年，公司处于最危急的时候，马里斯很清楚ASML其实相当于进了ICU。荷兰政府和欧洲共同体的赠款相当于喂食管和呼吸器，而母公司飞利浦则将她的手指放在了死亡按钮上。没有人下订单，公司眼见就要破产。显然，ASML在新的一年里将只能出售几十台机器，而这个数字最终是微不足道的36台。
ASML需要奇迹般的疗法，每个人的希望都寄托在PAS 5500上，这一定是一台梦想中的机器，将推动这家荷兰设备制造商走向世界中心的舞台。这台机器也是一剂强心针，每个人都把它当作生命线一样紧紧抓住它；有了这台机器，他们会让整个行业都对他们刮目相看。削减这种具有革命性的机器的生产成本根本不能作为选择。
更重要的是，ASML已经成功地激起了IBM的兴趣。IBM的微电子部门希望将PAS 5500纳入包括日本竞争对手在内的评估名单中。为了获得更大的订单，ASML承诺在1991年5月1日将机器交付给IBM。1990年8月的《PAS 时代》中写道：PAS 5500代表了一代全新的机器，它远远领先于其时代。开发工作正在全面展开，公司中的每个人都在为大规模组装机器而热身。新的超净室和办公室的图纸已经准备就绪，零件都已经订购完成。一切都会在1991年的头几个月准备就绪。
ASML还设法向荷兰政府说明了PAS 5500项目的重要性。1990年9月，经济事务部向该公司提供了1,900万美元的技术开发贷款。
德国人的垄断
与ASML的企业文化相比，蔡司不仅仅像另一个世界，它更像另一个星球。蔡司的历史深刻地影响了它的企业文化。
在上任的第一年，威廉·马里斯遇到了一个根本性的两难境地。和他的前任贾特·斯密特以及维姆·特罗斯特一样，他也很难不受影响。ASML虽雄心勃勃，但完全依赖于一家传统的、以蜗牛速度前进的德国公司。20世纪90年代初，蔡司的高层管理人员对这家荷兰公司并不十分重视，半导体光学充其量是德国人的边缘业务。此外，这家拥有150年历史的公司正面临着经济和生存危机。
ASML的主要问题是它完全离不开蔡司。ASML的第一任首席执行官斯密特在1985年和1986年试图与可替代蔡司的供应商奥林巴斯和威得赫尔布格建立合作关系，但两次尝试都以失败告终。到马里斯上任时，半导体光学元件的制造变得非常复杂，世界上没有其他像样的供应商了。ASML的命运掌握在蔡司手中。如果ASML在未来几年内要交付大量的PAS 5500，蔡司将不得不卷起袖子拼命干。马里斯必须消除对德国人的依赖。
蔡司目前的情况让事情更加复杂。这是一家有150年历史的公司，它早已忘记了如何创新，很少有员工乐于接受新想法。以摄影部门为例，该部门是蔡司的骄傲，蔡司的员工们为其倾注了多年心血。但在20世纪70年代，他们的大部分低端相机镜头和电影摄影机镜头都输给了日本人。
显然，这还不足以警醒德国人。久负盛名的哈苏相机也开始频繁地向亚洲购买零件，因为那里的镜头更便宜。日本人成功地研发出第一个带电子快门的目镜，他们的成本远低于蔡司位于风景如画的巴德维尔巴德镇黑森林地区的Prontor分支所生产的精密机械版本。
蔡司固执地坚持使用机械快门，继续在营销材料里吹嘘其卓越品质。这也许是对的，但日本人的电子快门费用只有蔡司的1/10。摄影杂志发现两者在质量上没有差别，德国人的自信心受到沉重打击。在20世纪90年代初，他们也失去了哈苏的大部分订单。
ASML和蔡司两家公司在文化上的差异很大。ASML是一家年轻且雄心勃勃的公司，拥有无限的能量；蔡司则由德国坚固且雕有传统花样的花岗岩制成，它对其光学和专业技术有着坚定的信念，但所有这些都在逐渐落后。
蔡司公司的历史可追溯到19世纪中叶。1863年，大学讲师恩斯特·阿贝敲开了蔡司公司光学和精密机械车间的大门，他需要几件仪器来做物理实验。在耶拿大学里，蔡司被认为是一位准时交货的优质工匠。3年后，蔡司和阿贝之间建立了合作关系。
1866年，蔡司公司开始生产显微镜和其他仪器。但该公司刚刚被哈特纳克超越，后者的放大仪器包含了水浸物镜，因此分辨率有了质的飞跃。阿贝的加入帮助蔡司公司赶上了对手。
蔡司和阿贝两人之间的关系非常亲密。在蔡司公司的历史中，这位物理学家在技术和社会责任方面都起着决定性的作用，他的第一个大项目是彻底改变他们制造显微镜镜头的流程。
当阿贝和蔡司第一次见面时，这项工艺还很简单。就像小提琴制造者一样，蔡司工作室的工匠一次只做一台显微镜，并独自组装整个仪器。然后，工匠确定哪些组件需要调整，哪些镜头需要额外的抛光。这需要工匠根据多年的经验来评估、决定和调整。当这位大师纠正一个错误时，可能又会产生其他问题。这个艰巨的试错过程正是蔡司向阿贝寻求帮助的原因，蔡司相信这位科学家能够帮助减少生产过程中出现的各种不可预测的错误。
阿贝放弃了传统的调整模式。他单独计算每个镜头的偏差，但也将其作为显微镜整个光学系统的一部分来考虑，这样将得到具体尺寸和最大偏差，然后车间把它们分到不同的小组。一组开始制作粗糙的形状，另一组则在凹透镜上工作，还有一组在凸透镜上工作。每个小组以误差限制范围内的质量交付其组件。
卡尔·蔡司。照片来源：蔡司
恩斯特·阿贝。照片来源：蔡司
每个人都受同样的规则约束，多人同时制作一台显微镜的镜头，这有点像装配线：每个工作人员只执行一项特定任务，最终结果是显微镜制造完成就能够符合规格。在阿贝到来后不久，车间的20名员工可以生产更多的仪器。在新模式实施的前5年，公司的产量大幅增长且无须雇用更多的人员，同时，价格下降了25%。在阿贝到来20年后，蔡司公司雇用了300多名员工。这位物理学家在1875年成为公司的股东。到19世纪末，蔡司公司成长为先进的光学产品供应商。
但阿贝的技术影响力并不是蔡司公司声望提高的唯一原因。当公司的同名创始人于1888年12月去世时，阿贝做了几个明智的决定。这位物理学家把他所有的股份都放在一个名叫卡尔·蔡司的基金会里，并说服蔡司公司的继承人也这样做。蔡司和肖特两家公司也加入了基金会：Optische Werke Carl Zeiss和Glaswerk Schott & Genossen。后者成立于1884年。蔡司和阿贝请来“玻璃医生”奥托·肖特（Otto Schott），以帮助他们提高光学玻璃的质量。
阿贝花了数年时间制定基金会的章程，规定两家公司员工的权利和义务。1900年，也就是阿贝去世前5年，他引进了8小时工作制。自1891年以来，蔡司一直是每周6天、每天9小时工作制。在德国的其他工厂，人们则是每天平均工作10小时。德意志联邦共和国首任总统西奥多·豪伊斯（Theodor Heuss）后来称阿贝为“理性主义圣人”。这位科学家在蔡司内部留下了坚强团结的不朽遗产。在20世纪，公司继续稳步增长，但仍保持了家族企业的管理模式。尽管其光学设计师被称为“数学家”，但因为其等级制度严格，他们实际上被尊为神。
1945年4月，当巴顿将军和他的第三军打入德国图林根州（耶拿市所在地）时，蔡司公司成为战略目标。那时，美国人已经很好地控制了战局。德国核弹的威胁已经解除，欧洲即将迎来胜利。但与日本的战争正全面展开。如何把这场战斗变成决定性的优势，现在成为美国要优先考虑的问题。
美军进驻欧洲后，向欧洲增派了一支由3,000名科学家和专家组成的军队。他们穿着正规军官的制服，但实际上，他们是专门来评估被俘获的德国技术的。
对于国防部的专家来说，蔡司一直是评估的首要对象。盟军知道他们在耶拿的工厂会获取很多战略技术，包括航空摄像机和炸弹制导系统。同月早些时候耶拿遭到轰炸，但蔡司的雇员已经设法恢复了2/3的生产能力。
