04 达成协议

1983—1984

阿瑟·德尔·普拉多

ASM国际公司迅速发展壮大,但飞利浦仍然不认为阿瑟·德尔·普拉多的公司足以成为自己的合作伙伴。

当飞利浦在动荡的20世纪70年代挣扎着占有一席之地时,一家位于北方且与飞利浦相距60英里、正快速发展的科技公司却对当时的经济衰退视而不见。在荷兰乌得勒支东北的小镇比尔特霍芬绿树成荫的街区,阿瑟·德尔·普拉多正在经营一家主营新兴芯片设备的公司。

德尔·普拉多不“做”生意,他本人就是生意——这个人吃饭、睡觉和呼吸都在先进半导体材料公司(Advanced Semiconductor Materials,ASM)。他用魅力、野心和无畏经营着这家活跃的跨国公司,他的冒险精神似乎无边无际。到20世纪80年代初,ASM已经在半导体市场站稳了脚跟。经济衰退似乎无法影响到德尔·普拉多的商业帝国。ASM从销售和分销公司转型为独立的设备制造商后,其收入开始爆炸式增长,每年增长近50%。1978年,公司收入1,400万美元;到1983年,收入又增长了6倍。而同期的飞利浦和Elcoma的芯片厂却裁员数千人。ASM是荷兰惨淡经济景象中的一颗璀璨明珠,是全球市场中一家欣欣向荣的公司。

在那段动荡的岁月里,德尔·普拉多凭借一腔热血取得了成功。他早年驾驶的大众汽车已经换成了私人飞机。ASM在中国香港、日本东京和美国凤凰城均设有办事处,并在此三地都收购了公司。

这个时代对德尔·普拉多非常有利。芯片制造商逐渐放弃开发自己的机器,他们越来越倾向于向专业供应商购买生产设备。

飞利浦则不同。德尔·普拉多对Elcoma的工程师们坚信“最好的生产工具是自己生产的机器”的执着感到惊讶。Elcoma从ASM订购了一台焊线机,但之后再也没有下过订单。最后,Elcoma居然开始自己开发焊线机。

德尔·普拉多发现了机会。他知道Elcoma可以自己生产一系列芯片生产设备,并且正在与Natlab合作开发步进光刻机。1976年,他向Elcoma的芯片厂主管扬·华特起草了一份合作提议。提议的潜台词是:把机器留给我做,这样你就可以专注于你的核心业务——芯片生产。

04 达成协议 - 图1 阿瑟·德尔·普拉多,拍摄日期不详

德尔·普拉多一直在试图寻求与飞利浦合作的机会,但这家公司连一天的谈判时间都不给他。1983年,当Natlab终于愿意合作时,Natlab的光刻机业务已经处于穷途末路。虽然德尔·普拉多嘴上表示“同意”,但他非常清楚他这是在拿整个公司冒险。


阿瑟·德尔·普拉多于1931年出生于印度尼西亚雅加达。他的父母都是荷兰公民,他黑头发的父亲出生于苏里南的帕拉马里博,是葡萄牙犹太人的后裔。老德尔·普拉多是皇家国际海运公司的一名船长,小德尔·普拉多为他的父亲感到自豪,和他长期合作的商业伙伴都很清楚这一点。

第二次世界大战期间,他与家人分离并被关押在拘留营中。战争结束后,他和他的父母以及妹妹搬到荷兰,他在那里学习了化学和经济学。之后,他前往美国波士顿的哈佛商学院学习。

1958年完成学业后,26岁的德尔·普拉多前往美国西海岸。在这个后来被称为硅谷的地方,他遇到了一个迅速发展的新兴产业——计算机芯片。德尔·普拉多被那里的乐观和野心打动,这种感觉让他终生难以忘怀。

荷兰一份著名的报纸后来引用他的话说:德尔·普拉多返回荷兰时,一手拿着晶圆,一手拿着500美元。这是进入这个领域的好时机。继美国同行之后,飞利浦、西门子和德律风根等欧洲主要电子公司也逐渐把他们的目光投向半导体材料硅——锗的替代品。德尔·普拉多在20世纪60年代初移居比尔特霍芬后,他决定将他的公司命名为先进半导体材料公司(ASM)。ASM将在芯片制造材料和设备方面服务不断发展的欧洲芯片行业。

这位雄心勃勃的企业家实现目标的决心丝毫不受挫折的影响。他利用杂志、展会等当时的营销工具来全力推动公司的发展。1972年秋天,ASM出现在德国和英国的各大主要展会中。在整版广告中,德尔·普拉多将他的公司定位为严肃的竞争者,它的标题是:超过100人参与的半导体工程将推动ASM的产品登顶。ASM当时是一家有限责任公司,尚未上市。