专家们花了几个月的时间分析蔡司的工厂。到了1945年5月，第一个主要命令已经发出：蔡司必须生产3,400个空中摄像机用的目镜。美国科学家完全清楚，德国人在这一领域领先于其他所有人，这个任务是制造用于美国仙童相机的光学元件。但由于政治原因，这个命令随后被撤销了。
美国专家酝酿了一项雄心勃勃的计划，要在7月4日之前将蔡司的工厂迁至西方势力范围内。他们必须转移2,456台机器，其中包括490台车床、280台铣床和210台磨床，共需600辆货运车。
随着时间的流逝，美国人不得不调整自己的目标。最终，他们决定只转移公司的高层管理人员和科学核心部门。“我们要拿走公司的大脑”，蔡司的董事会成员得到了这一令人震惊的消息。蔡司的84名工程师和经理，以及肖特光学玻璃的41个人最终选在奥伯科亨重新成立公司。蔡司的其余员工仍留在耶拿，并保留了公司名字。
1989年柏林墙倒塌时，蔡司的两个分支在政治鼓励下试图合并。奥伯科亨蔡司已经处于十分糟糕的状态，而合并只会使事情变得更糟。耶拿蔡司也没有盈利，合并问题甚至有可能彻底扼杀整个公司。当时，奥伯科亨蔡司在全球拥有15,000名员工；耶拿蔡司有5万名员工，但是其中许多人是只挂名不工作的。
在柏林墙倒塌后的一年里，奥伯科亨的员工去拜访耶拿的公司，他们被沿途的贫困景象震惊了。他们看不到任何新建筑。这种贫困与他们在耶拿见到的高科技水平形成鲜明对比。耶拿的工程师水平完全满足合并后与奥伯科亨一起开展工作的条件，他们还了解奥伯科亨的规范，并与其使用相同的标准。
耶拿的真空技术是高度先进的，这是制造电子显微镜所必需的技术。他们现在可以使用所有最新的设备，那是美国之前禁运和禁止出售给耶拿公司的物品。
波士顿咨询公司的分析师受耶拿蔡司管理层的委托，负责审查10个项目，它们合计占公司收入的一半。1990年夏天，分析师已经得出了结论。波士顿的专家们看到了高技术水平的人员和生产能力，但他们的分析结果很明确：“如果不采取行动，耶拿蔡司在1991年春天将无力支付工资。”1991年，耶拿蔡司的董事会要求其管理层与工作委员会合作起草重组计划。耶拿业务最终将作为卡尔·蔡司耶拿有限公司（奥伯科亨卡尔·蔡司的子公司）继续运营。
德国统一一年后，ASML的一个小型代表团离开维尔德霍芬去耶拿考察。ASML已经了解到蔡司正在制造自己的光刻机。马丁·范登布林克、机械工程师塞斯·范迪克（Cees van Dijk）和斯特夫·维特科克决定去看看。他们非常好奇，想知道耶拿蔡司的技术水平如何。一方面ASML肯定希望可以多发现一个好的供应商，另一方面合作伙伴的关系也会对公司有所帮助。
从理论上讲，蔡司的两个分支可以一起制造光刻机，但是奥伯科亨的人绝对没有兴趣和他们久违的耶拿“表兄”联手，奥伯科亨的蔡司是迫于政治压力才会与耶拿的蔡司合并的。ASML的3个人乘坐飞机从杜塞尔多夫飞到莱比锡。飞机的窗户非常大，让他们大吃一惊，而且其振动比西方飞机还要小得多。范登布林克和范迪克用工程师的眼光研究了飞机，确定了其振动频率低，因此飞机应该是用质量大的材料做的。
他们刚降落在莱比锡，接机人就带他们去了瓦特堡，坐上了耶拿蔡司的20辆公司汽车中的一辆。汽车沿着黑暗中的雪地向耶拿方向驶去。当他们发现酒店的客房爆满时，便前往城外一座山的半山腰上的一家青年旅社。维特科克住唯一的单人间，他的两个年轻同事被迫在一间没什么摆设的房间里共用一张床，以及一个煤炉。范迪克仔细检查了炉子，以防他们死于一氧化碳中毒。
第二天早上，两位同床的同事穿过冰冻的内院，去维特科克的房间里洗漱，只有那个房间里有一个水槽。
这是阳光灿烂的一天，但当他们越接近山谷时，太阳光就变得越暗。这座城市笼罩在烟雾中，当汽车进入耶拿时，他们发现了问题的根源：每栋房子旁边都堆放着褐煤。
他们看到蔡司的工厂后非常惊讶，因为工厂规模巨大。荷兰人从来没有见过这么大的工厂，如果非要比喻，就像飞利浦总部所在的埃因霍温一样。加工设备排成长龙，一排一排的车床，一列一列的锯床。在耶拿，他们自己制造一切：玻璃、胶水、计算机等。
3位参观者认为他们的步进光刻机不是很先进，这台机器对ASML构不成威胁。但该设备确实能工作，耶拿蔡司已经运送了几台机器到几个工厂。这些机器没有被退回来的，因为一旦他们交付，剩余的事都由客户自己做，包括安装、使用、维护等，蔡司都不需要负责。ASML的男士们承认，这节省了大量旅行和住宿费用。但蔡司拥有的关于光学生产的知识是了不起的，3人都同意请耶拿蔡司开始为ASML制造零件。他们回到公司后，范登布林克和范迪克发送了一些图纸和报价请求，但直到第二年他们也没有收到任何答复。后来图林根州的办公室被拆分后，两家公司才建立了合作关系。
在20世纪90年代初，奥伯科亨的蔡司正在为生存而战，也在为它的历史地位而战。在动荡的20世纪70年代和80年代，它的员工寻求安稳舒适，这让他们被日本人超越。现在，他们为自己缺乏创新的企业精神付出了代价。
所有的工作都围绕生存、削减成本以及修复与耶拿的关系进行，奥伯科亨的蔡司毫不关注别的东西，它没有听到ASML寻求它关注的声音，其大部分精密光学元件仍用于制造显微镜、照相机和医疗器械。蔡司的高级管理层几乎无视交付到维尔德霍芬的少量光刻机镜头业务，这一事实让马里斯大吃一惊。
步进光刻机镜头与蔡司的特殊项目（如太空望远镜）一起被搁置，蔡司认为这家荷兰公司在光刻机方面也没有什么成就。蔡司的高层管理人员认为，佳能和尼康在光刻机市场占据着主导地位，但正是这些公司让蔡司在摄影市场的处境变得如此艰难。
这种态度有可能给ASML带来灾难，公司总是收到质量一般的镜头。显然，蔡司并不认为半导体市场是一个优先事项，更不用说认识到该市场的潜力了。ASML无法说服他们。德国人是不可能有按时交货的压力的，他们坚持历史悠久的供应模式：下订单，看看什么时候有空再开始做。镜头何时能到达维尔德霍芬，没有人清楚。所以ASML需要说服蔡司，它需要给出足够的时间来增加产量。
给IBM的录像片
1991年年初，ASML的命运似乎已经注定，但埃弗特·波拉克却想出了一个办法。
ASML的第一台光刻机PAS 2500不足以引起大型芯片制造商的兴趣，PAS 5500应该能改变这种状况。但是，该机器包含的镜头极其关键，而且比迄今为止所有步进光刻机的任何镜头都要复杂。大客户IBM也视此镜头为潜在的破局者。因此，当蔡司表示它的光学元件的研发正朝着正确的方向进行时，维尔德霍芬的每个人都松了一口气。
“如果蔡司能够证明光学元件的质量很好，我们将赢得IBM的订单。”这是ASML的坚定信念。这意味着1990年11月在奥伯科亨与IBM举行的复审会议至关重要。
11月，来自ASML和IBM的10个人乘出租车到布鲁塞尔，约翰·凯利和他的团队与蔡司的代表一起视察了维尔德霍芬的装配工作。接着马丁·范登布林克和IBM的客户经理肯·皮恩准备飞往下一个目的地——奥伯科亨的光学工厂。范登布林克完全相信，如果IBM满意这些镜头，订单就会开始进来。
当两辆出租车到达扎芬特姆机场时，他们发现那里的空中交通已经关闭，一片混乱。IBM的鲍里斯·利普金（Boris Lipkin）一直坚持说：“给ASML首席执行官威廉·马里斯打电话。”范登布林克开始头疼，如果马里斯在场他会怎么办？利普金说：“马里斯会绞尽脑汁安排一架飞利浦的私人飞机，因为这是一项要命的关键任务。”
范登布林克没有采纳利普金的建议，他试图租两辆汽车，但很难租到。最后他们终于找到了一家不知名的公司，租到一辆宝马7系和一辆捷豹X型，这居然要花几千美元，但是为了从IBM获得订单他们也顾不了这么多了，于是他们掏出了信用卡。
这时已经是晚上9点了，第二天早上他们就要去蔡司开会。“你介意我去趟加油站吗？”范登布林克问道，凯利坐到他身边，利普金和另一个同事坐在后面。他们一上高速公路，范登布林克就把油门踏板踩到底。他自己的车是一辆烧天然气而且吱吱作响的福特塞拉，这次他愉快地驾驶着宝马7系并加速到时速200千米。而另外那辆捷豹则带着其他的组员，由理查德·乔治驾驶并紧跟着宝马。
范登布林克没有注意到他的乘客的脸变得苍白。凯利向他指出，他以两倍的速度超过了一辆18轮大卡车，如果在美国开这么快是要交巨额罚款的。这位IBM经理说看起来右边车道上的汽车都像停在那里一样，一心赶路的范登布林克却没明白这个暗示是什么意思。
直到第二天吃早餐时，范登布林克才意识到他的乘客们一直在抱怨他前一晚的飙车，但他们讨论到他的驾驶风格时，范登布林克松了一口气。凯利开玩笑说：“根据你开车的速度，我相信你们会用创纪录的时间造出这些机器。”
奥伯科亨会议之后，来自美国的客人继续飞往日本，到东京另一家供应商处进行光刻机复审会议。欧洲的飙车故事很快传到东京，在机场迎接他们的佳能员工为没有配备宝马或捷豹以及前往东京的公路限速而道歉。
凯利是能写下IBM支票的关键人物，他有最后的投票权。他越来越希望说服他的管理团队，IBM需要的光刻设备在荷兰。
但是在IBM所有人的眼睛都在盯着他，所以凯利的行动必须非常谨慎。即使在他访问蔡司之后，IBM仍没有下订单。ASML最初承诺在1991年4月1日发送PAS 5500，美国人表示仍然有兴趣进行评估。这个最后期限后来有所调整，最后定在4月30日且不能延误。范登布林克知道让芯片制造商第一次为新供应商的设备打开钱包有多么困难，如果客户不确定这台全新的步进光刻机能正常工作，他们不会快速掏出几百万美元。
范登布林克也知道开发进度不断落后，并且越来越需要说服IBM，让他们相信ASML这台非常有前途的光刻机能够按时交付。所以他想出了一个计划并向凯利表明，系统已经快要完成了，而且一切都在按计划进行。为此，他邀请IBM在1991年1月中旬再次过来亲眼看看。
范登布林克已经向所有项目负责人发出明确的指示：当IBM的客人到达时，他们每个人将逐个演示自己的模块。总共有10个左右的子系统：镜头组、光罩机械手、晶圆装卸器、电动晶圆台等。这将持续一整天，已经详细安排到每一分钟。组装团队也将得到展示时间，最后他们将连接所有模块，这是以前从未做过的壮举。范登布林克坚信他的模块化系统将给客人留下深刻印象，因为世界上没有一台光刻机可以像模型套件一样拆装。就传统光刻机而言，当服务工程师不得不更换镜头时，芯片制造商通常需要停产数周并花费大量资金。
这几个月以来ASML的工程工作一直处于高压状态，员工们开始有点退缩。他们的妻子抱怨他们从不回家。但是在IBM访问前的那个周末，每个人都必须坚守工作岗位并且要一丝不苟地工作。范登布林克甚至打电话给公司员工的妻子们：“我们很抱歉告知您，但我们迫切需要您的丈夫在这个周末加班。”
1991年1月11日星期五，范登布林克接到IBM的电话：凯利和利普金来不了了，因为他们不允许坐飞机。那时由于国际形势的影响，范登布林克失去了这个重要机会，此时，在他的脑海中只有一件事：满足交付PAS 5500的最后期限。
范登布林克小心地放下电话，然后他火冒三丈。他很清楚ASML已经触礁了，这笔来自东菲什基尔的IBM订单关乎公司存亡。“我们不来了？我们不来了？他们不能这样做！”他着怒火冲向埃弗特·波拉克的办公室，然后开始狂风暴雨般地咒骂，“我们完蛋了。那些官僚不允许他们出差！”看波拉克没有回应，他继续说：“埃弗特，他们不来了。如果他们不来，我们就拿不到订单。”
“先坐下。”波拉克说。他是个话不多的人，他点燃了一支香烟后还是什么也没说，等着范登布林克发泄完。在那个黑暗的星期五，一切似乎都因为一场和他们毫无关系的战争而成了泡影。付出了多年的心血最后什么也没得到。游戏结束了。
波拉克又抽出一根烟，然后他突然说：“你知道吗？我们应该去IBM！”范登布林克惊呆了：“去IBM？但他们没有演示用的机器，不是吗？我们能在那里做什么呢？”波拉克建议他们成立一个视频摄制组。“我们将按原计划展示全部内容，”他说，“但我们不要提前告诉任何人。我们必须确保星期一早上一切都准备好。每个人都会按原计划出场。我们将按预定的程序演示并记录整个过程。然后周二我们飞往IBM，周三将向他们展示录像带。”波拉克当场想出了整套解决方案，范登布林克欣喜若狂。
波拉克雇用了一家视频制作公司。周一摄制组记录了演示全过程。那天晚上，理查德·乔治带着磁带和一位视频编辑到丹博什的一家编辑工作室，在那里通宵对影片进行剪辑。
第二天早上，马里斯、范登布林克和波拉克驱车前往史基浦机场，手里拿着宝贵的录像带。他们登上飞机后，才暂时忘记了超净室里的宝贝机器和最后期限。
在纽约，他们与ASML的销售总监道格·马什会合，马什是从西海岸飞到东部的。凯利和他的团队的评审会议周三准时开始，IBM的人看录像时吃惊得差点从椅子上摔了下来。他们从来没有见过这样先进的设备，整个房间里的人都十分激动。ASML和IBM的团队进行了很长时间的交谈，双方都在为落实这个项目而奋斗。凯利的团队需要项目在最后期限前完成，而这个期限取决于PAS 5500。他们一直在自己的公司为了这个项目进行一场长期的政治斗争。但现在他们可以看到，目标即将实现，他们中有些人眼泛泪光。
凯利邀请他的访客当晚到美国烹饪学院用餐，该学院是坐落于海德公园的国际烹饪学校，靠近波基普西。这是一个意义非凡的邀请，IBM的员工偶尔会请供应商出去吃饭，但从不去这样高档的地方。“你们很特别，”凯利在吃饭时说，“你们不只是我们的合作伙伴，你们也是我们的朋友。”
ASML于1991年5月1日交付了第一台PAS 5500，随后在东菲什基尔的基准测试中证明了ASML拥有最好的技术。此外，凯利确信这家荷兰光刻机公司拥有最好的路线图。这是一个极其冒险的决定，因为按照IBM的标准，ASML是一家非常小的公司，而且几乎没有任何信用记录可言。
凯利愿意把他的事业赌上，因为一个人——马丁·范登布林克。他从来没有见过一个工程经理比他更出色，他的身上既有技术洞察力又有有效的领导力。
有“金手指”的工匠
在奥伯科亨，保罗·范奥特库姆（Paul van Attekum）发现自己进了一家家族企业，芯片光刻机镜头的主管在每天下午4点准时停下工作，然后和秘书一起喝一杯雪利酒。
1991年春天，保罗·范奥特库姆与杰拉德·韦尔登肖特握了手。他在飞利浦工作了11年，最近负责的工作是刚刚被取消的Megachip项目。范奥特库姆不想再去飞利浦其他部门工作，他厌倦了在那家公司工作，在那里遵守规则比取得成果更重要。
在Megachip项目中，范奥特库姆负责工艺集成。他告诉韦尔登肖特，维护和升级现有机器可以赚钱。ASML现在有一个服务部门，但公司很少关注升级以及与此相关的工作。当时，全球客户已经有200台PAS系列的机器。“它们可以让你赚钱。”范奥特库姆说。韦尔登肖特听后说：“做给我看看，我给你提供需要的钱和人手。”
由于他在飞利浦芯片项目上工作过，范奥特库姆很熟悉ASML。他知道他正在进入一家为生存而战的公司。在担任产品线经理的前几个月，他注意到他的同事精神振奋。他感觉自己就像在一群忙碌的蜜蜂中工作。每个人都吹着口哨经过走廊，像是在庆祝。