德尔·普拉多将无限的精力投入公司的建设中。从20世纪60年代中期到70年代中期的10年间,他与30多个品牌推出了合作产品。只要与半导体有关,你都可以在ASM买到。其产品业务之广让公司有足够的财务实力聘请工程师、建立自己的生产部门和组装部门以及进行首次收购。到20世纪70年代中期,ASM的收入已经达到数千万美元。德尔·普拉多已经为实现最终的目标做好了准备:展翅高飞,走向全球。

他与另一位荷兰芯片行业的先驱关系密切,这使他在朝着最终目标奋斗的过程中得到了巨大的帮助。1971年,德尔·普拉多遇到了菲科工具(Fico Tooling)的创始人和所有者理查德·菲尔肯斯(Richard Fierkens),这家家族企业为飞利浦提供用来封装晶体管的设备。两位企业家都认为合作是双赢的。ASM将代理Fico在全球的业务。几年后的1974年,ASM甚至获得了Fico的部分股权。

德尔·普拉多将更名为ASM的公司的业务拓展至亚洲。自20世纪60年代中期以来,很多芯片制造商一直在亚洲封装芯片。1975年,他找到了一个亚洲滩头阵地——中国香港,并聘请帕特里克·林(Patriok Lanh)主管ASM亚洲部门。林是随后的几年里将ASM业务拓展到芯片组装和封装的主要参与者,他也是在1988年推动这些后端制造业务重组为ASM太平洋技术公司并使公司公开上市的核心人物。

1976年,德尔·普拉多在亚利桑那州菲尼克斯开设了ASM美国公司。5年后,他的公司成为战后第一家在纳斯达克上市的非美国工业企业。公司出售了110万股股票并获得了1,600万美元的融资。这些资金为德尔·普拉多提供了更大的扩张和收购空间。

纳斯达克上市使ASM进入了全球市场,荷兰商界终于注意到这家公司。当时飞利浦面临危机,国家经济也日益衰落。德尔·普拉多作为一位创新型国际商人,其公司在新兴市场中每年都实现了显著的增长。1983年,他被评为荷兰年度商人。同年,ASM又在纳斯达克增发新一轮股票。


德尔·普拉多一直梦想着与飞利浦合作,但Elcoma从未回复他在1976年发出的信,这仍然令他烦恼。1981年,荷兰一家主流报纸刊登了对飞利浦研发总监之一、执行董事会成员爱德华·潘嫩堡的采访,德尔·普拉多再次联络该公司。

在采访中,潘嫩堡批评欧洲在微电子领域缺少产业政策,并说日本和美国在这方面的表现要好得多。德尔·普拉多又写了一封信,信中对此大加赞赏,表示支持潘嫩堡的看法。

潘嫩堡关于美国芯片行业拥有众多开拓创新的初创公司的言论引起了德尔·普拉多的共鸣。

但随后这位ASM的首席执行官也表达了不满。鉴于这种分析,他仍然不明白为什么飞利浦不愿意与他的公司联手。他告诉潘嫩堡,飞利浦缺乏开拓精神,这样不能推动荷兰成为第二个硅谷。德尔·普拉多在他的长信的末尾呼吁双方达成合作。

这封信似乎与潘嫩堡不大对付,因为5个月来德尔·普拉多都没有收到回信。后来飞利浦终于回信,但并不是回复德尔·普拉多写给潘嫩堡的信,而是回应在1981年10月荷兰一份主流报纸上刊登的一篇来自ASM的精彩文章。在这篇题为《硅谷就在街边》的文章中,这位荷兰商人对美国大加称赞,因为美国的大型公司都渴望与小型公司合作。

德尔·普拉多在文章中没有提飞利浦的名字,但他的意思显而易见。“在美国,大型工业公司更加开放,渴望与成长中的初创公司合作。IBM或惠普都与我们合作,并公开分享他们的专业知识,但欧洲的情况却完全不同。”报纸刊登了他的原话。

关于飞利浦的这篇文章终于促使德尔·普拉多与在S&I的商业总监德波尔见面了。S&I目前正在研究步进光刻机和电子束直写机。在喝咖啡时,德波尔显然对ASM的专业技术持保留意见。因此德尔·普拉多随后给他写了一封长信,详细地列出了公司的各种技术项目,并指出他刚刚接管了美国的埃尔蒙特公司。德尔·普拉多说,埃尔蒙特拥有内部精密技术,这将推动光刻机的研发。在信中,他表示愿意接手飞利浦的步进光刻机和电子束直写机研发项目。ASM可以将产品销售给全球的客户,并在其公司的组织架构中设立光刻事业部。