工程师们正忙着把PAS 5500准备好交付给IBM。他们每周工作60～80小时，包括周末，有时甚至通宵达旦。他们是热情洋溢的人，只要是命令，让他们移山填海也在所不辞。对范奥特库姆来说，ASML和飞利浦截然不同。在飞利浦，每个人都忙于查看自己的待办事项列表。
范奥特库姆的职位足够高，足以让他获取公司的财务信息，这使他成为少数注意到公司的积极氛围与危险的财务状况之间鲜明对比的人之一。几个月后，韦尔登肖特走进他的办公室，向他寻求重组组织架构的帮助。形势十分危急，范奥特库姆需要开始准备裁员。最后，重组没有发生，因为飞利浦再次为他们打开了钱包。
大多数员工并不知道情况有多严重，他们的注意力都集中在尽快让ASML的旗舰产品走出工厂大门。一旦PAS 5500证明了自己，他们就可以坐下来观看采购订单和新客户涌入，每个人都确信这一点。
很明显，蔡司的光学产品是主要的瓶颈，所以威廉·马里斯给奥伯科亨的高层管理人员施加了压力，因为那才是真正的问题所在。乔布斯特·赫尔曼（Jobst Herrmann）自1992年5月以来一直领导着这家德国公司，他对芯片光刻光学技术的潜力持怀疑态度，确实，财务数字也在一定程度上支持了他的观点。蔡司收入表上的半导体光学产品带来的收入少得可怜。一个月最多要5块镜头，订单量太小了，在过去的两年里，ASML的订单还减少了。半导体光学业务存在增长潜力？赫尔曼并没有看到。
ASML对其难以控制的供应商越来越感到烦躁不安。ASML于1991年5月向IBM交付了PAS 5500，其销售经理也提高了其他芯片制造商的期望。客户开始对机器表现出浓厚的兴趣，这将有助于他们为新一代的制造工艺，即下一个技术节点做好准备。一旦芯片制造商掌握了这项技术，大订单就将随之而来，因为每个工厂到时都将需要10～20台机器。PAS 5500确实有潜力，在维尔德霍芬他们逐渐感受到这一点。
但是，只有蔡司能够做到大幅提高产量，ASML才能利用这个机会增加收入和利润。马里斯意识到他需要加强与奥伯科亨的沟通，并获准在蔡司的生产部门派驻一名ASML工程师。他选了范奥特库姆，部分原因是范奥特库姆能够说一口流利的德语。这一点是非常重要的，因为在蔡司几乎没人会说英语，甚至连生产主管都不会。
因此，在接下来的6个多月里，范奥特库姆每周一晚上就会从维尔德霍芬开车到奥伯科亨并在那里工作到星期五。他让小旅馆的店主给他留下一把钥匙，这样他就可以在午夜左右进入他的房间。晚上10点，奥伯科亨的街道已经空无一人了。
在最初的几个月里，范奥特库姆感受到了这家老公司的传统气息。蔡司拥有数千名员工，但它散发着家族企业的气息。年迈的汉斯·莱切负责摄影和半导体镜头业务，他每天准时在下午4点停止工作，然后和秘书一起喝一杯雪利酒。同事们以完整的头衔和姓氏互相称呼：赫尔·莱切（Herr Letsche），弗劳·豪伯（Frau Hauber）。学者和非学者之间距离很大，他们总是互称博士或教授。范奥特库姆觉得午餐时间的仪式特别有趣，中午时分，蔡司的员工们互相祝福“Mahlzeit！”，也就是“祝你好胃口”。
奥伯科亨的绝大多数员工都在为望远镜、显微镜、医疗设备和照相机制造高端精密光学元件。只有一小部分员工在制造步进光刻机的镜头。每个人都在使用传统方法制造，几十年来，所使用的方法变化不大。这些镜头总是能够正常工作，就像当时该公司帮助美国GCA占领步进光刻机市场那样。在那时，光刻光学技术并不复杂。在20世纪80年代初，那些镜头和哈苏相机的高端物镜没有太大的区别。对于哈苏这家瑞典相机制造商的主要供应商来说，每年多做数百个镜头并不难。但到了20世纪80年代中期，光刻机镜头的要求更加严格了，步进光刻机制造商希望g线光学元件具有更大的数值孔径和更大的曝光场，并且开始需要使用更短的i线波长的镜头。
镜头的门槛在20世纪90年代初变得更高。当范奥特库姆被派到蔡司时，他们正在为PAS 5500研制新一代i线镜头，它可以成像0.5～0.6微米的细节。同时这些镜头还需要更大的光场，以实现更高的生产率。这意味着镜头尺寸会显著增加。镜头直径增加30%～40%，需要抛光的表面则增加1倍。g线镜头柱包括17个镜头，而i线镜头柱则需要30个镜头。ASML意识到蔡司还没有准备好。蔡司不能生产这么多的镜头，其交付的镜头也不可靠。
无论是显微镜、医疗设备、高端相机，还是望远镜的光学元件，相关业务部门都在蔡司的中央生产车间制造。光学车间仍在使用经典玩法：由他们决定何时完成订单，而不是由产品部门决定。
从传统上看，工匠大师们的眼睛和本身的打磨技巧一直起着很大的作用。在20世纪90年代初，情况依然如此。奥伯科亨的车间里装满了半自动机器和仪器。他们虽然有标准的设备进行研磨和锯切，但大量的工作仍然要使用手动工具和特殊仪器。像制作精美瓷器那样，工匠选择手动抛光他们的作品。
他们用肉眼完成最后的工序：将镜头按在参考面上，干扰环就会变得可见。非常专业的专家可以根据这些判断打磨是否规则。
20世纪50年代奥伯科亨的中央光学生产车间。
这些不规则是靠手工仔细抛光去除的，这是需要多年经验的工作。在奥伯科亨，做这个工作的工匠们被公认为是有“金手指”的人。
如果拥有“金手指”的人犯了一个小错误，往往会造成严重的后果。如果抛光过度或抛在错误的地方，使表面产生微小的凹陷，他们就必须再继续在整个镜头表面上减少一层薄层。有时，他们会陷入无休止的循环，不断出现额外的补救工作。
更大的镜头也意味着他们需要更频繁地轮班工作。但切换白班、夜班是一场噩梦。通常犯错时，每个人都会把矛头指向别人。这种戏码和不确定性导致蔡司员工的挫折感增加。
在光学生产车间，范奥特库姆遇到了一个因高质量标准运营而自豪的部门。他四处走动与工人们交谈。他学习了整个生产过程，试图理解奥伯科亨的生产方法。他观察到，他们的许多方法并没有被记录下来。在光学元件生产中，工匠们的眼睛仍然是主要的决定性因素。
管理层允许范奥特库姆四处观看，但他很快意识到他无法超越前人。车间中的一些人不欣赏他的做法。派驻蔡司是一次外交式的实践，有时他设法与工人们接触，就能听到来自车间工匠的一些真实信息。
最让范奥特库姆吃惊的是，旧方法已经不能满足最先进的步进光刻机镜头日益严格的需求。他看到工人们很吃力，有一些镜头，他们连续摆弄几天都不成功。根据以往在Elcoma芯片制造厂的经验，这个ASML的外派员得出结论，蔡司无法控制其生产过程。现在的问题是，他应该如何告诉他们呢？
这个派驻供应商的荷兰人必须找到一个平衡点。他可以看到德国人是多么自豪，以及他们的质量标准有多高，他对此非常尊敬。但是现在，作为一个没有光学制造经验的新手，他必须告诉蔡司他们出了什么问题；但又不能直接告诉他们，他们搞砸了。他们也不算是完全搞砸了，但范奥特库姆确实必须让他们看到问题所在，尽管蔡司已经投入了所有的精力，但还是不够好。尽管如此，可以肯定的是，范奥特库姆看到蔡司的态度不再强硬并做出了改变：这家光学专业公司意识到，如果它想继续供应ASML，将不得不采取完全不同的策略。
日本玻璃
蔡司的镜头开始出现完全出乎意料的问题。德国人不得不到日本寻找光学玻璃。
1992年1月，IBM向蔡司派出了一个正式的代表团，其中包括乔治·贡巴（George Gomba）和一些来自ASML的人。贡巴以前在Perkin-Elmer公司工作，1990年Perkin-Elmer将其光刻机业务出售给SVG光刻公司后，他跳槽到了IBM。现在，他在东菲什基尔的试验工厂负责工艺开发。