德波尔的反应并不积极,他没有约定再见面的时间。他同意维姆·特罗斯特的“ASM的规模太小”的观点。一年前,即1980年,ASM的收入才3,700万美元。特罗斯特计算,仅新一代步进光刻机的研发费用就将远远超过5,000万美元。与光刻机所需的先进技术相比,ASM制造线焊机所需的专业技术简直不值一提。飞利浦认为,德尔·普拉多低估了光刻机的复杂性。


1982年,飞利浦和ASM是荷兰政府在海牙的经济事务部的常客。像冰川巨人一样的飞利浦对德尔·普拉多的侏儒公司不感兴趣,ASM在信件和谈话中对此表示失望。飞利浦已经剔除了ASM,决定让美国公司Etec开发等离子蚀刻机。经济事务部希望发展等离子蚀刻行业,而ASM希望该部门能够帮助它吸引飞利浦的注意。

ASM在和经济事务部的谈话中经常提到步进光刻机。1982年10月7日,在海牙又举行了一次会议,由阿瑟·德尔·普拉多、Elcoma的扬·哈特(Jan Huart)、S&I的德波尔和经济事务部的临时总干事扬·希勒格出席。ASM的首席执行官提议让他的公司在日本和美国销售飞利浦的步进光刻机和电子束直写机。德波尔说,他认为对于这么大的项目来说ASM的规模太小了。“此外,我们正在与美国的Cobilt公司谈判。”他补充道。

德尔·普拉多没有放弃。在一封写给德波尔的详细的信中(他抄送给了经济事务部),他提到了这次谈话。这位ASM的首席执行官提议让他的公司负责步进光刻机在美国的最终组装和营销。他强调,ASM在美国已经在给所有主要的芯片工厂供应产品。他还对飞利浦与Cobilt的谈判表示怀疑,Cobilt是一家设备制造商,ASM以前在欧洲代理过它的产品。德尔·普拉多说,飞利浦对ASM的担忧是没有必要的,如果他的同胞选择一位美国的合作伙伴,那将是不可取且不幸的。他指出,政府也渴望发展欧洲工业。

12月,S&I派出代表团访问ASM在比尔特霍芬的办公室,而S&I的营销人员吉尔·詹森则同时访问东京,ASM正在那里开拓日本市场。但飞利浦仍和德尔·普拉多的公司保持距离。ASM虽然算得上是一家国际化的公司,但飞利浦一直认为:对于光刻机市场来讲,ASM的规模太小了。

五十对五十

在第一次见面中,乔治·德·克鲁伊夫和阿瑟·德尔·普拉多在不到一小时的时间内就敲定了飞利浦和ASM建立合资企业的计划。

1983年春天,S&I的技术董事乔治·德·克鲁伊夫在晨报上读到了ASM的成功故事。由于增长迅速,这家位于比尔特霍芬的公司在荷兰声名大振。两年前,公司的首席执行官阿瑟·德尔·普拉多在美国纳斯达克发行了100万股股票成为头条新闻。德尔·普拉多计划在1983年9月发行更多的股票,而这次是在阿姆斯特丹发行。德·克鲁伊夫意识到:这个人还是挺有钱的。

德·克鲁伊夫找到了解决自己问题的办法。飞利浦首席执行官威斯·德克已经向S&I明确表示,必须放弃非核心业务。例如电子显微镜、工业控制系统、焊接操作和光刻机等业务,德·克鲁伊夫必须将它们全部出售。当德·克鲁伊夫放下报纸时,他意识到他刚刚找到了最后一次机会来挽救光刻机业务,并阻止裁员的发生。

德·克鲁伊夫不太熟悉光刻机市场,所以他去见了维姆·特罗斯特。特罗斯特在过去一年与每一个潜在的合资伙伴都谈过。特罗斯特说他对ASM仍持保留意见。Elcoma从未重视这个做工业炉子的供应商,他们的设备与具有战略性的光刻机业务完全不同。“这根本不是我们想合作的公司。”特罗斯特告诉德·克鲁伊夫,但特罗斯特也认识到,这可能是挽救光刻机业务的最后机会。在过去的几年里,他向光刻机倾注了他的全部心血。飞利浦的步进光刻机项目离完成仅一步之遥,而ASM是最后一根救命稻草。

特罗斯特比任何人都清楚飞利浦的规则,他建议德·克鲁伊夫去比尔特霍芬时让公司的顶级法律顾问和顶级财务顾问随行。这两个人都与执行董事会有直接联系,可以立即解决在ASM遇到的任何问题。特罗斯特建议说:“这样就可以避免大麻烦。”德·克鲁伊夫拨通了德尔·普拉多的电话,进行自我介绍后询问他是否可以访问比尔特霍芬。