IBM每6个月访问一次奥伯科亨。在这次访问时，IBM已经明确选择了ASML参与其8英寸的项目。但这次可不是平常的访问，蔡司的情况很严重，PAS 5500的镜头存在棘手的问题。光刻0.5微米的芯片所用的i线光学元件的误差经常非对称放大，而原因尚不清楚。
在温弗里德·凯撒担任蔡司研发实验室负责人的第一天，贡巴就前来拜访。IBM的人通过仔细地研究判断：蔡司的光学镜头质量是有问题的。
蔡司的反应在意料之中，其工程师们立刻开始反击。鉴于他们的工作是在旋转对称系统中加工的，所以他们得出结论：镜头误差不是蔡司造成的，这些肯定是ASML机器中的测量误差，因为ASML使用的是带几个轴的正交系统。蔡司测量部门的一个人做了一个抽象的演示，包括很多数学内容。他谈到光线扭曲的类型，以及应该如何测量它们。对于这位工程师来说，结论很明显：蔡司不可能是问题的根源。
审核会议开得非常紧张。来自ASML、IBM和蔡司的代表逐一分析了这些问题，并剖析了镜头的制作过程。和往常一样，谈话没有达到足够的深度，德国人不想分享太多他们的秘密。虽然贡巴之前在Perkin-Elmer公司的时候经常与光学制造商合作，而且他总是能了解细节，但在那天，他却没有找到解决办法。
在随后的几个月里，他们又举行了几次会议，情况是并非所有镜头都有问题。凯撒询问ASML，他们是否可以找出有问题的镜头并将其送回。但是在1992年年初，人们迫切需要新的步进光刻机。维尔德霍芬的财务状况非常危急，他们希望尽快交付机器。镜头一收到，就可以将一台机器运送给客户，因此，他们通常在现场解决问题。
尽管如此，凯撒还是做到了。一套返回的镜头惹恼了马丁·范登布林克，他认为客户需求应该放在首位。但现在蔡司终于可以开始工作了。就在镜头到达的第二天，凯撒接到了测试工程师的电话。“凯撒先生，我们发现了一些不寻常的东西。我们从测量中得到两种结果，一种几乎与原始测试相同，另一种与我们从ASML获得的结果相匹配。”凯撒立刻就意识到，德国人把有些事情搞砸了。事实上，蔡司的测试方法确实存在错误。
蔡司首先在硬件中发现了错误。处理来自传感器信息的电子元件已经饱和，这掩盖了测得数据的不对称性，使得图像与旋转对称测试的显见偏差被掩盖。蔡司设法解决了这个问题，但奇怪的是，在图像中仍然可以看到不规则现象，没有人知道为什么。
在接下来的几个月里，他们又开了几次会议。贡巴建议使用他在PerkinElmer公司学习的诊断技术。这是一个简单的方法，蔡司早就知道，但从来没有采用。
光学柱是一组镜片，这些最好由一个光学玻璃块切割制作。这种玻璃的形状像一个圆柱体，首先需要将其切成板。在蔡司，这些材料直接进入车床和研磨机，使其形成初始形状。
贡巴建议他们先抛光玻璃板，直到它们变得光滑再进行诊断。这是他前雇主的标准程序，但在蔡司必须首先建立适当的干涉测量系统。
最后，他们用贡巴的技术找到了失真的来源。凯撒和他的同事们感到震惊，这是一个非常严重的问题，但他们没有解决办法，因为这是不容易纠正的。误差源于光学玻璃，因为玻璃不是均匀的。这通常由热应力引起，因为材料在生产过程中冷却，这将导致折射率在玻璃之间变化，从而影响光线的路径。凯撒需要拜访他的玻璃供应商，蔡司的姊妹公司肖特。
凯撒可以充分证明肖特提供的光学玻璃不符合标准，他和对方开始了激烈的讨论。蔡司仍然有这些用于制造i线镜头的光学玻璃库存，但很难区分出哪些是好材料。1992年5月，乔治·贡巴被告知，他至少还需要9个月的时间才能拿到他的PAS 5500/80。
在随后的几年里，ASML和蔡司迫切需要更多更好的玻璃用来制造PAS 5500/100（0.4微米）。然而，肖特无法为光学i线玻璃开发出更好的改进工艺，从下订单到交货的时间将近1年。首先，生产均匀的材料需要6个月的时间，这是一个极其缓慢的过程，玻璃要从800摄氏度慢慢冷却到室温，凯撒不能保证肖特能够成功。
此外，肖特还不准备扩大目前i线玻璃的生产规模。因此，凯撒做了一个不寻常的决定。他去到日本从佳能的主要供应商小原公司购买i线玻璃。佳能可能不会制造最好的步进光刻机，但这家日本公司以拥有最好的光学元件而闻名。对凯撒来说，小原是最好的选择，这家玻璃制造商独立于佳能，并希望进行国际扩张，同时小原的玻璃也具有更好的光学均匀性。问题解决了：这家日本供应商将为蔡司生产i线玻璃。
还有另一个棘手的问题，经常使用ASML步进光刻机的Micron公司是第一个提出这个问题的。1990年和1991年，他们从博伊西将一个又一个镜头送回维尔德霍芬。Micron发现，镜头使用时间越长，能透过的光量就越少。随着时间的推移，镜头透光率的降低对于Micron这样的大规模制造商来说影响极大，因为其盈利能力取决于产量。
在Micron下了大订单几个月后，镜头透光率首次出现明显下降。起初，他们对ASML在博伊西的i线步进光刻机很感兴趣，但一旦机器开始24小时在工厂里输出内存芯片，镜头透光率就开始直线下降。调查后，他们很快发现其原因是碳化合物沉积在玻璃上。
这个问题存在一些疑点。奇怪的是，在PAS 2500的第一代i线光学元件中，碳污染不会发生。在这几代机器中，镜头所用的材料和胶水是相同的，但污染问题仅存在于PAS 5000和PAS 5500中。
这个问题如此棘手以至于ASML可能因此而倒闭。除了Micron，台积电也遇到了同样的问题。在这几年中，这两家公司是ASML机器的最大买家。随着消息在芯片制造行业传播，ASML的声誉不断下跌。与此同时，蔡司和ASML正在积极地寻找解决方案。
开始时，ASML可以靠物流换货修复。维尔德霍芬和奥伯科亨之间的冷漠关系是对ASML的一种救赎，它迫使公司创建定义良好的光学接口并构建模块化系统，这样就可以轻松更换镜头柱。1990年和1991年，许多被替换的镜头柱在博伊西和奥伯科亨之间传送。
在镜头柱中，一切都围绕着玻璃和空气边界处发生光折射。通常很少看到玻璃板之间的空隙，但在精密光学中，空隙里气体的成分会影响光学性能。蔡司在第二代i线镜头中使用了低压氦，在芯片生产过程中，镜头组会永久浸入低亚氦中。对比真空，稀有惰性气体的折射率是空气的1/7，它会使系统对天气和气压的敏感度降低，这也是Micron的博伊西工厂在海拔4,600英尺的一个主要优势。
ASML物理部主任扬-威廉·马腾斯（Jan-Willem Martens）最终找出了污染产生的原因：在i线镜头柱中，蔡司使用了一种在加工过程中脱气的胶水，挥发性碳化合物会与氦气混合，而光刻机中的高能紫外线则使得混合物发生反应，从而产生沉积在玻璃上较重的有机化合物。有时一组镜头在一个月后就无法再使用了。
这不是唯一的问题。因为镜头是用胶水将两种不同类型的玻璃黏合组成，所以i线光学元件还存在所谓的双光问题。在紫外线的影响下，连接层会发生反应从而导致颜色变化。
当开始大规模生产时，步进光刻机每天工作24小时。由于Micron大量使用该机器，意味着每小时通过镜头的光线会显著增加，碳层则沉积得更快，双光层也会迅速改变颜色。
那个时候，凯撒和马腾斯正在前往台积电解释这个问题的路上。他们当时还没有找出这个问题的解决办法，但ASML收到了一份传真，是一张图表，其中清楚地显示了如果在氦气中加入氧气，碳层是如何消失的。
利用这些信息，凯撒和马腾斯思考了解决问题的方法，并得出以下解释：新i线波长（365纳米）的光子比以前使用的g线（436纳米）的能量大得多，就像平流层一样，他们把氧气改成镜头柱中的臭氧。臭氧是一种强大的氧化剂，能分解大分子有机化合物。这就是他们在第一代i线镜头中没有遇到这个问题的原因，因为里面装满了空气、氮气和20%的氧气，那里的氧气可以和碳形成二氧化碳，而新镜头只浸泡在氦气中就会发生碳沉积。问题一开始并不严重，因为客户开始只使用i线机器进行IC工艺开发，因此步进光刻机不会持续运行，所以问题没有被发现。马腾斯和凯撒不确定他们是否应该立即向台积电说明诊断结果和解决方法。有时虚张声势地表现一下，就可以成功扭转局面，这表示：一切都在控制之中。