04 达成协议 - 图2 乔治·德·克鲁伊夫,2011年


德·克鲁伊夫遇到了一位非常迷人、自信且处于事业巅峰的商人。与德·克鲁伊夫不同,德尔·普拉多是半导体行业的老手。在近年的经济衰退中,ASM仍旧持续增长,现在芯片市场正在逐步摆脱1983年的低迷,德尔·普拉多知道他的收入和利润将非常高。他创办的ASM是荷兰经济衰退中成功的明灯,而他正处在巅峰。这位ASM的首席执行官最初很谨慎,他非常熟悉飞利浦这家跨国公司的行事风格,但德·克鲁伊夫几乎不知道ASM是做什么的——这位S&I的技术董事完全不知道两家公司之间的恩怨史。1983年年初,当他走进德尔·普拉多的办公室时,两个身形挺拔的男人一见如故。

德·克鲁伊夫开门见山,坦城地说出他遇到的问题。他之所以来ASM寻求帮助,是因为飞利浦的执行董事会无意向光刻机项目投入更多资金。他的公司的支出很高,但公司选择优先投入其他项目。

尽管如此,飞利浦仍是一个大客户。飞利浦首席执行官威斯·德克已决定在Megachip项目中投入7亿美元,旨在在内存技术领域占有一席之地。但光刻机是这个项目的关键。德·克鲁伊夫建议,如果ASM想进入光刻机市场,它可以搭上Megachip项目的便车,赢在起跑线上。“我们正在寻找一家了解市场、擅长销售的公司。”他有意迎合德尔·普拉多。

德·克鲁伊夫说,汉堡瓦尔沃的芯片厂和奈梅亨的Elcoma芯片厂在不久后将分别收到两台机器,但他们只向外部客户销售了一台机器。这位客户是IBM,他们对机器非常满意。不过关于这一点他说谎了。飞利浦从未认真销售过光刻机,而执行董事会的不重视使该项目多年来一直进展很慢。“但Natlab的先进技术使我们的机器在竞争中更胜一筹。”德·克鲁伊夫坦言。

然后,他问德尔·普拉多是否有兴趣合作。德·克鲁伊夫列出了所有的合作形式:“ASM可以接管所有业务,也可创立合资企业。因为ASM一直处于半导体市场的核心地位,所以无论如何飞利浦都希望ASM在这些活动中起领导作用。”


对德尔·普拉多来说,这并不难选择。在与飞利浦这家重量级公司进行了多年的曲折谈判后,这家公司现在主动找上门来,他终于获得了多年来一直寻求的认可。德尔·普拉多不必想太久。梦想中的公司轮廓在他脑海中瞬间成形:一个为芯片制造厂提供所有设备的巨头,以步进光刻机为旗舰产品的公司。世界上还没有哪家公司能够提供如此完整的解决方案。

德尔·普拉多非常专心地听着德·克鲁伊夫的说明。然后这位ASM的首席执行官说:“对不起,失陪一小会儿。”他走出房间,与他的团队商量。将近一个小时过去了,他才回来。德尔·普拉多走进来,坐下,然后说:“让我们一起做吧。”

总之,会议只持续了1个多小时,两人交谈的时间不到15分钟。光刻机业务符合德尔·普拉多的雄心壮志。他制造了芯片生产过程中每一道工序需使用的机器,但光刻机是其中最具战略性的机器,也是他未涉及的业务。

在这一点上,德尔·普拉多非常熟悉飞利浦的弱点和敏感点,所以他对与该跨国公司在经济事务部的无休止的会谈只字未提。在返回埃因霍温的途中,德·克鲁伊夫对特罗斯特说:“真是难以置信!这是我们第一次见面,他大部分时间都不在会议室,但他却立即表示‘同意’。”德·克鲁伊夫终于松了一口气,但也感到非常惊讶。

特罗斯特明智地没有参与。他注意着事态的发展并感到惊讶,同时,他也十分钦佩德尔·普拉多。ASM将拯救他视作自己孩子的光刻机项目,但他比任何人都清楚,要让光刻机业务和步进光刻机研发项目回到正轨是多么困难,代价将非常大。同年9月,他对光刻机研发项目给出新预算——超过4,200万美元。特罗斯特非常清楚地意识到德尔·普拉多对自己谈成的项目没有概念。他知道ASM没有相关工作的经验、销售团队或资源。但是,他对德尔·普拉多同意德·克鲁伊夫的提议感到钦佩。


1983年6月底,飞利浦与ASM的对话取得了很大的进展。合资企业的新名称首次出现——ASM光刻系统公司,当时英文缩写为ALS。有人建议他们分割股份。飞利浦和MIP(一家国有私募股本基金)将分别获得30%的股份,而作为项目领导,ASM将获得40%的股份。

德尔·普拉多知道,该合资企业将高度依赖Natlab的专业技术来开发机器。ASM内部没有相关的专业技术。在接下来的几个月里,ASM的首席执行官表明,他要求有权使用Natlab的技术并且是不可谈判的。“我们需要Natlab,这样才能达成交易。”他告诉德·克鲁伊夫。


德尔·普拉多和德·克鲁伊夫彼此欣赏。他们在比尔特霍芬的第一次会面为两家公司的亲密关系奠定了基础。这位带有犹太和葡萄牙血统的极具魅力的商人与有点贵族气息的飞利浦高管相处得非常好,他们很快建立了友谊。

但飞利浦这家官僚主义盛行的大公司并没有给德·克鲁伊夫太多回旋的余地。他告诉德尔·普拉多,如果合资企业需要Natlab对研究提供支持,唯一的办法就是给飞利浦控股权。此外,合资企业必须按每小时支付研发费用。德·克鲁伊夫知道,获得这家跨国公司皇冠上的明珠是一件特别的事情。在那时,Natlab是世界的传奇,但这个飞利浦的技术孵化部门是禁入的。

德尔·普拉多向德·克鲁伊夫重申他最初的提案。他表示:“如果飞利浦希望我们运营该项目,我们获得一半以上的股份是合乎逻辑的。”但德·克鲁伊夫没有让步,只有飞利浦获得合资企业至少50%的股份,他才能授予ASM访问Natlab技术的权限。

但德·克鲁伊夫建议,在50︰50分割股权的情况下,ASM仍可发挥主导作用。“我提议你为公司的执行董事,”德·克鲁伊夫笑着说,“你熟悉业务;你能领导公司走正确的方向,你将成为掌舵人。”德·克鲁伊夫将担任该合资企业的董事会主席,肩负着维护ASM与Natlab之间良好关系的特殊职责。

最后,ASM和飞利浦同意平分股份。德尔·普拉多之后又一次尝试获得Natlab的研发技术以开发其他的项目,但飞利浦表示坚决拒绝。Natlab现在仍然完全禁止外来者使用其技术。


1983年9月8日下午3点,“飞利浦(科学与工业部)和先进半导体材料公司(ASM)在比尔特霍芬宣布,他们将创立一家合资企业,负责研发、制造市场领先的光刻设备。新公司设在埃因霍温,初期将雇用大约50名员工,其中大多数员工目前在飞利浦从事光刻机研发工作。这个数字未来将增加。”新闻稿里指出。然而真正的谈判尚未开始。

可怕的协议

飞利浦的斤斤计较给合资企业带来了沉重的负担。

ASM与飞利浦的合资企业谅解备忘录让阿瑟·德尔·普拉多备感愉悦。他习惯于每两年将收入翻一番,现在他又急着开始销售步进光刻机了。市场迫切需要新设备,竞争对手GCA和尼康每年提供数百台步进光刻机。半导体行业正在蓬勃发展,分析人士的预测不断向好。很快,光刻机的年需求量就将达到1,000台。

德尔·普拉多摩拳擦掌。他听到关于市场领导者GCA弱点的传言,他的印象是,S&I已经制造好了一台机器随时准备发货,但他不知道这背后还存在问题。德尔·普拉多渴望向飞利浦展示销售这些产品的意义。1983年秋天,他聘请威廉·德利乌(Willem De Leeuw)担任ASM首席技术官。德利乌即将离开飞机制造商福克公司,他在半导体领域没有经验,更不用说芯片光刻领域了。但德利乌刚进公司,德尔·普拉多就让他在埃因霍温管理光刻业务。“ASM已经准备好了,”德利乌告诉维姆·特罗斯特,“我们在日本和美国的销售部门已经蓄势待发。”他敦促特罗斯特让飞利浦赶紧行动起来。


埃因霍温的情形完全不同。全球经济衰退使飞利浦的收入骤减,在飞利浦首席执行官威斯·德克的指挥下,公司正忙于整顿业务。德克已经决定砍掉非核心业务,如光刻机。现在,他想通过限制各国分公司的权力来削弱官僚主义。

德克整顿期间的内部冲突给特罗斯特带来了沉重的压力,他几乎没有精力关注与ASM成立的合资企业,曾执着于绝对控制权的他甚至放弃了主导权。但在1983年4月,S&I分部的新任董事扬·范德斯特(Jan van der Ster)在未请示上级的情况下,正在设法推动事情的发展。当特罗斯特在日本试图向松下出售光刻机时,范德斯特派人来主管光刻机项目以减轻特罗斯特的负担。光刻机研发主管罗纳德·比拉德也将向新管理者雅克·德沃斯(Jacques de Vos)汇报工作。