那次访问之后，ASML的化学家们想到了一种直接解决碳污染的方法，而且不必把镜头柱拆开。他们想出了一个清洁程序：维护工程师将臭氧发生器连接到氦气导管并保持24小时，以便“擦洗”镜头。这意味着他们不再需要更换脏镜头，但缺点是步进光刻机连续24小时不能使用。因此，他们需要一个更明确的解决方案，也就是将百分之几的氧气与镜头组的氦气混合起来。
镜头污染和ASML创建化学小组刚好同步发生。1989年年初，ASML的执行科学家斯特夫·维特科克聘请了物理学家马腾斯，因为当时Micron的批量订单给公司提供了一些财务方面的喘息空间。而正是在这一系列机器里出现了碳沉积问题，马腾斯刚好可以解决这个问题。
在随后的几年里，ASML依然需要化学专业人才，因为光化学反应引起的问题会随着波长的缩短而持续增加，并在248纳米和193纳米的深紫外线（DUV）中变得更加严重。在20世纪90年代，ASML和蔡司雇用的化学家越来越多。
1992年5月，当ASML的管理层访问奥伯科亨时，凯撒首次与威廉·马里斯会面。马里斯当时有很多想法，但他不确定公司是否有钱在月底支付薪水。他说出他的忧虑，并强调蔡司是ASML发展的瓶颈。现在，人们对PAS 5500非常感兴趣，但ASML不得不等待来自奥伯科亨的光学元件。
凯撒解释了失真和碳污染的问题，并向马里斯展示了正在采取的措施。他说，蔡司已经聘请了赫尔曼·格林格来监控来自小原的i线玻璃，但1993年第一批货才能到达德国。马里斯不满意，他希望看到更多的进展，并表现得十分愤怒。凯撒很惊恐，但他无能为力。
凯撒对马里斯的爆发感到非常不安，以至于他考虑在接下来的几天里辞职。他的结论是，如果他与客户的首席执行官发生这种严重冲突，他不可能完成工作。他打电话给范登布林克和马腾斯说再见。“这真的震撼了我，”凯撒说，“我恐怕不能继续工作了，意见分歧太大了。不只是马里斯大喊大叫的问题，我根本没法打通他的电话。”
但范登布林克安慰他：“凯撒，请不要放弃，我们对你有信心。你在做正确的事，现在的局势确实非常不稳定。是的，每个人都希望事情进展得更快，但不要做出任何仓促的决定。继续与我们合作吧。”
蔡司O-Lab
蔡司在全世界寻找带有“金手指”的光学工匠但徒劳无功。自动化流程是一种选择，但工程师尚未决定最佳的选择是什么。
蔡司虽然是一家传统的家族企业，但它始终站在技术领域的前沿。在20世纪80年代中期，安静的山谷小镇奥伯科亨是公司的所在地，该公司开始用激光测量镜头表面的光洁度。蔡司认为这项技术很有前景，因此决定进一步开发其测量仪器，不仅供自己使用，也出售给他人。
在20世纪80年代末，蔡司研发实验室的负责人格哈德·伊特纳（Gerhard Ittner）也意识到，镜头的需求量必然增加，该公司的手工生产最终将满足不了需求。因此，他开始了一个庞大的项目，目标是开发从干涉测量、自动抛光到用离子束抛光的所有关键技术。
起初，激光干涉测量是相当粗糙的。玻璃表面的起伏特征是以模拟信息，而不是以数字信息的形式呈现的，它们在纸张或显示器上可见，并被记录在磁带上。在早期，光学车间的员工通过肉眼将这些图像与标准镜头的图像进行比较，希望后者近乎完美。
为了正确地将镜头质量与原始数学设计进行比较，蔡司在20世纪90年代初开始数字化测量数据。计算机内存和电子学的发展使这一点成为可能，但这不是一件容易的事。在奥伯科亨，他们必须开发定制系统，即帧抓取器，从而能够快速将干涉仪的模拟测量值转换为0和1。测量结果足够精确，但获取数据需要很长时间。如果从阿伦到乌尔姆的火车在测量时经过，就会产生太多的震动，以致数据完全不可用。另外，空气湍流也会影响读数。
在那个时代，数字技术还不成熟，计算机还有很多需要改进的地方。为了将读数与数字镜头设计进行比较，蔡司必须依靠286台式计算机，这些计算机要花一整晚计算一个镜头的数据。
但最大的瓶颈是缺少有“金手指”的工匠。计算机绘制出不规则的表面图像后，这些工匠必须根据记录的图像来磨掉微小的凸起：它们太小，肉眼看不见。这种抛光纯粹是靠感觉进行的，这使它成为一件令人紧张的烦心事。抛光者要一直盯着图像，然后用手磨掉极小的一点玻璃凸起。
1990年秋，当蔡司设法为PAS 5500生产第一个i线光学元件时，该公司拥有6名“金手指”员工。他们付出了大量的血汗和泪水，能够每年交付10个i线光学元件。1991年和1992年，产能低的困境已经恶化到噩梦般的程度。
客户对PAS 5500的兴趣不断增加。第一批i线镜头运到维尔德霍芬，有了它们ASML至少可以为芯片制造商提供用来设置其流程的机器。一旦他们做到了这一点，蔡司更需要加速了，因为一台机器的实验订单通常在一年后会产生第二个订单，订单数量为10台。如果奥伯科亨不跳上冲浪板赶上这波浪潮，ASML就可以收拾行李回家了。
因此，ASML越来越坚持认为蔡司需要增加产量。主要问题是，蔡司首席执行官乔布斯特·赫尔曼非常注意规避风险，他一直思索着即将到来的一轮成本削减。奥伯科亨蔡司多年来表现不佳，与耶拿蔡司的联合也许会葬送了它。
此外，就像蔡司的大多数执行董事一样，赫尔曼对芯片没有好感。保守阵营甚至想解散半导体光学部门。后面这些数字支持了他们的怀疑态度。在过去的3年中，从维尔德霍芬工厂卖出的光刻机数量从1989年的74台下降到1990年的54台，1991年又下降到36台。1992年的订单也没有多大的改善。因此，蔡司高级管理层的建议是：保持原状，只是临时雇用一些员工来处理这种影响不大的订单。
制造更复杂的光学元件需要更多的“金手指”工匠：蔡司估计短期内需要40个。主要问题是，这些工匠平均需要6～10年的时间才能磨炼出必要的技能。因此，1992年蔡司在全球各地寻找这些顶尖的专家，该公司着眼于东欧和美国，它甚至收购了南非的一家小型国防公司，因为有5个有“金手指”的人在那里工作。但一年之后，蔡司找到的人远远不及需要的40个人。
与此同时，蔡司的中央研究部门光学实验室Optik-Labor（O-Lab）正在紧锣密鼓地研发下一代镜头生产技术，该实验室为中央生产车间设计机器和工具。为了朝着更大、更准确的镜头迈出新的步伐，经理克劳斯·贝克斯特特（Klaus Beckstette）希望使现有的手动工具变得更加可靠且自动化。贝克斯特特在这些机器的改进版本中找到了解决的方法，他希望通过装备花岗岩基板来使现有的镜头制作工具更加稳定。他还希望用环形工具取代固定形状的抛光盘，从而使机器更加通用，这些工具可以制作多种镜头，包括不同曲率的镜头。这些制作过程将由数控机床（CNC）控制，而不是手动控制。
贝克斯特特将这项任务交给克劳斯·利希滕贝格（Claus Lichtenberg），他目前负责原型和工具部门。利希滕贝格的工作是实现这一切，这位年轻的工程师开始很不情愿。他并没有拘泥于传统的光学制造思维，因为他在大学接触到了机器人技术。由于他在灵活系统方面的经验，他认为机器人使用数字设计和计量学数据抛光表面的方法更有价值。
利希滕贝格在斯图加特大学攻读精密机械学位时，接触到了第一台机器人和CNC可编程数控加工设备。在蔡司的定制机械部门，他在开发用于研磨和抛光设备以及其他镜头制造工具的半自动控制系统的工作中获得了丰富的经验。它们都是专用系统，无法在任何地方购买到，而且它们都是由蔡司自己设计和制造的，例如将镜头在光柱中居中的仪器。