1983年秋天,德尔·普拉多对飞利浦施加了更大的压力,他表示光刻机的产量必须增加。次年6月初,S&I在ASM光刻系统商业计划中绘制了光刻机的发展蓝图,但没有和ASM协商。这时ASM在S&I的修订计划中还没有发言权。

当ASM的首席技术官威廉·德利乌来到ASM查阅文件后,他得出结论说,S&I在1984年只能交付10台光刻机,这在他看来还远远不够。德尔·普拉多告诉特罗斯特要加快生产。特罗斯特听到命令时眨了眨眼,但德利乌态度坚决。合资企业的所有合同至少需要6个月才能签订。“如果我们在这段时间仍没有进展,合资企业可能就此垮了。”德利乌告诉特罗斯特。这位ASM的新任首席技术官也希望飞利浦继续研发并提高材料采购量,从而提高产量。他明确表示,ASM的目标应该是每年生产40台机器。

特罗斯特对此持怀疑态度。从他的经验来看,他们的镜头供应商CERCO并不可靠。他也知道,为飞利浦供应机械零件的机器工厂是出了名的缓慢,从来没有按时交货。他知道市场并不迫切需要液压式光刻机,但不是埃因霍温的每个人都得到了这个消息。

德利乌不理会特罗斯特的反对意见,坚持自己的立场。他告诉S&I的董事:“难怪这里的工作进展都这么慢。你一开始就把事情搞砸了。”特罗斯特向上司表示保留意见,但德·克鲁伊夫决定不干涉这个项目。“维姆,不要参与其中,”他命令道,“他们是懂生意的家伙,他们负责这个项目。”尽管如此,飞利浦的光刻机团队还是力争达成其1983年交付10台PAS 2000的目标。

特罗斯特则继续干涉合资企业的管理,他并不是一个可以袖手旁观的人。在刚刚过去的动荡岁月里,他一直不屈不挠地推进光刻机研发。现在突然要和一个外人打交道,特罗斯特也想争夺控制权。特罗斯特仍然质疑与ASM合作的正确性。“伙计们,这不是我们的理想伴侣。”他经常自言自语地说。但是,作为一个让光刻机项目维持多年的人,他知道ASM是他们最后的救命稻草。特罗斯特能认清现实,他能够意识到ASM要求更高的产量也许有道理,而且销售本不是飞利浦的强项。S&I组织松散,无法做出正确的决策,这是项目长期处于停滞状态的原因。

特罗斯特再次与德·克鲁伊夫讨论他的疑虑。ASM发展太快,而S&I尚未协同发展。德·克鲁伊夫的态度依然坚决,他坚持认为特罗斯特需要停止干涉。最终,特罗斯特作出让步。当ASM表示需要提高产量时,特罗斯特在内心深处知道ASM也许是正确的。但他也知道,在飞利浦效率不会那么高。特罗斯特意识到,较长的交货期意味着他们可能会失去很多机会。但他还是对同事说,经验是最好的老师;如果订单不能完成,ASM始终有机会纠正其路线。


雅克·德沃斯是光刻机项目的新负责人,他对S&I的情况持中立态度,主要是因为他对该部门的过去缺乏了解。德沃斯与光刻决策团队就步进光刻机的发展进行了激烈的讨论,他认为ASM的规划过于乐观,7月底起草的商业计划的目标是不现实的。1983年10月13日,德沃斯与光刻决策团队再次举行了一场令人精疲力竭的会议,会后在一份内部备忘录中他重申了他的立场。他的措辞是客气的,但他传递的信息是明确的:德利乌确实是疯了,交付40台机器是不现实的,初期大幅提高产量是不理智的。他写道:“在PAS 2000的现行发展规划中,在镜头和预测方面出现了重大的问题。”他的工程师们根本还没把这项技术研究透彻。他认为,即使在最好的情况下,订单也无法如期完成。人手特别短缺,而新人们需要到6个月的时间才能跟上进度。

在内部备忘录中,德沃斯还描绘了光学供应商CERCO那令人震惊的供货情况。飞利浦的员工刚从巴黎开会回来,他们检查了最新一批的16个镜头,其中仅有3个镜头通过测试,但只有1个镜头符合IBM 1年前提出的要求;8个镜头可以修复,但其中只有3个镜头将能够达到IBM的高标准。

根据这些事实,德沃斯得出了一个明确的结论:1983年1台PAS 2000都无法制造完成,而1984年将最多制造9台。合资企业计划在1983年建立一家工厂,每年生产40台机器,这严重脱离了现实。德沃斯委婉地称这一雄心壮志“忽略了研发部门的不确定性”。他还批评了ASM对新一代机器的乐观态度:“1985年为下一代芯片推出新系统是不可行的。”

德沃斯知道他的备忘录可能会得罪人。因此,他在底部补充了一条个人声明:“这些结论和建议并不是要压垮合资企业,恰恰相反我是想帮助它。但是我们必须如实地承认光刻工作的现状。”他还指出,他的员工十分愿意与ASM合作,“为了缓解员工日益加剧的对未来的担忧,我唯一能保证的是,我们不会苦心经营一家我们都没有信心的合资企业”。


特罗斯特心存疑虑,但他仍选择支持官方计划——ASM负责决策,他将与德利乌合作并计划提高产量。这天,阿瑟·德尔·普拉多兴奋地从以色列打电话给他。这位ASM的首席执行官在那里与军队共度了一天,并自豪地通过无线电给特罗斯特打电话,这项技术在当时是非同寻常的。“这些以色列先生们很快将需要步进光刻机,你一定要有可用来向他们展示的原型机。”德尔·普拉多在附近坦克的轰鸣声中大喊。在那个瞬间,特罗斯特几乎不知道怎么活下去了。他知道以色列人拥有一流的技术,但他们在半导体生产基础设施方面却很匮乏。越来越多的事情让他明白德尔·普拉多对光刻市场一无所知。

最后,在1983年年底,S&I正式决定走更积极的道路。生产经理约普·范凯塞尔(Joop van Kessel)拿来10台机器的零件清单,并亲手更正了数字。他将生产PAS 2000的订单增加到20台,而不是ASM所要求的40台机器。他在订单中留了一条后路:加入了可以取消这些订单的选项。最不稳定的因素是CERCO。圣诞节前,两名员工将前往巴黎,询问这家不可靠的镜头制造商能否供应20套镜头。

另一方面,范凯塞尔亲自制定出关键的生产规划:所有零件都必须在10个月内收到。这样,生产初始装配还有6周的时间,而构建光学柱也还有6周的时间。之后,经过2个月的测试和调整,还剩下3个月的时间来进行最终测试和微调。

现在所有事项都有了妥善的安排。特罗斯特签署了合同,在1983年年底,他和德利乌同意,飞利浦将继续增产并订购足够的零件,以生产20台步进光刻机。特罗斯特虽然心里不赞同但没有说出来。飞利浦的费用将由新的合资企业全额报销,所售机器的收入也将属于合资企业。“双方同意,如果要按商定的生产进度完成制造,现在必须由合资企业完成订单和投资。”合同中写道。


1984年1月,事情发展到了非解决不可的地步。德沃斯认为他们应该结束与CERCO几年的合作关系,但他的同事强烈反对。德沃斯认为,他们必须停止从巴黎采购镜头。1984年年初,他在给德·克鲁伊夫的一封信中就CERCO一事作出警告:“其他人宁愿冒着第三次惨败的风险也要继续与这家公司合作,这不利于生产部门应有的稳定性。”

德沃斯的分析是正确的,CERCO的表现令人失望而且已经持续多年。但在那时,飞利浦没有多少选择。专业镜头对于步进光刻机来说至关重要,但世界上只有几个地方可以生产它们。特罗斯特、比拉德和范凯塞尔还没有准备好结束这一段始于20世纪60年代的合作关系。他们正在与德·克鲁伊夫密切地合作,以寻找一家新的镜头供应商,并与蔡司等公司进行谈判。但特罗斯特还不想与CERCO断绝联系。他实在做不到,因为他需要几十个镜头来装配因德利乌坚持增加产量而制造出来的机器。

德沃斯给管理层的建议导致了激烈的摩擦。他的问题是,虽然事实上他是对的,但他的风格就像“大象进了瓷器店”,十分粗暴莽撞。更重要的是,他的上司并不支持他。德沃斯还与生产部门产生了矛盾,而生产部门甚至渴望看到冲突加剧。

德沃斯在S&I内部变得孤立无援,这是一个一切运转都依赖协议和良好关系的组织。他不擅长变通地表达他的意见。他和下属比拉德之间的关系更加紧张。新人德沃斯认为,多年来决定电子束直写机和步进光刻机发展的关键人物被转移到了飞利浦的不同部门,特罗斯特只是让这一切公开化了。但是,当范德斯特听到德沃斯是如何搞砸事情,而且把关键的专业技术专家比拉德解雇了时,这位部门主管严声指责并当场解雇了德沃斯,这在飞利浦是非常罕见的。特罗斯特并没有介入,因为他即将退休,不想与人产生冲突。