1993年，利希滕贝格被任命为原型和工具部门负责人，他是一位经验丰富的自动化流程设计专家。他开始试验闭环系统，与赫尔曼·格林格和温弗里德·凯撒合作进行测量工作。他们在原型车间的一个不起眼的角落里开始工作，因为没有人相信使用弹性系统来制作极其精确的形状的方法是可行的。凯撒使一台干涉仪自动化，它能将纳米级的拓扑信息从抛光表面发送到计算机，计算机将这些数据与数字设计蓝图进行比较并计算差异。一旦发现不规则的位置和高度，计算机就可以将它们转换为后处理模型，这是一张微观高程图，可精确地告诉机器人应该打磨的位置和高度。
他们学习了一个重要的规则：确保干涉仪和机器人都知道镜头的确切位置。为此，他们在反复测量和抛光的过程中，会将镜头及其支架固定。
起初很艰难，这些数据量很大，在计算机上存储和处理的数据实在太多了。但利希滕贝格很幸运，机器人制造商ABB借给他一个机器人，而且O-Lab有人愿意帮助他编程。他们一遍又一遍地使用手指大小的超声振动抛光笔计算抛光10纳米所需的时间。进展缓慢但稳定，他们成功地使镜头表面更接近完美。他们学习调整已抛光的镜头，并在容差范围内获得不规则表面，最终可以在几十纳米的精度内获得完美曲面，这几乎与使用刚性定制机器可以达到的10纳米一样精确。
1993年，利希滕贝格还尝试利用离子束进一步提高精度以达到纳米水平，这是O-Lab的科学家马丁·韦瑟（Martin Weiser）的想法。O-Lab制造了所需的设备，离子束虽然速度很慢，但非常精确：它们一次可以轰炸一层原子。如果蔡司能够用离子束击中镜头上需抛光的地方，那么就可达到目标精度。与使用定制机器的10纳米精度相比，使用这种方法所能达到的精度甚至更高。
作为原型和工具部门的负责人，利希滕贝格无法拒绝贝克斯特特命令他做的事情，但他在机器人和自动化方面的经验告诉他，使用抛光笔和离子束的柔性系统具有更高的可复制性。对他来说，重要的不是刚度，而是可控制，这导致了一场持续数年的激烈的方向之争。利用更可靠的现有生产工具的版本，贝克斯特特的O-Lab正在走向一条看似更安全的路线。但高昂的成本是个问题，利希滕贝格估计，定制设备的材料和制造成本为200万～400万美元。此外，这些传统机器也需要配备昂贵的工具——每件2.5万～3万美元。
利希滕贝格总结说，O-Lab的策略是不现实的。为了满足ASML的需求，按照传统方案，他们需要50～60台定制机器。总之，这将花费更多并带来更多的麻烦，因为这种方法仍然依赖于人类的手。
抛光机器人与干涉仪结合使用要便宜得多。在这两种情况下，他们都需要一台价值25万美元的激光干涉仪，但他们只用7万美元就能得到一台机器人。利希滕贝格估计，用机器人和干涉仪的组合制作一个镜头元件将花费2,500～3,000美元。相比之下，如果使用定制机器，成本将很容易高出一个数量级。
靠信誉经营
ASML多年来一直命悬一线。纯粹的人与人之间的信任使这家公司得以维持。
自1984年成立以来，ASML一直在烧钱。财务部门则在到处找钱。因为资源稀缺，他们不断地调整信贷、贷款和租赁合同额度。会计主管埃弗·哈吉曼（Eef Heijmans）和财务总监西奥·巴特莱伊定期检查银行账户，看看他们手头上还有多少现金。每周都是在另一个迷宫里找钱的过程。他们在银行经常只有5位数的现金，但他们需要支付10倍的钱。
在这种情况下，他们遵从以下优先顺序：先划掉对飞利浦的所有应付款；接下来，划掉ASM和ASM Fico的应付款，ASML也从他们那里购买零件；最后，剩下的就是埃因霍温周围的工具制造商和小供应商，他们对ASML至关重要，他们也需要每月向员工支付工资。
此外，Touche（现为德勤）和飞利浦的会计师们也吵个不休。Touche每6个月就会重申一次：伙计们，是时候处理库存了！杰拉德·韦尔登肖特和他的财务人员总是回答：“不，我们仍然可以卖掉这一切。”这是一个小小的善意谎言。Touche的持久信赖和睁一只眼闭一只眼的态度也是ASML的生命线之一。
缺钱的日子总是没有尽头。在第一个10年中，ASML终于第一次（1989年）盈利了。PAS 5500的研发给公司带来了沉重的负担，员工人数不断增加，组织工作也因此变得复杂，人力资源、生产、物流和全球服务部门都需要专业的改造。
改善组织的投资顺利进行。1993年，威廉·马里斯宣布采用全面质量管理为公司的重中之重。两年后，Hay公司将再次对研发部门进行深入研究。
多年来，工资和机器研发的预投资是ASML沉重的负担。该公司的支出居高不下，亏空越来越难以填补。
整个行业都在靠信誉运转。半导体制造商表示有意购买，但不下实际订单。芯片机械制造商先用诚意开发和制造他们的设备，而价格谈判同步进行。通常，订单直到最后一刻才会到达。
这就是维尔德霍芬在研发和大规模生产上耗费大量资金的原因。例如，i线步进光刻机的研发工作始于1986年，但直到三四年后它们才能为ASML带来实际收入。这项技术还需要3年才能真正产生可观的利润率，这就是首款大规模生产的i线机器——PAS 5500。
在20世纪80年代末，销售总监迪克·奥雷里奥在美国找到了一条财政生命线，它将在1990年、1991年和1992年扮演重要角色。Comdisco是一家租赁主要资本资产的公司，它宣布芯片行业为其新的战略市场。Comdisco发行信用额度，以在建的机器作为抵押品，即使是研发部门的原型也算数。Comdisco的介入很快缓解了ASML资金短缺的压力，当时ASML面临着1,000万美元的短缺，飞利浦和NMB银行都拒绝再次提供资金。不久之后，ASML财务部门的表彰证书就挂在墙上了，因为签订了1亿美元的租赁合同——美国供应商慷慨解囊。
ASML的财务专家确保这个庞大的数字不会出现在公司的年度报告中，报告中只列出了小额的租赁金额。这些是他们设法在年底暂时偿还巨额租赁金额后留下的零散部分，他们会使用客户付款但欠着飞利浦CFT和Natlab的高额研发账单。一旦新年开始，租赁合同就回到8位数的范围内。
另一种有利的融资模式出现在1991年，当时ASML收到一个特殊的要求。IBM希望在单个晶圆上制造大型机的所有芯片。为此，步进光刻机必须能够曝光具有大量不同图案的晶圆。IBM要求一个能快速切换掩模的系统，这对控制生产成本至关重要。
ASML很愿意开发这个管理系统（RMS）。但当时，PAS 5500需要投入太多的时间和资金，以至于这家设备制造商暂时没有这种能力，但又不能对大金主IBM说“不”，因此ASML表示，IBM在合同上一签字，项目就可以开始。
IBM表示同意，ASML随即将开发外包给飞利浦的CFT。CFT打造了这个系统：有3个插槽的无尘掩模盒和SMIF箱，两个机器人快速切换掩模。ASML收到IBM为此系统支付的数百万美元，但等到CFT成功完成了该项目时，IBM的情况却已经完全改变。IBM新任首席执行官卢·格斯特纳（Lou Gerstner）对IBM的大型机战略做出了重大调整，将耗电的双极芯片更换为CMOS，这意味着他们不再需要掩模管理系统。
ASML决定把RMS作为PAS 5500的选装功能来卖，结果此子系统非常成功，以至于每个客户无一例外地都选装了该系统。这也是ASML步进光刻机卓越性能的一部分。