当合资企业的计划在飞利浦公开时,每个人都有自己的看法。Natlab的部门主管之一哈姆·穆伊约尔(Harm Mooijweer)也听说了这件事。在1983年8月的一份备忘录中,他警告德·克鲁伊夫和特罗斯特,他们需要密切关注事情的进展。穆伊约尔估计,Natlab在过去10年中在光刻研究上的花费为670万美元,“还有学术界的支持费用和昂贵的车间支持费用。”他解释道。

穆伊约尔强调,在计算合资企业应该为Natlab未来的研发承担多少费用时,需要全面地考虑。“从经验来看,分拆公司最初几年很少能赚钱。”他写道。因此,穆伊约尔建议他们收取年费70万美元,而不是按收入的百分比收费。

特罗斯特的内心是矛盾的。他是全力支持光刻机研发的,但他也有义务保护雇主的利益。在那时,他负责财务、2,000名员工以及S&I的工厂,这意味着他必须保护公司的库存和货物,并向外人收该收的钱。另一方面,特罗斯特必须保护ASM光刻系统公司的利益,他认为ASM光刻系统公司也是他的心血,而且他也是ASM光刻系统公司的董事会成员。内心的矛盾让他非常痛苦(参考附录8)。


后来飞利浦的合作委员会要求特罗斯特承担责任。这个组织的12名智者在分拆和合资企业事务中维护飞利浦的利益,他们主管专利、商标、研究、物流、法律等一切事务。他们给了特罗斯特一个可怕的新名字:ALS,它是ASM光刻系统公司的首字母,也是一种在几年内致死的不治之症(渐冻人症)。

如果说飞利浦的官僚主义者擅长什么,那就是保护这家跨国公司的资产。S&I的财务部门起草了一份详细的合资企业必须支付的费用清单(参考附录7)。他们想从与ASM的交易中节约尽可能多的资金。

这份清单让特罗斯特心里不是滋味。他认为飞利浦让这家新成立的合资企业支付的费用之高令人憎恶。这家跨国公司有固定的规则来规范其计算方式,而作为S&I工厂的主管,他必须遵守这些规则,但他也希望合资企业能取得成功。他知道,两家公司注入的210万美元远远不够。据他自己计算,仅仅开发新一代机器的成本就是这个数额的10倍。

特罗斯特补充了这些信息,并得出结论:ASM是唯一真正将资金投入合资企业的合作伙伴。飞利浦不会投入现金,只会投入过时的库存、材料、模块、工作时间以及17台不能用的PAS 2000。他觉得很难接受,忍不住向德尔·普拉多暗示,他担心合资企业的启动资金不足。ASM的首席执行官没有理解特罗斯特的暗示,这是因为他从来没有重视过特罗斯特,此外,德尔·普拉多的热情让他忽视了提醒。

特罗斯特明确表示合资企业没有办法一举成功。他认为飞利浦的律师起草的合同是不合情理的。他告诉同事:“这家新公司买杯咖啡就会破产。”但他采取了一些应对措施以确保S&I将承担大部分成本,包括为制造20台步进光刻机已经订购的零件和材料的费用。

1984年3月9日敲定的合同终稿(参考附录8)也提到了使用Natlab的技术的设想。新公司将有机会获得推进光刻机开发所需的一切技术,只需支付一定的费用。除此之外,新公司还需要每年向Natlab支付收入的1.5%作为研发费用。

在最后的几个月里,特罗斯特与飞利浦的工会就47人转岗到合资企业产生了激烈的争论,名单由他与部门主管共同拟定。几乎没有人愿意踏上新的冒险之旅,工会要求保证员工具有选择返回飞利浦的权利并提供丰厚的养老金。特罗斯特鼓励被调动者,提醒他们S&I正在进行裁员和员工调动,他说:“在一年后,新公司就会取得成功,没有理由回来。你在那里会比在飞利浦更好。”

协议是在合资合同签署前几天才达成的。工会不必做出许多让步,47名员工获得了可重返工作岗位的保障,但期限是4年,而不是期望的5年。特罗斯特对光刻工作非常熟悉,但飞利浦管理层在选择合资企业的首席执行官时却没有选择他。多年来他一直是S&I的笑话,且德沃斯事件表明,当S&I需要特罗斯特的时候他不会主动提供帮助。管理层已经对他失去了信心。

04 达成协议 - 图3 成立合资企业的合同签署仪式,从左到右分别为ASM的威廉·德利乌和保罗·范登霍克(Paul van denHoek)以及飞利浦的乔治·德·克鲁伊夫和维姆·特罗斯特。