在随后的几年里，ASML仍要求客户在合理的情况下提前做出承诺。例如，ASML作为设备制造商在收到订单后才会为193纳米的激光器和12英寸的晶圆制造光刻系统。对于风险极高的项目，如157纳米、EUV光刻机和18英寸晶圆，ASML甚至要求客户入股分担研发风险。对于其他一些研发项目，如浸入式光刻机，因为客户迫切需要所以公司没有必要考虑金融风险。
整个半导体行业似乎都依靠诚信经营，ASML的供应商也不例外。多年来，这家设备制造商一直非常依赖其供应商、合作伙伴和投资者的信任，他们只需要公司经理和财务部门给予的口头承诺。
在20世纪90年代初，ASML试图寻找一家金融租赁公司作为合作伙伴一起投资修建一个PAS 5500的装配厂，原因是原来的工厂的超净室不够高，地板强度太弱，不适合新的光刻机。
他们迟迟找不到项目开发商，韦尔登肖特恳求承包商克里斯·范卡斯特伦（Chris van Kasteren）无论如何都必须开始施工。PAS 5500不能再拖延了，但首席财务官却没有钱付施工费用。ASML已经没有任何信用额度了，首席财务官甚至不能对他们何时能够付钱给范卡斯特伦做出任何承诺，但是他们迫切需要一座工厂来开始大规模生产新的机器。韦尔登肖特向建筑承包商保证：在未来几个月里，他将竭尽全力寻找投资者。
范卡斯特伦可以筹集一些前期费用，这是因为多年来他为飞利浦做的项目使他享有可靠的承包商声誉。他开始建造ASML的新工厂，并用自己的信用额度为项目筹集资金。他接管了维尔德霍芬的一家农场作为新工厂的工地，并帮助几家公司进行搬迁。范卡斯特伦不停地建造，原因只是投资者韦尔登肖特答应了他，所以他要尽快把整件事情做好。即使在他听说ASML很难获得新的租赁融资合同后，他仍然不停地为新楼添砖加瓦。
一天下午，西奥·巴特莱伊接到一个电话。一小时后，ASML的这位财务总监坐在范卡斯特伦的饭桌旁。这位建筑承包商给他煎了一个鸡蛋并给他倒了些咖啡，然后他坐下来说：“里克说，盖楼工程必须停止。”原来这位承包商已经为ASML的新建设投入了数千万美元，他的妻子不愿意承担这种风险。
当韦尔登肖特听到这一点时，他知道是时候采取行动了。不过，他花了几个月的时间才找到同意接管范卡斯特伦的融资并将抵押的大楼租给ASML的银行。
想都不用想的事
飞利浦正处于艰难时期，却仍然给ASML提供了资金——但这是最后一次。
1990年，扬·蒂默（Jan Timmer）接任飞利浦首席执行官，该跨国公司正处于悬崖的边缘，他的任务是拯救他所能拯救的一切事务。任命刚正式生效，他就打电话给几个重量级人物，不过他们愿意帮助他完成这一艰巨任务吗？在复印机巨头的会议室里，一部手机响了，当亨克·博特接听时，一个坚定的声音说：“亨克，我希望你帮帮我，重新掌管我们的零件和芯片业务。”
蒂默这样问博特是因为他也曾就职于飞利浦。博特是众多飞利浦成功的员工之一，他们从较低职位做起，然后升到高管。他先读完了职业学校，接着参加了飞利浦公司学院的工业学习课程，然后在Natlab任助理职位。夜校帮助他提升自己，到了20世纪70年代，他负责S&I的测试和测量业务。20世纪80年代初，他任公司规划主管。最后在1986年，博特离开了这家跨国公司，然后在靠近德国的荷兰东南部边境地区的文洛为奥西公司工作。
当博特回到埃因霍温帮助推动被称为飞利浦“百年行动”的重大重组时，他负责零部件和芯片生产。蒂默将Elcoma的芯片业务分拆出来，并将它们放在一个单独的部门，他把这个部门命名为飞利浦半导体（译注：即现在的恩智浦NXP）。他和博特大刀阔斧地削减了一些项目：他们终止了Megachip项目，并在有25,000名员工的芯片部门裁员1/5。
博特的管理内容也包括ASML。从1990年年底开始，他每月都会与威廉·马里斯和杰拉德·韦尔登肖特举行会谈，韦尔登肖特当时正艰难地筹钱。在访问维尔德霍芬期间，博特偶尔会遇到装配和研发领域的工程师。有一次他遇到了一个精力充沛的员工，该员工与飞利浦其他部门的员工相反，他厌恶公司政治。
蒂默和博特应该如何处理ASML？显然，维尔德霍芬的这家子公司并不是飞利浦核心业务的一部分，而且很明显它业绩不佳。从财务上讲，他们倾向于摆脱ASML，但他们并不想立即中断投资让它倒闭。这家设备制造商相对较小，所以它并不是蒂默最头疼的问题。博特说，他看到了潜力，并建议ASML寻找外部投资者，然后飞利浦再剥离该部门。他和蒂默一致认为：飞利浦需要摆脱ASML，但是要采取一个合理的方法。
在之后的几年里，博特、马里斯和韦尔登肖特拜访了一些投资者和银行，但没有人愿意把钱投入冒险事业。在此期间，ASML差点在开发PAS 5500的重压下屈服。1992年，它寻找外部合作伙伴来分担研究费用，此举倒是符合时代精神。半导体制造商们也在相互寻求合作伙伴来分担芯片开发的初始风险。
在1992年上半年，ASML的业绩跌到了谷底。前一年，它只售出了36台机器，收入7,700万美元，亏损500万美元。飞利浦并购部门的专家建议关闭ASML。同期ASML的员工人数却持续增长以满足PAS 5500的研发需求。政府经济事务部提供的1,900万美元技术开发信贷提供了短暂的喘息机会，但到了春末，这笔钱就用完了。ASML在未来几个月内不可能售出足够多的机器来支付账单和薪水。“我们得去看看飞利浦的蒂默老板了。”博特对马里斯和韦尔登肖特说。
1992年5月15日星期五，博特和蒂默在埃因霍温的飞利浦荷兰总部商议ASML这个头痛的问题。博特告诉蒂默，他对这家光刻机公司有信心。当他与ASML的管理团队交谈并考察公司大楼时，他看到了一个专注于市场的干劲十足的团队。博特告诉蒂默，芯片行业正在走出低迷期，ASML已经为生产下一代芯片准备好了机器。PAS 5500的订单已经明显增加。“ASML今年能够生产的所有PAS 5500几乎都已经售出，”博特说，“如果这家公司有机会起死回生，那么马上就到那个时刻了。现在停止对我们的财务支持将是非常不理智的。”
博特还有另一个论点。如果现在就把维尔德霍芬的ASML关闭，飞利浦将损失1亿～2亿美元的遣散费和客户服务合同。作为公司的正式所有者，这家电子巨头必须承担全部费用。“ASML很有可能就快能自食其力了。”博特说。
然后马里斯、韦尔登肖特和道格·马什进入房间，蒂默穿着醒目的吊带裤（首席执行官的标志）正站在他的办公桌后面。会谈时间很短，ASML的3人强调，让他们的公司继续运营是想都不用想的事，因为客户对PAS 5500非常有兴趣并愿意下订单。销售总监马什如实叙述，甚至日本的NEC也刚刚宣布正在评估PAS 5500。
“你需要多少时间？”蒂默问。马里斯说，ASML可以在9个月内售出足够的机器来偿还贷款。蒂默问：“你需要多少钱？”韦尔登肖特清楚地知道他没有钱支付未来3个季度的工资，他说：“需要2,100万美元。”
蒂默确实加了一些条件。ASML太费钱了，今后必须削减成本。飞利浦的首席执行官希望在一年后与马里斯和韦尔登肖特再次会面。“我们是否可以达成这样一个协议：如果到那时情况还不好转，我们就关闭公司？”马里斯和韦尔登肖特握手达成了协议，然后走出了房间。
ASML现在还在医院ICU中抢救，指望飞利浦出钱再输9个多月的静脉营养液。松了一口气的马里斯给全公司发送了一封信函，宣布飞利浦将提供临时财政援助，直到“ASML可以独立运营”。他还写道，在1992年上半年，他们必须售出16～18台机器，但全年的目标是售出60台。他还提出了一个痛点，一些客户因为机器出现问题还没有支付PAS 5500的货款。他强调，解决芯片厂的技术问题至关重要，以便ASML能够尽快回收资金。马里斯敦促他的员工尽自己最大的努力。
